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基于改进MFCC和VQ的变压器声纹识别模型 被引量:82
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作者 王丰华 王邵菁 +2 位作者 陈颂 袁国刚 张君 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第5期1535-1542,共8页
为准确地获取变压器的噪声特性,该文提出了一种基于改进梅尔频率倒谱系数和矢量量化算法的变压器声纹识别模型。首先对变压器噪声信号进行分帧和加窗处理,然后综合运用加权处理法和主成分分析法对现有的MFCC特征向量提取算法进行改进,... 为准确地获取变压器的噪声特性,该文提出了一种基于改进梅尔频率倒谱系数和矢量量化算法的变压器声纹识别模型。首先对变压器噪声信号进行分帧和加窗处理,然后综合运用加权处理法和主成分分析法对现有的MFCC特征向量提取算法进行改进,进而基于VQ算法对变压器噪声信号进行识别。以某10k V变压器为对象进行空载试验,对不同铁芯松动下的噪声信号进行测试。计算结果表明,改进后的MFCC特征向量提取算法具有识别效率高和计算速度快的特点,所得到的MFCC特征向量能准确反映不同铁芯压紧程度下的变压器噪声特征,且基于VQ算法的识别结果与预设铁芯工况吻合良好。研究结果可为变压器结构优化设计及噪声治理提供依据。 展开更多
关键词 变压器 梅尔频谱倒谱系数 声纹识别 矢量量化 主成分分析 噪声
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基于无人机图像与迁移学习的线路绝缘子状态评价方法 被引量:25
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作者 罗建军 刘振声 +3 位作者 龚翔 黄绍川 欧阳业 魏征 《电力工程技术》 2019年第5期30-36,共7页
针对目前绝缘子运维过程存在着规程过于繁杂,过于依赖运维人员的人工识别等问题,文中提出了一种绝缘子状态评价方法,该方法采用历史绝缘子缺陷图像作为训练样本,通过迁移学习在小样本数据处理的优异性能实现基于深度卷积神经网络绝缘子... 针对目前绝缘子运维过程存在着规程过于繁杂,过于依赖运维人员的人工识别等问题,文中提出了一种绝缘子状态评价方法,该方法采用历史绝缘子缺陷图像作为训练样本,通过迁移学习在小样本数据处理的优异性能实现基于深度卷积神经网络绝缘子的缺陷识别模型训练,并借助卷积神经网络的特征提取能力实现绝缘子缺陷量化评分,结合历史样本与专家经验实现考虑运行年限、外界环境等因素实现绝缘子综合状态评价。通过实例分析表明文中迁移学习模型训练后绝缘子缺陷识别准确率可达到90%以上,而采用全新学习在同样的样本条件下识别准确率仅为70%,且文中建立的评价模型在日常运维中能够更为灵敏地体现绝缘子的缺陷状态,说明文中评价方法具有相当可靠性,可为运维人员的日常维护安排提供经验。 展开更多
关键词 无人机巡检 迁移学习 绝缘子 缺陷识别 状态评价
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基于声成像技术的电力设备缺陷检测方法研究 被引量:22
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作者 邵宇鹰 王枭 +2 位作者 彭鹏 袁国刚 柯楠 《中国测试》 CAS 北大核心 2021年第7期42-48,共7页
近年来变电站内在运电气设备异响现象时有发生,其中某些异响情况极易导致设备故障,有必要及时发现并处理,目前在变电站实际工作中,运维人员多采用耳听的方式判断异响位置。针对上述问题,该文分析变电站内电气设备异响来源,介绍基于DAMA... 近年来变电站内在运电气设备异响现象时有发生,其中某些异响情况极易导致设备故障,有必要及时发现并处理,目前在变电站实际工作中,运维人员多采用耳听的方式判断异响位置。针对上述问题,该文分析变电站内电气设备异响来源,介绍基于DAMAS算法的声成像技术,研制一种可搭载于变电站巡检机器人的电力设备异响检测系统,研究GIS设备机械振动异响、高压端电晕放电异响两种变电站典型设备异响情况。研究结果表明:该方法可快速准确地判断两种异响位置,基于DAMAS算法的声成像技术可有效提升传统波束形成算法的定位精度,定位距离可达30 m以上,再结合异响信号图谱特征和异响位置结构信息,可初步判断缺陷类型,满足变电站内异响缺陷定位需求。 展开更多
关键词 声成像技术 电力设备缺陷 异响检测 波束形成算法 DAMAS算法
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远程控制病菌孢子捕捉仪对小麦气传病害的监测效果 被引量:19
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作者 姜玉英 罗金燕 +7 位作者 罗德平 曾娟 赵康 路凤琴 俞懿 张全力 李金锁 李惠明 《植物保护》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期163-168,共6页
应用最新研发的病菌孢子捕捉仪,在河南、河北4地进行了3年的小麦气传真菌病害孢子捕捉试验,实现了自动显微对焦成像、数字化图像的网络传输和异地诊断等远程控制功能,明确了捕捉病菌的优势种类、捕捉孢子数量消长动态,验证了设备性能稳... 应用最新研发的病菌孢子捕捉仪,在河南、河北4地进行了3年的小麦气传真菌病害孢子捕捉试验,实现了自动显微对焦成像、数字化图像的网络传输和异地诊断等远程控制功能,明确了捕捉病菌的优势种类、捕捉孢子数量消长动态,验证了设备性能稳定性和捕捉效率。试验表明,远程控制病菌孢子捕捉仪可监测到的主要病菌种类(小麦白粉菌、锈菌、叶枯菌)及其数量动态能反映当地病情,从而可为将来小麦气传真菌病害的自动化诊断和科学监测提供手段,提出了进一步完善设备的自动化识别和计数功能的建议。 展开更多
关键词 远程控制 小麦气传真菌病害 孢子捕捉
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基于最优系统能效的配电网规划方法 被引量:16
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作者 谢伟 王哲斐 +1 位作者 蔡秋烨 翁若方 《电力工程技术》 北大核心 2021年第2期128-134,共7页
在当今的配电网规划中,提升能效是最重要的目标之一。现有的配电网规划模型大都以经济性为目标。文中从配电网系统能效入手,提出基于最优系统能效的配电网规划模型,选取节点煤耗作为入手点,综合考虑配网网损、分布式电源规划等能效因素... 在当今的配电网规划中,提升能效是最重要的目标之一。现有的配电网规划模型大都以经济性为目标。文中从配电网系统能效入手,提出基于最优系统能效的配电网规划模型,选取节点煤耗作为入手点,综合考虑配网网损、分布式电源规划等能效因素,可以较为全面地反映配网系统能效。在模型求解中,文中使用改进的粒子群(PSO)算法,在算法中加入惯性权值,可以在提高算法收敛速度的同时保证寻优结果的准确性,并给出了辐射网形态修正策略,确保规划结果的合理性。选取IEEE 33节点算例进行模型和算法验证,计算结果表明,文中的模型求解算法收敛快,稳定性高,配电网规划结果合理,有效提升了配网系统的能效水平,验证了文中配电网规划方法的有效性。 展开更多
关键词 配电网规划 系统能效 粒子群(PSO)算法 惯性权值 分布式电源
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塑料密封盖模具及脱模装置的设计 被引量:17
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作者 石环城 《机械制造》 2018年第7期100-102,共3页
分析了典型注塑件——塑料密封盖的成形工艺,论述了所设计的塑料密封盖模具结构,并对其脱模装置进行了设计。在设计中采用基于低速大转矩摆线液压马达的拖板辅助脱模装置,可以解决注塑件全自动螺纹脱模问题,提高注塑件的质量。
关键词 塑料密封盖 注塑件 模具 脱模装置 设计
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新型腹腔镜技术的发展综述 被引量:13
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作者 张宇 严加勇 顾良 《中国医疗器械杂志》 2019年第3期183-187,共5页
腹腔镜微创手术在外科手术中的占比逐年增高。近年来随着新型图像传感器、数字图像处理等技术的发展和应用,加速了新型腹腔镜的出现。立体腹腔镜(3D)的出现使术中定位更加准确;新型成像方式与新型结构设计满足了临床的更多需求;与光学技... 腹腔镜微创手术在外科手术中的占比逐年增高。近年来随着新型图像传感器、数字图像处理等技术的发展和应用,加速了新型腹腔镜的出现。立体腹腔镜(3D)的出现使术中定位更加准确;新型成像方式与新型结构设计满足了临床的更多需求;与光学技术(NBI技术、PDD技术、ICG技术)的融合使术中诊断成为可能。 展开更多
关键词 腹腔镜 图像传感器 数字图像处理技术 三维影像 成像方式
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基于声场听觉感知的变压器故障诊断方法研究 被引量:12
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作者 邵宇鹰 王枭 +2 位作者 彭鹏 袁国刚 郑申辉 《中国测试》 CAS 北大核心 2021年第3期92-97,共6页
精准的变压器故障诊断方法,对于保证变压器可靠运行具有重要意义。该文提出一种基于变压器声信号并考虑人耳听觉感知的变压器故障诊断方法。首先,通过模拟变压器不同工况条件,采集变压器正常工况和不同故障条件下的噪声样本;然后,基于... 精准的变压器故障诊断方法,对于保证变压器可靠运行具有重要意义。该文提出一种基于变压器声信号并考虑人耳听觉感知的变压器故障诊断方法。首先,通过模拟变压器不同工况条件,采集变压器正常工况和不同故障条件下的噪声样本;然后,基于人耳传声集总参数模型,计算各个样本的基底膜位移响应的统计平均值(statistical mean value of basilar membrane displacement response,SMVBMDR),并构建基于SMVBMDR的特征向量;最后,基于所构建的听觉特征向量,采用遗传算法优化的支持向量机对变压器状态进行识别,并通过测试样本验证所提出方法的有效性。结果显示,以SMVBDMDR为特征向量的故障诊断平均准确率高达98.1%。以上研究表明,基于变压器声信号并考虑人耳听觉感知特性的变压器故障诊断方法可以有效地应用于变压器故障诊断和监测中。 展开更多
关键词 变压器 故障诊断 声信号 听觉感知 基底膜
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基于振动分析法的变压器非电量状态监测与诊断研究 被引量:11
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作者 袁国刚 饶柱石 《发电技术》 2019年第2期134-140,共7页
振动分析法可在不停机、不解体的情况下实现变压器的状态监测与故障诊断,对提高设备运行可靠性具有重要意义。变压器表面的振动与变压器绕组及铁心的压紧状态、位移、形变等密切相关,国内外学者对其进行了深入广泛的研究。对振动分析中... 振动分析法可在不停机、不解体的情况下实现变压器的状态监测与故障诊断,对提高设备运行可靠性具有重要意义。变压器表面的振动与变压器绕组及铁心的压紧状态、位移、形变等密切相关,国内外学者对其进行了深入广泛的研究。对振动分析中的数值计算分析方法、振动测试技术进行了叙述,结合快速傅里叶变换、小波、希尔伯特黄变换、盲源分离技术介绍了信号处理方法在变压器振动分析中的应用,阐述了声学分析方法在变压器异常情况下的作用。对在线监测系统和离线振动频响的基本分析方法进行了简述。结合振动分析方法在变压器诊断应用中的趋势和难点,给出了需要深入研究的方向。 展开更多
关键词 变压器 非电量状态监测 振动 故障诊断
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基于闭环霍尔效应的电流传感器设计 被引量:11
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作者 赖俊驹 彭浩 +2 位作者 胡金磊 黄石华 王文博 《新型工业化》 2018年第9期1-5,共5页
为了提高电流测量元件的测量精度,根据闭环霍尔原理在测量电流时具有漏磁少、温飘影响小等优点,本文对闭环霍尔电流传感器与相关器件进行了优化选择;根据所需要的测量量程设计了差分放大电路的相关参数;通过数字控制器对霍尔元件的零偏... 为了提高电流测量元件的测量精度,根据闭环霍尔原理在测量电流时具有漏磁少、温飘影响小等优点,本文对闭环霍尔电流传感器与相关器件进行了优化选择;根据所需要的测量量程设计了差分放大电路的相关参数;通过数字控制器对霍尔元件的零偏电压进行调零,提高电流传感器的测量精度。试验证明本文所设计的闭环霍尔电流传感器具有较好的测量精度,在不同待测电流信号强度的条件下均能保证较小的相对误差,具有较好的实用价值。 展开更多
关键词 霍尔效应 磁平衡 电流传感器 电路设计
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碳化硅半导体技术和市场应用综述 被引量:11
11
作者 曹峻 《集成电路应用》 2018年第8期5-9,共5页
随着新能源产业的快速发展,宽禁带半导体越来越受到人们的关注。其中,碳化硅半导体已经开始在多个工业领域得到了广泛应用。在此,针对宽禁带半导体的材料性能、碳化硅半导体的功率器件进行了介绍。此外,也对碳化硅功率器件的封装技术进... 随着新能源产业的快速发展,宽禁带半导体越来越受到人们的关注。其中,碳化硅半导体已经开始在多个工业领域得到了广泛应用。在此,针对宽禁带半导体的材料性能、碳化硅半导体的功率器件进行了介绍。此外,也对碳化硅功率器件的封装技术进行了介绍。然后,对于使用碳化硅功率器件较多的应用领域进行了分析。最后,对于未来碳化硅半导体行业的技术发展趋势提出了展望。 展开更多
关键词 宽禁带半导体 碳化硅 功率器件
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基于可听声的GIL设备交流耐压击穿放电定位研究 被引量:10
12
作者 刘通 腾云 +4 位作者 杨景刚 马勇 赵科 夏峰 袁国刚 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期26-32,40,共8页
为对GIL设备耐压试验时击穿放电点进行准确定位,文中选取110 kV GIS上的一段母线气室,模拟GIL设备开展基于可听声的GIL设备交流耐压击穿放电定位研究,针对GIL设备击穿性放电时可听声信号中的背景噪声,首先综合基于完备总体平均经验模态... 为对GIL设备耐压试验时击穿放电点进行准确定位,文中选取110 kV GIS上的一段母线气室,模拟GIL设备开展基于可听声的GIL设备交流耐压击穿放电定位研究,针对GIL设备击穿性放电时可听声信号中的背景噪声,首先综合基于完备总体平均经验模态分解(complete ensemble empirical mode decomposition with adaptive noise,CEEMDAN)和小波阈值算法研究了声信号的去噪方法,并将声音信号中的背景噪声进行去除,然后采用时差法以直达声上升沿为标定时刻进行时延估计,实现放电点的空间定位。测试分析结果表明:所提出的去噪方法能有效抑制GIL击穿性放电时声信号中的噪声干扰,基于可听声的定位方法成功地确定了放电点,定位误差控制在15 cm之内,较好地满足了工程需求。 展开更多
关键词 GIL 击穿性放电 可听声 CEEMDAN 时差法 空间定位
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硅溶胶的有机改性及应用 被引量:9
13
作者 魏震 汪为磊 +2 位作者 刘卫丽 罗宏杰 宋志棠 《应用化工》 CAS CSCD 北大核心 2020年第3期536-539,共4页
为了提升纳米硅溶胶在硅片上SiO2薄膜的化学机械抛光(CMP)效率,用硅烷偶联剂KH550在酸性条件下对硅溶胶进行表面改性。对得到的产物进行化学机械抛光及通过粒度分析仪分析氧化硅粒径和Zeta电位变化,并通过红外光谱分析仪和原子力显微镜... 为了提升纳米硅溶胶在硅片上SiO2薄膜的化学机械抛光(CMP)效率,用硅烷偶联剂KH550在酸性条件下对硅溶胶进行表面改性。对得到的产物进行化学机械抛光及通过粒度分析仪分析氧化硅粒径和Zeta电位变化,并通过红外光谱分析仪和原子力显微镜分析氧化硅颗粒表面是否接枝上了硅烷偶联剂。结果表明,经过改性后的硅溶胶在红外测试中3400 cm-1附近和1616 cm-1附近出现了N—H的伸缩和弯曲振动峰;原子力显微镜探针离开氧化硅颗粒表面时存在粘弹性;用抛光机测得使用改性后的硅溶胶比使用未改性的硅溶胶去除速率有所提高,并在改性含量0.05%时,去除速率达到最快;改性后的硅溶胶粒子Zeta电位趋向于正向增大,且随着加入改性剂的量从0~0.1%逐渐增加,硅溶胶粒子Zeta电位向正电荷位移更加明显;对未改性的硅溶胶和加入0.05%KH550改性后的硅溶胶进行动态光散射分析,硅溶胶经过改性后粒径D25由65.3 nm增大到73.2 nm,粒径D50由79.2 nm增大到83.5 nm,粒径D99由154.1 nm减小至131.8 nm,而用静态光散射分析时,硅溶胶经过改性后粒径D10由69.0 nm变化为69.6 nm,粒径D50由99.1 nm变化为100.8 nm,粒径D99由191.2 nm变化为194 nm,可以看出D10,D50,D99基本没有发生变化。红外实验和原子力实验证明KH550成功地接枝到颗粒表面;加入改性剂KH550后,不仅改变了氧化硅表面Zeta电位,也改变了水化层;同时使小粒径胶粒的水化层变厚,大粒径的水化层变薄,使Zeta电位由负电荷变为正电荷,从而影响到在硅片上SiO2薄膜的抛光效率。 展开更多
关键词 硅溶胶 硅烷偶联剂KH550 改性 ZETA电位 粒径 化学机械抛光
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关于5G移动通信网络关键技术探讨 被引量:10
14
作者 陈亮 《通讯世界》 2020年第4期36-37,共2页
近年来,由于用户及业务需求以及未来移动通信市场的发展趋势等,尤其是物联网与移动互联网的发展需求,促使人们对于移动通信网络的要求也逐渐提高,因此,5G移动通信网络关键技术的重要性也得以充分展现。在本文中经过对5G网络的特征进行描... 近年来,由于用户及业务需求以及未来移动通信市场的发展趋势等,尤其是物联网与移动互联网的发展需求,促使人们对于移动通信网络的要求也逐渐提高,因此,5G移动通信网络关键技术的重要性也得以充分展现。在本文中经过对5G网络的特征进行描述,从而对其移动通信网络的关键技术进行探究,经过对其网络结构进行有效分析,进而促使5G移动通信网络技术更加有助于社会的发展需求。 展开更多
关键词 5G 移动通信网络 关键技术
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基于粒子群算法的变电站巡检机器人运行功率分配 被引量:9
15
作者 杨希磊 王哲斐 《湖北电力》 2021年第1期35-40,共6页
随着智能运检技术的不断发展,智能机器人已逐渐替代人工执行变电站电力设备巡检的任务。220 kV及以上高电压等级的变电站占地面积大,电力设备数量多,机器人难以保证完整的巡检频次。因此,充分考虑机器人的运行速度、运行功率、充电时间... 随着智能运检技术的不断发展,智能机器人已逐渐替代人工执行变电站电力设备巡检的任务。220 kV及以上高电压等级的变电站占地面积大,电力设备数量多,机器人难以保证完整的巡检频次。因此,充分考虑机器人的运行速度、运行功率、充电时间等因素,提出了目标为巡检时间最短的变电站巡检机器人功率分配模型,并使用粒子群算法进行模型求解,并在220 kV变电站设置了现场实验。实验结果表明,该算法使用后,全站巡检任务执行时间减少了28.74%,验证了其有效性。 展开更多
关键词 状态监测 机器人巡检 功率分配 粒子群算法
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档案库房环境安全智能系统设计与实现 被引量:10
16
作者 周耀林 夏真 王兰 《中国档案》 北大核心 2019年第2期68-69,共2页
在我国,上海、湖南等地早在20世纪80年代就开始研发档案库房环境控制系统,通过单片机实现了对档案库房温湿度的自动控制。此后,档案库房建设借鉴建筑自动化(BA)技术成果,朝着智能化方向发展。近年来,随着信息化技术的不断发展和应用,如... 在我国,上海、湖南等地早在20世纪80年代就开始研发档案库房环境控制系统,通过单片机实现了对档案库房温湿度的自动控制。此后,档案库房建设借鉴建筑自动化(BA)技术成果,朝着智能化方向发展。近年来,随着信息化技术的不断发展和应用,如何对档案库房环境安全进行综合化、集成化、智能化管控,推动档案库房环境建设符合新时期的“五大发展”理念,是值得研究的重要领域。 展开更多
关键词 档案库房建设 环境安全 智能系统 20世纪80年代 设计 库房环境 信息化技术 控制系统
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基于4 G网络的配电网远程监控系统设计与实现 被引量:9
17
作者 李浩良 骆潘钿 魏征 《广西电力》 2017年第4期43-44,48,共3页
为提高配电网自动化水平及供电可靠性,研发了一套由监控子站、远程通信网络和监控主站组成的智能配电网远程监控系统。该系统集成了最新的电力电子技术、通信技术与计算机技术,基于4 G无线通信网络,突破了地域限制,具有环境监测、设备... 为提高配电网自动化水平及供电可靠性,研发了一套由监控子站、远程通信网络和监控主站组成的智能配电网远程监控系统。该系统集成了最新的电力电子技术、通信技术与计算机技术,基于4 G无线通信网络,突破了地域限制,具有环境监测、设备健康状态评估、用电数据分析及遥视、遥测、遥信、遥控的四遥功能,实现了配电系统的信息化、自动化和智能化。 展开更多
关键词 智能配电网 4G通信网络 远程监控
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基于激光位移传感器的带锯条分齿在线检测系统研究 被引量:9
18
作者 冯冬冬 万熠 +1 位作者 汤碧红 李江杰 《工具技术》 北大核心 2016年第3期82-86,共5页
针对带锯条分齿检测存在的效率低、自动化程度低、进口设备成本高等问题,开发了一种新型的基于激光位移传感器的带锯条分齿在线检测系统。研究了该检测系统的检测原理以及单边安装双传感器消除带锯条抖动影响的方法,设计了该检测系统的... 针对带锯条分齿检测存在的效率低、自动化程度低、进口设备成本高等问题,开发了一种新型的基于激光位移传感器的带锯条分齿在线检测系统。研究了该检测系统的检测原理以及单边安装双传感器消除带锯条抖动影响的方法,设计了该检测系统的机械结构,分析了数据采集模块、运动控制模块及其他硬件的组成,给出了系统软件的主要设计思路以及软件的主要功能,最后在分齿机上对该检测系统进行了安装调试,并通过实验对比分析了分齿量系统检测值与手动检测值。研究结果表明,该检测系统满足了带锯条分齿在线检测的精度要求,检测效率提高2倍,每台检测设备可替代人工一人。 展开更多
关键词 带锯条 分齿量 激光位移传感器 在线检测
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蓝宝石化学机械抛光液作用机制研究 被引量:6
19
作者 邢星 王良咏 +7 位作者 刘卫丽 谢华清 宋志棠 蒋莉 邵群 程继 熊世伟 刘洪涛 《上海第二工业大学学报》 2013年第3期187-196,共10页
研究了以硅溶胶为磨料的蓝宝石化学机械抛光液在抛光过程中的作用机制。表征了抛光液在单次抛光及循环抛光前后的pH值、密度、粘度、固质量分数、zeta电位、粒径分布、金属元素浓度、大颗粒数目以及二氧化硅颗粒的形貌变化等。结合抛光... 研究了以硅溶胶为磨料的蓝宝石化学机械抛光液在抛光过程中的作用机制。表征了抛光液在单次抛光及循环抛光前后的pH值、密度、粘度、固质量分数、zeta电位、粒径分布、金属元素浓度、大颗粒数目以及二氧化硅颗粒的形貌变化等。结合抛光前后离心液上清液的金属元素质量分数与沉淀物红外光谱图,发现在抛光过程中蓝宝石与二氧化硅颗粒表面发生固-固相反应,生成硬度较小的硅铝酸盐,促进蓝宝石表面的化学抛光。通过分析重复使用的抛光液对去除速率和表面质量的影响,进一步确认蓝宝石化学机械抛光液中氧化硅与氧化铝的固-固作用机制。 展开更多
关键词 化学机械抛光(CMP) 蓝宝石 机制
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一种新型复合磨料对铜的化学机械抛光研究 被引量:8
20
作者 张磊 汪海波 +3 位作者 张泽芳 王良咏 刘卫丽 宋志棠 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期520-525,共6页
磨料是化学机械抛光(CMP)中重要的组成部分,是决定抛光平坦化的重要影响因素。采用两步法制备了新型的氧化硅包覆聚苯乙烯(PS)核壳型复合磨料,采用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM),X射线能量色散谱(EDX)等对复合磨料进行了表... 磨料是化学机械抛光(CMP)中重要的组成部分,是决定抛光平坦化的重要影响因素。采用两步法制备了新型的氧化硅包覆聚苯乙烯(PS)核壳型复合磨料,采用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM),X射线能量色散谱(EDX)等对复合磨料进行了表征。结果表明所制备的复合磨料具有核壳结构,且表面光滑。随后复合磨料对比硅溶胶对铜化学机械抛光进行研究,采用原子力显微镜(AFM)观测表面的微观形貌,并测量了表面粗糙度。经过复合磨料抛光后的铜片粗糙度为0.58nm,抛光速率为40nm/min。硅溶胶抛光后的铜片的粗糙度是1.95nm,抛光速率是37nm/min。 展开更多
关键词 PS/SiO2 复合磨料 化学机械抛光
原文传递
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