摘要
大规模集成电路的发展,对高纯气体中微最水份的测定提出了更高的要求。本文就高纯气体中微量水份的气相谱测定条件进行了系统的研究,制订了一个简便可行的分析方法,并对科研生产中使用的高纯气体N_2、H_2、Ar中微量水份含量进行了测定,结果满意。 1.仪器与试剂: 日本岛津GC—7AG气相色谱仪,热导检定器;北京分析仪器厂8021型浓缩进样器,色谱柱长1m、内径3mm不锈钢管;固定相60～80目GDX—105,经200℃老48小时后使用;浓缩柱为26×8×36mm^(3)
出处
《分析化学》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989年第8期767-767,共1页
Chinese Journal of Analytical Chemistry
