智能化150MHz反射式声学显微镜及其图象处理被引量：8

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摘要本文描述了我们近期研制成功的一台智能化150MHz反射式声显微镜.该机以通用微机为核心,控制整机工作,终端显示图象.该机具有较高的表层和深层分辨能力,已观察出5.1mm深处20μm宽浅槽的形状.它可检测平面、圆柱形零件.该机还具有多项图象处理功能,分析样品参数,具有良好推广应用前景.

作者陈戈林胡思正罗淑云张克潜申忠明徐正元

机构地区清华大学电子工程系

出处《应用声学》 CSCD 1992年第3期6-11,共6页 Journal of Applied Acoustics

关键词声学显微镜图象处理反射式

参考文献4

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应用声学

1992年第3期

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