摘要
本文对激光扫描声学显微镜(SLAM)的刀口理论以及利用谐波技术提高其工作频率的方法进行了研究.实验上实现了使基波频率为100MHz的SLAM工作于300MHz三次谐波上.最后给出了一些样品在300MHzSLAM系统上较清晰的声学图像.
The knife-edge and harmonic technique in the laster Scanning Acoustic Microscope is studied in this paper,The operating frequency of the SLAM can be increased from100MHz to 300MHz using the harmonic technique. the SLAM images of some samples at 300MHz are presented
出处
《声学学报》
EI
CSCD
北大核心
1994年第1期40-44,共5页
Acta Acustica
关键词
声学显微镜
频率
激光扫描
Acoustic devices
Acoustic imaging
Acoustic wave effects
Laser applications
Scanning