多晶硅氢化炉及还原炉的研发被引量：9

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摘要通过分析我国多晶硅生产现状,改良西门子法的原理和国内运行存在的问题,研制具有特色的氢化炉/还原炉,实现多晶硅生产的减排降耗。

作者董黎明雷钦祥刘成玲

机构地区江苏双良锅炉有限公司

出处《节能与环保》 2009年第9期34-36,共3页

关键词多晶硅改良西门子法氢化炉还原炉

分类号 TK175 [动力工程及工程热物理—热能工程]

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