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KLA-Tencor新近推出的Aleris8500薄膜度量系统用于45nm及更小尺寸厚度与成份的测定

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摘要 KLA—Tencor公司新近推出了Aleris^TM系列薄膜度量系统，该系列从Aleris 8500开始，是业界第一套将可用于生产的成份与多层薄膜厚度测定结合在一起的系统。其它Aleris系列系统将在未来数月内以不同配置推出，以满足45nm节点及以下尺寸所有薄膜应用的性能与CoO要求。

出处《电子工业专用设备》 2007年第12期68-68,共1页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词多层薄膜厚度测定 KLA 小尺寸系统成份度量 COO

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

引文网络
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电子工业专用设备

2007年第12期

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