摘要
简要介绍用于 MENs和微电子标准的纳米计量技术 ,并对其发展提出建议。
This paper has introduced the nanometrology techniques applied in the area of MENs and microelectronics as metrological standards. Some suggestions for the development are also given.
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第3期272-274,共3页
China Mechanical Engineering
关键词
微机械
微电子
纳米测量
精密仪器
micro-michinary microelectronics nanometrology precision instramentation
