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准分子激光加工表面轮廓的分形分析

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摘要准分子激光加工是解决MEMS中微摩擦问题的手段之一。通过研究准分子激光加工表面轮廓的分形特性,探索准分子激光加工表面轮廓分析中的应用问题,如分形参数表征和分形插值模拟等。

作者蔡伟群陈志新谢世坤

机构地区华东理工学院南昌大学机电学院

出处《航天制造技术》 2003年第3期8-12,共5页 Aerospace Manufacturing Technology

关键词准分子激光加工分形参数加工表面表面轮廓微摩擦

分类号 TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]

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2003年第3期

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