准分子激光加工的应用被引量：2

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摘要准分子激光加工的应用前言准分子激光器是一种大能量、高功率紫外激光器，作为超微细加工工具，在各种应用领域均受到重视，并且准分子激光器作为产业使用正逐步实用化。本文介绍准分子激光器的几种实用例子，重点介绍其优良的加工特性。首先，准分子激光加工的特征归纳为...

作者邹意会张荣康

出处《国外激光》 CSCD 1994年第8期29-30,共2页

关键词激光加工准分子激光器

同被引文献9

1冯伯儒.准分子激光的应用[J].微细加工技术,1994(3):43-51. 被引量：4
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国外激光

1994年第8期

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