系统级模拟的MEMS器件宏模型 被引量：6

1

作者 戎华 黄庆安 李伟华 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第5期366-371,共6页

MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节 ,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型 ,该宏模型要能与电路模拟软件相连接 ,再用电路模拟软件进行系统级模拟。因此 ,关键是如何建立能满足此种要求的宏模型。本文介绍了常用的等... MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节 ,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型 ,该宏模型要能与电路模拟软件相连接 ,再用电路模拟软件进行系统级模拟。因此 ,关键是如何建立能满足此种要求的宏模型。本文介绍了常用的等效电路宏模型和硬件描述语言宏模型的建立方法以及这两种宏模型的优缺点。 展开更多

关键词 MEMS器件 系统级模拟 等效电路宏模型 硬件描述语言宏模型 微机电系统

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微机械薄膜应力的在线测试结构 被引量：4

2

作者 刘祖韬 黄庆安 姜岩峰 《测控技术》 CSCD 2002年第7期6-9,共4页

微机械薄膜应力对MEMS器件有较大的影响 ,因此应力测量对于工艺监控和MEMS器件设计是必须的。介绍了微机械薄膜应力的在线测试结构与方法 ,详细分析了各种方法的特点。

关键词 微机械薄膜应力 在线测试结构 半导体加工 MEMS器件 微电子技术

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MEMS器件IP库及系统应用 被引量：6

3

作者 殷刚毅 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期886-889,共4页

针对目前MEMS设计方法中系统分析不完善的现状,提出了将IP库单元应用于系统分析的方法。本文描述了已建立的MEMS微传感器件IP库单元的原型及库单元的结构和关键参数。以梳状微机械谐振器为例,使用SPICE语言调用已建立的IP库单元进行模... 针对目前MEMS设计方法中系统分析不完善的现状,提出了将IP库单元应用于系统分析的方法。本文描述了已建立的MEMS微传感器件IP库单元的原型及库单元的结构和关键参数。以梳状微机械谐振器为例,使用SPICE语言调用已建立的IP库单元进行模拟分析,实现了MEMS器件和电路的系统模拟。 展开更多

关键词 VIEMS器件 系统分析 IP库 SPICE

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热电薄膜型气体流量传感器的热模拟分析 被引量：1

4

作者 张昭勇 秦明 +1 位作者 黄庆安 朱昊 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期189-191,共3页

本文利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN ,模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场 .并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号以及气体流动状态的影响 .将最终的模拟计算结果与实验数据... 本文利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN ,模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场 .并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号以及气体流动状态的影响 .将最终的模拟计算结果与实验数据进行比较 ,发现二者基本吻合 .利用此热学模型来模拟和分析此类传感器 ,不但可以减少大量的模拟分析过程而且可以降低计算的复杂度 。 展开更多

关键词 有限元分析 热模拟 计算流体动力学 气体流量传感器

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梳状谐振器的大信号等效电路宏模型 被引量：2

5

作者 闻飞纳 李伟华 戎华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期185-189,共5页

研究了梳状谐振器在大信号作用下的机电特性方程 .采用 SPICE中的多项式受控源 ,给出了其 F - I类比的大信号等效电路 ,同时根据所得到的等效电路宏模型运用 SPICE软件进行了系统级的模拟 ,并采用两种方法进行了验证 .

关键词 梳状谐振器 大信号 SPICE 宏模型

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自对准双栅MOSFET的结构与工艺实现 被引量：1

6

作者 钱莉 李伟华 《电子器件》 CAS 2002年第3期287-291,共5页

双栅MOSFET是一种非常有发展前途的新型器件 ,它具有跨导高、亚阈值特性优异、短沟道特性好等优点。自对准的双栅MOSFET结构中 ,栅与源漏之间无覆盖 ,对于实现最终的高性能十分重要。

关键词 自对准 结构 双栅MOSFET 沟道

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微电子工艺模拟及器件分析的CA方法研究进展 被引量：1

7

作者 周再发 黄庆安 李伟华 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期618-623,630,共7页

综述了用于微电子工艺模拟和器件分析的元胞自动机(CA)方法的研究进展,分析了现有CA方法的优势,并比较了CA方法与其它方法的优缺点。在此基础上,展望了微电子工艺模拟及器件分析的CA方法的发展前景。对研究采用CA方法模拟微电子加工工... 综述了用于微电子工艺模拟和器件分析的元胞自动机(CA)方法的研究进展,分析了现有CA方法的优势,并比较了CA方法与其它方法的优缺点。在此基础上,展望了微电子工艺模拟及器件分析的CA方法的发展前景。对研究采用CA方法模拟微电子加工工艺和进行微电子器件分析具有参考意义。 展开更多

关键词 元胞自动机 微电子 工艺模拟 器件分析 电子器件

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在薄二氧化硅层上纯多晶硅化镍膜的研究

8

作者 樊路嘉 秦明 《电子器件》 CAS 2002年第2期157-159,共3页

本文研究了在薄二氧化硅层上快速热退火 (RTA)形成的多晶硅化镍膜的电特性。对于在薄二氧化硅上的纯硅化镍膜 ,测试了其到衬底的泄漏电流 ,发现二氧化硅性质仍类似于多晶硅膜或纯铝膜下二氧化硅性质。采用准静态C V方法研究了多晶硅栅... 本文研究了在薄二氧化硅层上快速热退火 (RTA)形成的多晶硅化镍膜的电特性。对于在薄二氧化硅上的纯硅化镍膜 ,测试了其到衬底的泄漏电流 ,发现二氧化硅性质仍类似于多晶硅膜或纯铝膜下二氧化硅性质。采用准静态C V方法研究了多晶硅栅和纯硅化镍栅的多晶栅耗尽效应 (PDE) ,并探讨了硅化镍栅掺杂浓度和栅氧化层厚度对PDE的影响。结果表明 :即使在未被掺杂的纯硅化镍栅膜 ,也未曾观察到PDE。 展开更多

关键词 硅化物 多晶栅耗尽效应 硅化镍膜

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MEMS器件自动优化算法

9

作者 赖文滨 李伟华 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1372-1375,共4页

研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术.以悬臂梁的谐振频率指标为例,通过TSPICE软件,模拟其在给定初始结构参数下的谐振频率,算法自动完成指标分析并选取适当的修正步长,采用恰当的参数修正算法对器件结构参数进行优化,通... 研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术.以悬臂梁的谐振频率指标为例,通过TSPICE软件,模拟其在给定初始结构参数下的谐振频率,算法自动完成指标分析并选取适当的修正步长,采用恰当的参数修正算法对器件结构参数进行优化,通过循环迭代直至满足用户频率指标和精度指标要求.最后采用CoventorWare软件对优化结果进行了验证. 展开更多

关键词 MEMS器件 自动优化算法 结构参数 悬臂梁

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MEMS器件自动优化算法及其实现

10

作者 赖文滨 李伟华 《电子器件》 CAS 2007年第2期554-556,562,共4页

研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术.以固支梁的谐振频率指标为例,通过HSPICE模拟软件,模拟其在给定结构参数下的谐振频率,算法自动完成指标分析并选取适当的修正步长,采用恰当的参数修正方法对器件进行优化,通过循环迭... 研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术.以固支梁的谐振频率指标为例,通过HSPICE模拟软件,模拟其在给定结构参数下的谐振频率,算法自动完成指标分析并选取适当的修正步长,采用恰当的参数修正方法对器件进行优化,通过循环迭代直至满足用户频率指标和精度指标(5%)要求.最后采用Coventor Ware软件对优化结果进行了验证. 展开更多

关键词 MEMS器件 自动优化算法 结构参数 固支梁

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理想静电传感器的大信号等效电路宏模型

11

作者 闻飞纳 李伟华 戎华 《电子器件》 CAS 2003年第3期283-286,共4页

从MEMS器件的机电耦合关系式出发,采用关系式各项与电路相对应的方法,研究了刚性平行极板纵向运动静电换能器的大信号等效电路的宏模型,其中利用了SPICE中的多项式受控源的形式来简化等效电路结构。对带有此刚性极板结构的集总参数的理... 从MEMS器件的机电耦合关系式出发,采用关系式各项与电路相对应的方法,研究了刚性平行极板纵向运动静电换能器的大信号等效电路的宏模型,其中利用了SPICE中的多项式受控源的形式来简化等效电路结构。对带有此刚性极板结构的集总参数的理想静电传感器进行系统级模拟,并对所建立的传感器大信号等效电路宏模型进行了分析及验证。 展开更多

关键词 受控源 大信号等效电路 宏模型 理想静电传感器

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