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微机械非制冷红外热电堆探测器 被引量：3

Micromachined Uncooled Infrared Thermopile Detector
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摘要 近年来,非制冷红外探测器应用和开发一直是令人关注的焦点之一,详细介绍了几种现阶段流 行的非制冷热电堆探测器的工艺制作方法以及所用材料,并介绍了近几年来热电堆探测器的发展情况。 These years, invention and application of uncooled infrared detector are one of focuses . This paper introduces several prevalent methods and applied material of uncooled infrared thermopile detector, and presents the development of thermopile detector
作者 蔡小五 马斌 梁平治
机构地区 中国科学院上海技术物理研究所
出处 《红外技术》 CSCD 北大核心 2005年第1期34-38,共5页 Infrared Technology
关键词 非制冷红外探测器 热电堆 微机械 工艺制作 焦点 阶段 发展情况 开发 thermopile infrared MEMS thermoelectric material
分类号 TN215 [电子电信—物理电子学] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 相关文献

参考文献15

二级参考文献17

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引证文献3

二级引证文献4

红外技术
2005年 第1期

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