真空与低温应用集锦——90年代最新的真空溅射镀膜装置

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摘要 1990年初,欧洲的巴尔采司(Baizers)公司推出的 CLC9300型真空溅射镀装置已被人们誉为90年代的最新产品。巴尔采司公司是当今世界上最大的真空系统和真空元件制造厂家之一。该公司成立于1946年,职工总人数现已超过4000人.总公司位于列支敦士登公国。主要的生产厂布于列支敦士登、瑞士、德国和美国。更多的分公司、维修和销售点遍布于世界各地。

作者陈隆智

出处《真空与低温》 1990年第4期59-60,共2页 Vacuum and Cryogenics

关键词真空镀膜镀膜装置溅射

分类号 TN305.8 [电子电信—物理电子学]

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真空与低温

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