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气相色谱法分析高纯气体的几个问题被引量：3

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摘要前言随着新技木的发展,各领域对高纯气体的品种和质量要求愈来愈高,半导体微电子器件工业,电真空材料加工,各种金属的冶炼和处理,大规模集成电路的研究和生产,色谱等精密仪器用的载气、零点气、标准气的制备,金属有机化合物的合成。

作者高增

机构地区中国科学院大连化学物理研究所

出处《低温与特气》 CAS 1989年第3期38-45,37,共9页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词气体高纯度气相色谱法

分类号 O659.3 [理学—分析化学]

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低温与特气

1989年第3期

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