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玻璃粉中硼、钾、钠的ICP－AES测定

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摘要玻璃粉是一种重要的半导体材料。本文采用电感耦合等离子体发射光谱仪对玻璃粉中的硼、钾、钠的定量分析做了研究，研究了样品的溶解、氢氟酸对待测元素的影响，然后进行了内标元素的补偿，在此基础上做了回收实验，并测定了实际样品。

作者王春梅张淑珍吴琼

机构地区电子工业部第四十六研究所

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第6期52-53,共2页 Semiconductor Technology

关键词 ICP-AES 玻璃粉硼钾钠半导体材料

分类号 TN304.81 [电子电信—物理电子学]

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半导体技术

1994年第6期

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