脉冲激光大面积均匀镀膜技术

下载PDF

导出

摘要介绍了脉冲激光大面积均匀镀膜技术的镀膜装置、工作原理及其应用前景。

作者王浩

机构地区广东五邑大学

出处《新技术新工艺》北大核心 1998年第1期39-40,共2页 New Technology & New Process

关键词脉冲激光镀膜大面积靶材反射镜

参考文献3

1J.T.Cheung History and Fundamentals of Pulsed Laser Deposition,of thin Films,New York:Wiley.1994.1. 被引量：1
2王浩.激光触发真空电弧镀膜方法及其应用[J].电加工,1997(2):29-31. 被引量：3
3A.A.Voevodin and M.S.Doniey,Preparation of amorphous diamond like carbon by pulsed laser deposition:a critical review,Surf Coat.Technol,1996.82:199-2l3. 被引量：1

1陈隆智.真空与低温应用集锦——90年代最新的真空溅射镀膜装置[J].真空与低温,1990,9(4):59-60.
2专利名称：镀膜装置中的遮板[J].表面技术,2005,34(4):57-57.
3安奎生,付申成,谷德山.教学用金属真空蒸发镀膜实验装置的研制[J].大学物理实验,2016,29(6):98-100. 被引量：1
4向鹏飞,陈俊芳,蒙高庆,胡社军,吴先球,符斯列,李赟.等离子体辅助电子枪蒸发制备AlN薄膜及等离子体参数诊断[J].华南师范大学学报（自然科学版）,2006,38(2):61-65.
5肖志刚,叶锡生,林东生,黄绍艳,满一行.纳米金红石相TiO_2的制备及其介电性能实验研究[J].真空科学与技术,2000,20(4):235-237. 被引量：2
6张茂平,陈俊芳,蒙高庆,向鹏飞,史磊,赖秀琼.离子源辅助法制备TiN及等离子体特性研究[J].华南师范大学学报（自然科学版）,2006,38(3):59-64. 被引量：1
7韩伟静,魏清泉,李运涛,周晓光,俞育德.一种基于SU8聚合物的基因测序芯片[J].物理学报,2013,62(14):496-503. 被引量：2

新技术新工艺

1998年第1期

内容加载中请稍等...