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第十八讲真空蒸发镀膜

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摘要（接2013年第5期第80页）制作方法如下：将上述三种材料按重量比混合均匀，用氮化硼或石墨作模具，在压力为10MPa～40MPa和温度为1500℃～1900℃的条件下热压成形。氮化硼导电陶瓷与石墨等材料的特性比较见表7。用氮化硼导电陶瓷制成的蒸发器的形式如图10所示。

作者张以忱

机构地区东北大学

出处《真空》 CAS 2013年第6期77-78,共2页 Vacuum

关键词真空蒸发镀膜导电陶瓷氮化硼混合均匀热压成形重量比蒸发器材料

分类号 O484 [理学—固体物理] TB4 [理学—物理]

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真空

2013年第6期

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