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真空技术及应用系列讲座 第十八讲 真空蒸发镀膜 被引量:3

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摘要 2.3.3膜材的蒸发速率在蒸发物固(或液)相与其气相共存体系中,在热平衡状态下,根据气体分子运动论,若气体压力为p,温度为r,则单位时间内碰撞单位蒸发面积的分子数为.
作者 张以忱
机构地区 东北大学
出处 《真空》 CAS 2013年第4期86-88,共3页 Vacuum
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引证文献3

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