声学显微镜及其进展被引量：2

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摘要简要介绍了各种声学显微镜的工作原理和结构,它们包括激光扫描声学显微镜、层析扫描声学显微镜、C模式扫描声学显微镜、机械扫描声学显微镜四种。详细地介绍了它们在国内外的发展以及应用,尤其是对清华大学研制成功的机械扫描声学显微镜和电子科技大学研制成功的激光扫描声学显微镜的应用做了介绍。最后对这四种声学显微镜的工作特征做了简要的比较。

作者杨立峰王亚非

机构地区电子科技大学光电信息学院

出处《声学与电子工程》 2006年第1期50-53,共4页 Acoustics and Electronics Engineering

关键词激光扫描层析扫描 C模式扫描机械扫描声学显微镜

分类号 TH742 [机械工程—光学工程]

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参考文献5

1陈戈林,任文革,郭艳林.声学显微镜及在电子器件工业中的应用[J].半导体技术,1994,10(1):50-57. 被引量：3
2王亚非,袁敬闳,陈瑞征,莫怀德.激光扫描声学显微镜谐波技术的研究[J].电子学报,1993,21(11):80-82. 被引量：1
3集成电路引线焊接无损检测技术的研究[J].仪器仪表学报,2001,22(z2):250-251. 被引量：7
4陈戈林,胡思正,罗淑云,张克潜,申忠明,徐正元.智能化150MHz反射式声学显微镜及其图象处理[J].应用声学,1992,11(3):6-11. 被引量：8
5王亚非,陈瑞征,袁敬闳,莫怀德.多层陶瓷电容器的无损检测[J].压电与声光,1994,16(1):44-46. 被引量：4

二级参考文献14

1袁敬闳,莫怀德,陈瑞徵,陈昌龄.激光扫描声学显微镜的实验研究[J].电子学报,1990,18(4):117-119. 被引量：4
2[1]Laser Scanning:Technology and Applications.NASA,No.19980005393. 被引量：1
3[2]L.W.Kessler,J.Semmens.Characterization of the microstructure of ceramics used in multilayer ceramic capacitors by means of the scanning laser acoustic microscope.J.Am Ceram Soc,1989,172:2271～2275. 被引量：1
4[3]VAM Luprano,De Kiccards MF,G Montagna.Nickel-base superalloys Characterized by SLAM after long term heating.Materials Science Forum,1996,210～213:259～266. 被引量：1
5固体中的声场和波，1982年被引量：1
6吴振一,陈戈林,张克潜.球面换能器汇聚系统V(z)曲线的射线理论[J]声学学报,1988(06). 被引量：1
7陈戈林,李德杰,张凤禧,罗淑云,应嘉年,周宏朴,胡思正,金芬年,周启博,王华俭,张克潜.300～700兆赫透射式扫描声学显微镜的研究和试制[J]应用科学学报,1984(04). 被引量：1
8张克潜,陈戈林.声显微镜的现状和发展[J]电子学报,1984(04). 被引量：1
9吴振一,陈戈林,张克潜.球面换能器汇聚系统V(z)曲线的射线理论[J]声学学报,1988(06). 被引量：1
10陈戈林,胡思正,罗淑云,张克潜.500 MHz反射式机械扫描声学显微镜的研究和试制[J]声学学报,1988(02). 被引量：1

共引文献16

1陈戈林,任文革,郭艳林.声学显微镜及在电子器件工业中的应用[J].半导体技术,1994,10(1):50-57. 被引量：3
2陈戈林,郭艳林,任文革.多功能宽带超声检测和三维成像技术研究[J].声学学报,1994,19(4):241-251. 被引量：4
3陈戈林,郭艳林,任文革.THMUT-1型智能化多功能宽带超声检测仪的研制[J].无损检测,1994,16(12):334-338.
4陈戈林,任文革,郭艳林,陈宇.硬质合金材料声显成象检测技术[J].硬质合金,1994,11(2):95-100. 被引量：1
5张林华,杨永强,来克娴.激光技术在大规模集成电路中的应用及展望[J].激光与光电子学进展,2005,42(6):48-55. 被引量：5
6陈戈林,任文革,郭艳林.低频宽带超声显微镜的研制[J].清华大学学报（自然科学版）,1995,35(4):29-33.
7武志刚,邹杰,张良莹,姚熹.多层陶瓷电容器中的机电谐振在快速无损检测中的应用[J].西安交通大学学报,1995,29(9):102-106. 被引量：1
8陈戈林,乐光启,胡思正,罗淑云,任文革,张克潜.声显微镜及其图象处理研究[J].电子学报,1996,24(7):7-11. 被引量：1
9杨立峰,王亚非.激光在超声检测技术中的应用[J].激光与光电子学进展,2006,43(2):29-32. 被引量：8
10杨立峰,王亚非,周鹰,高椿明,王占平.层析扫描声学显微镜的研究[J].仪器仪表学报,2007,28(9):1605-1608. 被引量：3

同被引文献27

1姜峰,李剑峰,孙杰,李方义,路冬.硬脆材料塑性加工技术的研究现状[J].工具技术,2007,41(8):3-8. 被引量：21
2吴东江,曹先锁,王强国,王奔,高航,康仁科.KDP晶体加工表面的亚表面损伤检测与分析[J].光学精密工程,2007,15(11):1721-1726. 被引量：31
3高玉飞,葛培琪,李绍杰,侯志坚.单晶硅线锯切片亚表层损伤层厚度预测与测量[J].中国机械工程,2009(14):1731-1735. 被引量：9
4文东辉,洪滔,张克华,鲁聪达.蓝宝石晶体的双面研磨加工[J].光学精密工程,2009,17(10):2493-2498. 被引量：18
5王强国,高航,裴志坚,鲁春朋,王碧玲,滕晓辑.KDP晶体超声辅助磨削的亚表面损伤研究[J].人工晶体学报,2010,39(1):67-71. 被引量：14
6张银霞,李大磊,郜伟,康仁科.硅片加工表面层损伤检测技术的试验研究[J].人工晶体学报,2011,40(2):359-364. 被引量：14
7霍凤伟,郭东明,康仁科,冯光.Nanogrinding of SiC wafers with high flatness and low subsurface damage[J].Transactions of Nonferrous Metals Society of China,2012,22(12):3027-3033. 被引量：8
8戴子华,朱永伟,王建彬,居志兰,刘蕴锋.K9玻璃亚表面损伤的分步腐蚀法测量[J].光学精密工程,2013,21(2):287-293. 被引量：13
9康健,宣斌,谢京江.表面改性碳化硅基底反射镜加工技术现状[J].中国光学,2013,6(6):824-833. 被引量：28
10徐晓明,刘道标,周海,卓志国,臧跃.蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤双片式角度抛光法检测[J].现代制造工程,2014(5):118-122. 被引量：6

引证文献2

1王宁昌,姜峰,黄辉,徐西鹏.脆性材料亚表面损伤检测研究现状和发展趋势[J].机械工程学报,2017,53(9):170-179. 被引量：14
2李国峰,陈泓谕,杭伟,韩学峰,袁巨龙,皮孝东,杨德仁,王蓉.碳化硅晶圆的表面/亚表面损伤研究进展[J].人工晶体学报,2023,52(11):1907-1921. 被引量：1

二级引证文献15

1段珊,姜淑华,王春阳.光学元件亚表面损伤散射特性仿真研究[J].电光与控制,2018,25(9):75-77. 被引量：5
2高睿,姜晨,严广和,张勇斌.光学玻璃亚表面损伤深度预测及实验研究[J].光学仪器,2019,41(5):53-58. 被引量：1
3赖科铭,阎秋生,谢小柱,彭清发,赵朋.蓝宝石晶片飞秒激光辅助集群磁流变抛光试验研究[J].航空制造技术,2022,65(8):76-83.
4张羽斐,王子琨,胡伟栋,牛凤丽,朱永伟.固结磨料研磨硫化锌的亚表面损伤预测分析[J].红外与激光工程,2022,51(5):380-388. 被引量：3
5李凌众,王孝坤,戚二辉,彭利荣,于鹏亮,苏航,刘忠凯,王晶,罗霄,张学军,蔡铭宣.光学元件亚表面缺陷表征与检测技术研究现状分析(特邀)[J].红外与激光工程,2022,51(12):211-233. 被引量：1
6闫艳燕,马千里,张亚飞,秦飞跃,赵波.纵扭超声辅助磨削氮化硅亚表面损伤及其试验研究[J].表面技术,2023,52(2):55-66. 被引量：4
7李艳威,韩培盛,朱晓宇.基于包套压缩的高铬铸铁塑性变形行为及力学性能[J].塑性工程学报,2023,30(5):166-171.
8吕启鑫,石芳媛,白倩,蒋效雄,姜丽丽.石英玻璃亚表面微裂纹的偏振激光散射检测方法[J].光学精密工程,2023,31(14):2031-2039. 被引量：1
9郭源帆,尹韶辉,黄帅.Halbach阵列与不同励磁方式的磁流变抛光特性及机理研究[J].机械工程学报,2023,59(15):341-353. 被引量：2
10李国峰,陈泓谕,杭伟,韩学峰,袁巨龙,皮孝东,杨德仁,王蓉.碳化硅晶圆的表面/亚表面损伤研究进展[J].人工晶体学报,2023,52(11):1907-1921. 被引量：1

1袁敬闳,莫怀德,陈瑞徵,陈昌龄.激光扫描声学显微镜的实验研究[J].电子学报,1990,18(4):117-119. 被引量：4
2陈戈林,胡思正,罗淑云,张克潜,申忠明,徐正元.智能化150MHz反射式声学显微镜及声显微图像处理研究[J].应用科学学报,1993,11(3):226-234.
3陈戈林,胡思正,罗淑云,张克潜,申忠明,徐正元.智能化THSAM—5型反射式声学显微镜及其应用[J].现代科学仪器,1993(3):18-21.
4陈戈林,胡思正,罗淑云,张克潜,申忠明,徐正元.智能化150MHz反射式声学显微镜及其图象处理[J].应用声学,1992,11(3):6-11. 被引量：8
5陈戈林,任文革,郭艳林.声学显微镜及其应用研究[J].航空工艺技术,1993(6):2-5.
6胡建恺,张谦琳.声学显微镜及其应用[J].现代科学仪器,1992(3):21-22.
7王亚非,袁敬闳,陈瑞征,莫怀德.76MHz激光扫描声学显微镜的研究和试制[J].压电与声光,1997,19(5):307-310. 被引量：1
8王亚非,袁敬闳,陈瑞征.300MHz激光扫描声学显微镜[J].声学学报,1994,19(1):40-44. 被引量：2
9王亚非.激光扫描声学显微镜光学系统的设计[J].光学技术,1998,24(5):73-75. 被引量：2
10李文澜.扫描声学显微镜的原理及应用[J].航空制造工程,1990(8):21-24.

声学与电子工程

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