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新的溶胶-凝胶法制备Ge/SiO_2量子点玻璃 被引量:3
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作者 杨合情 刘守信 +3 位作者 张邦劳 王喧 张良莹 姚熹 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第10期1707-1710,共4页
以 3-三氯锗丙酸和正硅酸乙酯为原料 ,通过水解、缩聚凝胶热处理及氢气反应 ,在 Si O2 凝胶玻璃中析出立方相 Ge纳米晶 ,当 x=30时 ,凝胶玻璃中除了析出立方相 Ge纳米晶外 ,还析出六方相 Ge O2 .利用XRD测试了 Ge纳米晶的大小 ,发现随... 以 3-三氯锗丙酸和正硅酸乙酯为原料 ,通过水解、缩聚凝胶热处理及氢气反应 ,在 Si O2 凝胶玻璃中析出立方相 Ge纳米晶 ,当 x=30时 ,凝胶玻璃中除了析出立方相 Ge纳米晶外 ,还析出六方相 Ge O2 .利用XRD测试了 Ge纳米晶的大小 ,发现随着掺杂量的增加 ,纳米颗粒粒径从 1 nm增大到 1 0 nm.电子衍射表明镶嵌在 Si O2 凝胶玻璃中的 展开更多
关键词 溶胶凝胶法 ge纳米晶 SIO2玻璃 铈/二氧化硅纳米复合材料 量子点玻璃
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New Photoluminescence Phenomena of Ge/SiO_2 Glass Synthesized by Sol-gel Method
2
作者 YuYingFENG XiaoTianGU +3 位作者 JiaHongZHOU JianChunBAO GangLI TianHongLU 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 2004年第12期1505-1508,共4页
New Ge/SiO_2 glasses have been synthesized by heating the GeO_2/SiO_2 dry gels under H_2gas at 700℃. The resulting fluorescence spectra show that this kind of Ge/SiO_2 glasses emit strongphotoluminescence at 392 nm (... New Ge/SiO_2 glasses have been synthesized by heating the GeO_2/SiO_2 dry gels under H_2gas at 700℃. The resulting fluorescence spectra show that this kind of Ge/SiO_2 glasses emit strongphotoluminescence at 392 nm (3.12 eV), medium strong photoluminescence at 600 nm (2.05 eV)and weak photoluminescence at 770 nm (1.60 eV) respectively. Possible photoluminescencemechanisms are also discussed based on the results of X-ray diffraction (XRD) and X-rayphotoelectron spectra(XPS). 展开更多
关键词 ge/ SiO_2 glasses ge nanocrystals PHOTOLUMINESCENCE sol-gel method.
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射频磁控溅射技术制备Ge-SiO_2薄膜的结构和光学特性研究 被引量:2
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作者 栾彩霞 柴跃生 +2 位作者 孙钢 马志华 张敏刚 《太原科技大学学报》 2005年第2期136-139,共4页
用射频共溅射技术和后退火的方法,制备出埋入SiO2基质中的Ge纳米晶复合膜(ncGe/SiO2)。用XRD对薄膜的晶体结构进行了测试,未经退火的样品呈现非晶状态,600℃退火后的薄膜中开始有Ge纳米晶粒出现。研究了薄膜的Raman散射光谱,发现了其红... 用射频共溅射技术和后退火的方法,制备出埋入SiO2基质中的Ge纳米晶复合膜(ncGe/SiO2)。用XRD对薄膜的晶体结构进行了测试,未经退火的样品呈现非晶状态,600℃退火后的薄膜中开始有Ge纳米晶粒出现。研究了薄膜的Raman散射光谱,发现了其红移和宽化现象。测量了薄膜的光致发光谱,所有样品都在394nm处发出很强的光,随着Ge纳米晶粒的出现,样品有310nm和625nm处的光发出,其强度随晶粒平均尺寸的增大而增强。 展开更多
关键词 射频磁控溅射技术 SIO2薄膜 特性研究 制备 Raman散射光谱 光学 纳米晶粒 ge纳米晶 光致发光谱 晶体结构 平均尺寸 退火 复合膜 XRD 样品 600
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镶嵌结构锗纳米晶电输运的研究 被引量:2
4
作者 张盛华 卢铁城 +3 位作者 敦少博 胡强 赵建君 何捷 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期622-626,共5页
利用离子注入然后退火的方法制备了镶嵌有锗纳米晶的二氧化硅复合薄膜,从拉曼散射和透射电镜测量了解到薄膜中镶嵌有5~7nm大小的锗纳米晶层.研究了锗纳米晶层在常温和低温下的电输运性质.结果表明:锗纳米晶在100K^300K温度范围内符合莫... 利用离子注入然后退火的方法制备了镶嵌有锗纳米晶的二氧化硅复合薄膜,从拉曼散射和透射电镜测量了解到薄膜中镶嵌有5~7nm大小的锗纳米晶层.研究了锗纳米晶层在常温和低温下的电输运性质.结果表明:锗纳米晶在100K^300K温度范围内符合莫特变程跳跃电导(VRH)导电,100K以下的低温电导基本上是一常数,导电主要是电子在相邻纳米晶之间的直接跃迁;经退火可消除离子注入引入的缺陷,能增加薄膜的电导;对由3×1017cm-2注量锗离子注入制备的薄膜观察到半导体向金属导电的转变. 展开更多
关键词 锗纳米晶 电输运 低温电导
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Formation mechanism of Ge nanocrystals embedded in SiO2 studied by fluorescence x-ray absorption fine structure
5
作者 闫文盛 李忠瑞 +2 位作者 孙治湖 潘志云 韦世强 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第9期2764-2768,共5页
This paper reports that the Ge nanocrystals embedded in SiO2 matrix are grown on Si(100) and quartz-glass substrates, and the formation mechanism is systematically studied by using fluorescence x-ray absorption fine... This paper reports that the Ge nanocrystals embedded in SiO2 matrix are grown on Si(100) and quartz-glass substrates, and the formation mechanism is systematically studied by using fluorescence x-ray absorption fine structure (XAFS). It is found that the formation of Ge nanocrystals strongly depends on the properties of substrate materials. In the as-prepared samples with Ge molar content of 60%, Ge atoms exist in amorphous Ge (about 36%) and GeO2 (about 24%) phases. At the annealing temperature of 1073 K, on the quartz-glass substrate Ge nanocrystals are generated from crystallization of amorphous Ge, rather than from the direct decomposition of GeO2 in the as-deposited sample. However, on the Si(100) substrate, the Ge nanocrystals are generated partly from crystallization of amorphous Ge, and partly from GeO2 phases through the permutation reaction with Si substrate. Quantitative analysis reveals that about 10% of GeO2 in the as-prepared sample are permuted with Si wafer to form Ge nanocrystals. 展开更多
关键词 XAFS local structures ge nanocrystals
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Ga掺杂^(70)Ge纳米晶的制备与研究 被引量:1
6
作者 游草风 卢铁城 +7 位作者 胡又文 陈青云 敦少博 胡强 范立伟 张松宝 唐彬 代君龙 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期756-760,共5页
通过离子注入及中子嬗变掺杂制备了Ga(镓)掺杂^(70)Ge(锗)纳米晶,并对样品进行了质子激发X射线荧光分析谱(PIXE)、光致发光谱(PL)、激光拉曼散射谱(LRS)的测量与研究。结果表明:随着Ga杂质浓度的增加,580 nm附近的荧光峰的发光强度不断... 通过离子注入及中子嬗变掺杂制备了Ga(镓)掺杂^(70)Ge(锗)纳米晶,并对样品进行了质子激发X射线荧光分析谱(PIXE)、光致发光谱(PL)、激光拉曼散射谱(LRS)的测量与研究。结果表明:随着Ga杂质浓度的增加,580 nm附近的荧光峰的发光强度不断地下降,这可能是非辐射的俄歇复合过程与纳米晶数量的减少共同作用的结果。此外,从PL上面看到580nm附近的荧光峰蓝移则可能是由纳米晶尺寸的减小和非辐射的俄歇复合过程引起的。 展开更多
关键词 ge纳米晶 中子嬗变掺杂 光致发光 激光拉曼散射
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退火温度对镶嵌于SiO_2膜中的Ge纳米晶结构的影响 被引量:1
7
作者 张佳雯 高斐 +4 位作者 晏春愉 孙杰 权乃承 刘伟 方晓玲 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期143-147,共5页
采用磁控溅射及退火的方法制备了含Ge纳米晶的SiO2复合膜,应用拉曼散射和X射线衍射技术研究不同退火温度下的Ge纳米晶结构。结果表明:Ge纳米晶的结晶温度约为750℃。运用声子限域模型(RWL model)对样品的拉曼散射光谱进行拟合,确定出样... 采用磁控溅射及退火的方法制备了含Ge纳米晶的SiO2复合膜,应用拉曼散射和X射线衍射技术研究不同退火温度下的Ge纳米晶结构。结果表明:Ge纳米晶的结晶温度约为750℃。运用声子限域模型(RWL model)对样品的拉曼散射光谱进行拟合,确定出样品中Ge纳米晶的尺寸。通过XRD谱计算复合膜的内部压应力,得出由其引起的拉曼峰位的蓝移量,得出结论:压应力是造成拉曼模拟曲线与实验曲线峰位偏离的主要原因。 展开更多
关键词 ge纳米晶 磁控溅射 退火 SIO2膜 声子限域模型
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高剂量离子注入直接形成Ge纳米晶的物理机理 被引量:1
8
作者 胡强 卢铁城 +5 位作者 敦少博 张松宝 唐彬 代君龙 朱莎 王鲁闽 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期1543-1548,共6页
研究了单束双能高剂量Ge离子注入、不经过退火在非晶态SiO2薄膜中直接形成镶嵌结构Ge纳米晶的物理机制.实验中利用不加磁分析器的离子注入机,采用Ge弧光放电离化自动形成的Ge^+和Ge^2+双电荷离子并存的单束双能离子注入方法,制备了... 研究了单束双能高剂量Ge离子注入、不经过退火在非晶态SiO2薄膜中直接形成镶嵌结构Ge纳米晶的物理机制.实验中利用不加磁分析器的离子注入机,采用Ge弧光放电离化自动形成的Ge^+和Ge^2+双电荷离子并存的单束双能离子注入方法,制备了10^16~10^18cm^-2多种剂量Ge离子注入的Si基SiO2薄膜样品.用GIXRD表征了Ge纳米晶的存在,并仔细分析得到了纳米晶形成的阈值剂量.通过TEM分析了Ge纳米晶的深度分布和晶粒尺寸.用SRIM程序分别计算了双能离子在SiO2非晶层的射程和深度分布,与实验结合,得到纳米晶形成的物理机制,即纳米晶的形成与单束双能离子注入时Ge^+和Ge^2+相互碰撞产生的能量沉积在SiO2中形成的局域高温有关. 展开更多
关键词 ge纳米晶 阈值剂量 单束双能离子注入
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中子嬗变掺杂前后Ge纳米晶的结构和性质
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作者 陈青云 孟川民 +2 位作者 卢铁城 徐明 胡又文 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期6473-6479,共7页
采用第一性原理计算模拟Ge纳米晶在中子嬗变掺杂(NTD)后受空位、O和As杂质的影响.结果表明,退火方法引入的O并不能消除纳米晶中的辐照致空位缺陷的影响,而NTD产生的As掺杂能补偿这些空位缺陷并消除禁带中产生的杂质能级,从而改善半导体... 采用第一性原理计算模拟Ge纳米晶在中子嬗变掺杂(NTD)后受空位、O和As杂质的影响.结果表明,退火方法引入的O并不能消除纳米晶中的辐照致空位缺陷的影响,而NTD产生的As掺杂能补偿这些空位缺陷并消除禁带中产生的杂质能级,从而改善半导体掺杂性能.计算还发现,由于较高的电负性,纳米晶中O对Ge原子较强的吸附作用阻止了空位的形成,导致与缺陷相关的非辐射发光中心的浓度减小,发光效率提高,因此中子辐照掺杂前的高温退火处理是非常有必要的.计算较好地解释了已报道的实验结果. 展开更多
关键词 ge纳米晶 中子嬗变掺杂 第一性原理 空位缺陷
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用磁控溅射和退火方法制备多层锗纳米晶 被引量:1
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作者 晏春愉 高斐 +4 位作者 张佳雯 方晓玲 刘伟 孙杰 权乃承 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期705-709,共5页
以Si为衬底,SiO2+Ge为复合靶,用超晶格方法(SiO2+Ge层和SiO2+GeO2层交替生长)和磁控溅射技术制备镶嵌于Si/Ge氧化膜中的多层Ge纳米晶。X射线衍射(XRD)结果表明:退火样品中有Ge纳米晶生成。Ge纳米晶的声子限域效应引起Raman散射谱的Ge-G... 以Si为衬底,SiO2+Ge为复合靶,用超晶格方法(SiO2+Ge层和SiO2+GeO2层交替生长)和磁控溅射技术制备镶嵌于Si/Ge氧化膜中的多层Ge纳米晶。X射线衍射(XRD)结果表明:退火样品中有Ge纳米晶生成。Ge纳米晶的声子限域效应引起Raman散射谱的Ge-Ge振动峰向低频移动。X射线光电子能谱(XPS)分析表明Ge主要以Ge0和Ge4+形式分别存在于所制备的超晶格中的SiO2+Ge层和SiO2+GeO2层中。透射电子显微镜(TEM)研究表明,Ge纳米晶被限制在SiO2+Ge层中且结晶性好。实验结果说明,相比于通常的单层介质膜方法,用该超晶格方法极大地提高了Ge纳米晶的密度,尺寸和空间分布的均匀性。 展开更多
关键词 多层ge纳米晶 磁控溅射 退火 超晶格方法 均匀性
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多层Ge纳米晶镶嵌Si基薄膜制备与光学特性
11
作者 刘晓静 高斐 +4 位作者 赵卓斋 孙文超 张君善 宋美周 李宁 《陕西师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期23-26,共4页
采用超晶格方法,利用射频磁控共溅射及在N2气氛中退火技术,制备了多层Ge纳米晶(Ge-ncs)镶嵌Si基复合薄膜(Ge-ncs+SiO2/GeO2).同时采用椭圆偏振光谱法,研究了Ge-ncs的光学性质,并用sp3紧束缚理论模式,解释了Ge-ncs带隙宽化现象.结果表明... 采用超晶格方法,利用射频磁控共溅射及在N2气氛中退火技术,制备了多层Ge纳米晶(Ge-ncs)镶嵌Si基复合薄膜(Ge-ncs+SiO2/GeO2).同时采用椭圆偏振光谱法,研究了Ge-ncs的光学性质,并用sp3紧束缚理论模式,解释了Ge-ncs带隙宽化现象.结果表明:用超晶格方法制备的多层Ge-ncs具有密度高、尺寸和位置分布均匀的优点,纳米晶平均尺寸为9.8nm.复合薄膜(Ge-ncs+SiO2/GeO2)具有正常色散的特性,且在1 340nm处具有较强烈的吸收特性;Ge-ncs的光学带隙为0.82eV,与块体Ge材料相比,Ge-ncs吸收谱显示出0.16eV的带隙宽化.这种现象主要是由Ge-ncs中的量子限制效应导致的,采用sp3紧束缚理论模式可得到很好解释. 展开更多
关键词 多层ge纳米晶 磁控溅射 椭圆偏振光谱法 光学特性 量子限域效应
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天然锗纳米晶的制备与中子嬗变掺杂研究
12
作者 范立伟 卢铁城 +7 位作者 敦少博 胡又文 陈青云 胡强 游草风 张松宝 唐彬 代君龙 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期651-654,共4页
采用离子注入法及退火工艺,在硅基二氧化硅薄膜中制备了镶嵌结构的天然Ge纳米晶样品.通过退火实验研究,发现随着退火温度的升高,纳米晶的晶态峰峰位红移,这意味着Ge纳米晶受到的应力减小.当退火温度达到700℃时,纳米晶的晶态峰强度显著... 采用离子注入法及退火工艺,在硅基二氧化硅薄膜中制备了镶嵌结构的天然Ge纳米晶样品.通过退火实验研究,发现随着退火温度的升高,纳米晶的晶态峰峰位红移,这意味着Ge纳米晶受到的应力减小.当退火温度达到700℃时,纳米晶的晶态峰强度显著增强,而且薄膜中与Ge有关的缺陷发光减弱.采用中子嬗变掺杂法对天然Ge纳米晶进行了掺杂,X射线荧光光谱数据表明,样品中成功的引入了Ga杂质和As杂质.薄膜中形成的与Ge有关的缺陷具有稳定的结构,中子辐照之后其发光仍然存在,而且,掺杂后的样品中没有发现与Ga或As有关的缺陷发光. 展开更多
关键词 天然ge纳米晶 中子嬗变掺杂 拉曼光谱 X射线荧光光谱
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锗纳米晶浮栅存储器的电荷存储特性
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作者 刘奇斌 宋志棠 +1 位作者 吴良才 封松林 《功能材料与器件学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期145-149,共5页
Ge纳米晶嵌入高k介质中既可以提高器件的可靠性又可以降低写入电压和提高存储速度。本实验主要研究了用于非挥发存储器的含有Ge纳米晶MIS结构的电荷存储特性。MIS结构由电子束蒸发的方法制备,包括Al2O3控制栅,Al2O3中Ge纳米晶和Al2O3隧... Ge纳米晶嵌入高k介质中既可以提高器件的可靠性又可以降低写入电压和提高存储速度。本实验主要研究了用于非挥发存储器的含有Ge纳米晶MIS结构的电荷存储特性。MIS结构由电子束蒸发的方法制备,包括Al2O3控制栅,Al2O3中Ge纳米晶和Al2O3隧道氧化层。这种MIS结构在1MHz下的C-V特性表现出良好的电学性能,平带电压漂移为0.96V,电荷存储密度达到4.17×1012cm-2。不同频率下Ge纳米晶在Al2O3介质中电荷存储特性随着频率的增加,平带电压的漂移和存储的电荷数减小。随着扫描速率的增加,平带电压的漂移和存储电荷也减小。 展开更多
关键词 ge纳米晶 高k介质 C-V曲线
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锗纳米镶嵌薄膜的电致发光及其机制 被引量:1
14
作者 董业民 叶春暖 +5 位作者 汤乃云 陈静 吴雪梅 诸葛兰剑 王曦 姚伟国 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期670-672,共3页
采用射频磁控溅射技术 ,在Ge纳米镶嵌薄膜的基础上制备出电致发光器件。器件的结构为半透明Au膜 /Ge纳米镶嵌薄膜 /p Si基片。当正向偏压大于 6V时 ,用肉眼可以观察到可见的电致发光 ,但在反向偏压下探测不到光发射。所测电致发光谱中... 采用射频磁控溅射技术 ,在Ge纳米镶嵌薄膜的基础上制备出电致发光器件。器件的结构为半透明Au膜 /Ge纳米镶嵌薄膜 /p Si基片。当正向偏压大于 6V时 ,用肉眼可以观察到可见的电致发光 ,但在反向偏压下探测不到光发射。所测电致发光谱中只有一个发光峰 ,峰位在 5 10nm ( 2 .4eV ,绿光 ) ,并且随着正向偏压的升高 ,峰位不发生移动 ;对于不同温度退火的样品 ,峰位也保持不变。 展开更多
关键词 锗纳米镶嵌薄膜 电致发光 发光机制
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非对称性隧穿势垒Ge/Si复合纳米结构MOSFET存储特性的电路模拟
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作者 周少华 杨红官 《湖南工程学院学报(自然科学版)》 2006年第1期12-15,共4页
介绍了非对称性势垒单电子管(ATBs)的电路模拟和特性,以及采用准经典的Monte Carlo方法对Ge/Si复合纳米结构MOSFET存储器的电路模拟,得出由于台阶状复合势垒的作用,在擦写时间保持μs和ms量级的同时,存储时间可长达数年.从而解决了快速... 介绍了非对称性势垒单电子管(ATBs)的电路模拟和特性,以及采用准经典的Monte Carlo方法对Ge/Si复合纳米结构MOSFET存储器的电路模拟,得出由于台阶状复合势垒的作用,在擦写时间保持μs和ms量级的同时,存储时间可长达数年.从而解决了快速编程与长久存储之间的矛盾. 展开更多
关键词 非对称势垒 复合纳米结构 单电子存储器 电路模拟
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