期刊文献⁺

任意字段

题名或关键词

题名

关键词

文摘

作者

第一作者

机构

刊名

分类号

参考文献

作者简介

基金资助

栏目信息

第十八讲真空蒸发镀膜被引量：1

下载PDF

导出

摘要 ⑤具有轴向枪、磁聚焦和磁偏转90。的蒸发器：如图11（e）所示。采用水平安装电子枪，电子束经静电偏转或磁偏转之后再轰击镀料，可克服蒸气污染和占用有效空间的缺点。

作者张以忱

机构地区东北大学

出处《真空》 CAS 2014年第1期77-80,共4页 Vacuum

关键词真空蒸发镀膜水平安装静电偏转有效空间磁偏转磁聚焦蒸发器电子枪

分类号 O484 [理学—固体物理] TB4 [理学—物理]

引文网络
相关文献

同被引文献1

1王秀海.e型电子束蒸发源的原理及维修[J].半导体技术,2012,37(5):386-389. 被引量：4

引证文献1

1侯立永,王秀海.蒸发台e型电子枪的工作原理与维修技术[J].电子工业专用设备,2020,49(1):58-62.

1张以忱.第十八讲真空蒸发镀膜[J].真空,2013,50(2):79-80.
2高雁.真空蒸发镀膜膜厚的测量[J].大学物理实验,2008,21(4):17-19. 被引量：3
3高雁.影响真空蒸发镀膜膜厚的因素分析[J].太原科技,2008(9):78-79. 被引量：6
4蒋欣荣.用一维方法计算一些迴转型静电偏转场问题[J].电子科学学刊,1991,13(1):108-112.
5张以忱.真空技术及应用系列讲座第十八讲真空蒸发镀膜[J].真空,2013,50(4):86-88. 被引量：3
6张建民.真空蒸发镀膜的两种新观察方法[J].真空,1994,31(5):32-33.
7安奎生,付申成,谷德山.教学用金属真空蒸发镀膜实验装置的研制[J].大学物理实验,2016,29(6):98-100. 被引量：1
8刘向,刘惠,薛钰芝,王克非.酞菁铜薄膜制备及其光学性能[J].大连交通大学学报,2010,31(6):79-82. 被引量：1
9高红,李庆绵.真空蒸发镀膜膜厚影响因素的实验研究[J].鞍山师范学院学报,2003,5(2):40-42. 被引量：4
10王超英.热能表检定中不可忽视的几个问题[J].中国计量,2008(6):109-109. 被引量：4

真空

2014年第1期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...

;

使用帮助返回顶部