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薄膜瞬态温度传感器的制备及性能研究 被引量:22
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作者 崔云先 薛帅毅 +2 位作者 周通 李东明 牟瑜 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期3028-3035,共8页
针对普通温度传感器存在响应时间长、无法快速测量瞬态温度以及薄膜热电偶引线困难的技术难题,研制了一种响应速度快、测量精度高、引线方便的薄膜瞬态温度传感器。采用直流脉冲磁控溅射技术,在嵌入Ni Cr-Ni Si平行电极丝的陶瓷基体端... 针对普通温度传感器存在响应时间长、无法快速测量瞬态温度以及薄膜热电偶引线困难的技术难题,研制了一种响应速度快、测量精度高、引线方便的薄膜瞬态温度传感器。采用直流脉冲磁控溅射技术,在嵌入Ni Cr-Ni Si平行电极丝的陶瓷基体端面依次沉积Ni Si功能薄膜和Si O2绝缘保护薄膜。利用自行研制的静态标定系统对薄膜传感器的静态性能进行了研究,结果表明所研制传感器在50~400℃范围内具有良好的线性和热稳定性,塞贝克系数为41.2μV/℃,非线性误差不超过0.05%,改变Ni Si薄膜的厚度对传感器的塞贝克系数影响很小。利用ANSYS有限元仿真和动态标定实验对薄膜传感器的动态性能进行了研究,结果表明所研制传感器的响应时间为μs级,时间常数随着Ni Si热接点薄膜厚度的增加而增大,改变激光脉冲能量对传感器时间常数的影响很小。利用温度检定炉对薄膜传感器进行了测温试验研究,结果表明所研制传感器能够快速响应温度的变化,可为瞬态温度的测试提供有效的方法和技术途径。 展开更多
关键词 瞬态温度 薄膜传感器 响应时间 有限元分析
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类金刚石薄膜残余应力的研究进展 被引量:16
2
作者 张婷 何娟 +1 位作者 任瑛 邹文俊 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期84-87,95,共5页
类金刚石薄膜由于存在很大的残余应力,在实际应用中薄膜易产生裂纹、破裂甚至脱落。这些问题导致类金刚石薄膜在使用过程中过早失效。因此,缓解残余应力是类金刚石薄膜急需解决的问题和实际应用的需要。介绍了类金刚石薄膜残余应力的产... 类金刚石薄膜由于存在很大的残余应力,在实际应用中薄膜易产生裂纹、破裂甚至脱落。这些问题导致类金刚石薄膜在使用过程中过早失效。因此,缓解残余应力是类金刚石薄膜急需解决的问题和实际应用的需要。介绍了类金刚石薄膜残余应力的产生,对国内外调控残余应力的途径以及研究进展进行综述。使用有限元分析法模拟薄膜的残余应力可为类金刚石薄膜的制备和工艺设计提供参考。 展开更多
关键词 DLC薄膜 残余应力 有限元分析法
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薄膜热电偶温度传感器动态标定的仿真研究 被引量:16
3
作者 祁漫宇 丁炯 +1 位作者 杨遂军 叶树亮 《计算机仿真》 CSCD 北大核心 2016年第6期325-330,共6页
薄膜热电偶温度传感器的动态标定,即测量激励信号的响应过程,得到动态特性指标。由于动态标定中激励源参数的选取多以实验测量为主,缺乏理论基础,存在着较大的测量误差。针对上述问题,首先以薄膜热电偶动态标定常用的脉冲激光法作为切入... 薄膜热电偶温度传感器的动态标定,即测量激励信号的响应过程,得到动态特性指标。由于动态标定中激励源参数的选取多以实验测量为主,缺乏理论基础,存在着较大的测量误差。针对上述问题,首先以薄膜热电偶动态标定常用的脉冲激光法作为切入点,分析激光与热电偶的作用过程和传热机理;然后采用有限元方法建立三维瞬态传热模型,得到不同激励条件下薄膜热电偶的动态特性指标;最终形成了一种科学、可行的激光参数选取方法,对薄膜热电偶温度传感器动态标定的研究为动态温度准确测量提供了依据。 展开更多
关键词 薄膜热电偶 动态标定 激光参数 三维瞬态传热模型 有限元分析
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一种低压驱动TFT液晶显示屏的方法 被引量:11
4
作者 杨虹 王刚 +3 位作者 唐志勇 凌志华 黄锡珉 金圣经 《液晶与显示》 CAS CSCD 1999年第3期211-215,共5页
介绍了一种低压驱动 T F T 液晶屏的方法。它是通过变化每行的公共电压来实现的。数据驱动器的输出电压最高只须 5 V, 从而使 L S I数据驱动器的尺寸可以做得更小, 功耗也更低。
关键词 薄膜晶体管 液晶像元 灰度级 低压驱动 显示屏
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1.06μm连续激光辐照TiO_2/SiO_2/K_9薄膜元件温升规律研究 被引量:13
5
作者 周维军 袁永华 +1 位作者 桂元珍 沈志学 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1307-1311,共5页
利用1.06μm连续激光在不同强度下辐照TiO2/SiO2/K9薄膜元件,实验中用红外热像仪测量激光辐照在TiO2/SiO2/K9元件表面引起的温升随时间的变化,通过数据处理,获得激光辐照区域最高温度随辐照时间的增加而增加。同时,给出材料温升随材料... 利用1.06μm连续激光在不同强度下辐照TiO2/SiO2/K9薄膜元件,实验中用红外热像仪测量激光辐照在TiO2/SiO2/K9元件表面引起的温升随时间的变化,通过数据处理,获得激光辐照区域最高温度随辐照时间的增加而增加。同时,给出材料温升随材料发射率的变化关系。并用程序模拟不同激光强度下薄膜温度场的分布,通过实验测量数据校正数值模拟计算结果,给出TiO2/SiO2/K9薄膜元件温度随激光辐照强度和辐照时间的变化规律。并且获得在薄膜厚度方向:薄膜表面温度最高,基底与薄膜接触处温度最低;沿径向:激光辐照中心温度最高,边沿温度最低。 展开更多
关键词 连续激光 薄膜元件 温度场 数值模拟
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复合钒钼酸干凝胶薄膜湿敏元件的感湿机理 被引量:11
6
作者 李莉 童茂松 翁爱华 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期30-32,共3页
采用sol-gel法,制备了复合钒钼酸H2V8.5Mo3.5O32·nH2O干凝胶薄膜湿敏元件。测试频率为1kHz时,元件全湿范围内线性响应好,灵敏度高,最大湿滞约为RH2.74%,响应、恢复时间分别为8s和20s,283-303K温度范围内的感湿温度系数为... 采用sol-gel法,制备了复合钒钼酸H2V8.5Mo3.5O32·nH2O干凝胶薄膜湿敏元件。测试频率为1kHz时,元件全湿范围内线性响应好,灵敏度高,最大湿滞约为RH2.74%,响应、恢复时间分别为8s和20s,283-303K温度范围内的感湿温度系数为RH0.4%/℃;H2V8.5Mo3.5O32·nH2O干凝胶薄膜湿敏元件的导电机理为电子和离子导电共存,低湿时以电子导电为主,湿度增加,离子导电增强。 展开更多
关键词 电子技术 复合钒钼酸 干凝胶薄膜 湿敏元件 复阻抗
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铜铟镓硒薄膜元素含量的ICP-OES/ICP-MS分析 被引量:8
7
作者 王梅玲 王海 +2 位作者 任丹华 张艾蕊 王向楠 《计量科学与技术》 2022年第12期11-15,45,共6页
铜铟镓硒(CIGS, Cu(In,Ga)Se_(2))薄膜太阳能电池转换效率提高的关键,在于CIGS吸收层的元素含量及元素深度分布的有效控制,对元素含量的准确测量是制备和控制工艺中的基础。采用磁控溅射和三步热蒸镀方法模拟制备了Mo/CIGS薄膜,作为铜... 铜铟镓硒(CIGS, Cu(In,Ga)Se_(2))薄膜太阳能电池转换效率提高的关键,在于CIGS吸收层的元素含量及元素深度分布的有效控制,对元素含量的准确测量是制备和控制工艺中的基础。采用磁控溅射和三步热蒸镀方法模拟制备了Mo/CIGS薄膜,作为铜铟镓硒薄膜太阳能电池材料元素含量测量的样品,开展了电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES)和电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)方法准确测定CIGS元素含量的方法研究。结果表明,建立的CIGS前处理方法及ICP-OES、ICP-MS测试方法准确可靠,两种方法测量结果一致,测试方法的相对不确定度在0.8%~1.3%之间,能够实现CIGS样品的准确测量,进而为基于表面分析方法对CIGS的深度剖析提供校正标准,能满足产业中对铜铟镓硒薄膜深度元素剖析的准确计量需求。 展开更多
关键词 铜铟镓硒薄膜 元素含量 电感耦合等离子体发射光谱 电感耦合等离子体质谱 不确定度
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多层薄膜沉积的应力仿真分析 被引量:8
8
作者 李长安 杨明冬 +1 位作者 全本庆 关卫林 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第4期404-408,共5页
提出了一种薄膜本征应力的模拟方法,数值仿真分析了多层薄膜沉积过程中的热应力和本征应力。通过引入本征应力系数,并借助现有的热应力有限元分析程序,模拟了薄膜的本征应力,并从理论上证明了该方法的合理性。采用模型重构-应力初始化... 提出了一种薄膜本征应力的模拟方法,数值仿真分析了多层薄膜沉积过程中的热应力和本征应力。通过引入本征应力系数,并借助现有的热应力有限元分析程序,模拟了薄膜的本征应力,并从理论上证明了该方法的合理性。采用模型重构-应力初始化的方法模拟了材料增长,建立了多层薄膜应力分析模型。工程实例分析结果表明,采用该方法和流程可以方便地模拟出多层薄膜在每个沉积阶段的本征应力和热应力。 展开更多
关键词 薄膜 膜应力 有限元 材料增长
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基于红外热像仪的光学薄膜吸收测试方法 被引量:7
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作者 荆建行 孔明东 +1 位作者 王强 郭春 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期84-90,共7页
光学薄膜在制备和使用过程中会因缺陷和污染等产生吸收中心,当薄膜受激光辐照后,吸收中心吸收光能会产生热信号,根据热信号可以测量光学薄膜的光学吸收损耗。本文提出基于红外热像仪测量薄膜光学吸收损耗的方法,在测试中加入参考样品可... 光学薄膜在制备和使用过程中会因缺陷和污染等产生吸收中心,当薄膜受激光辐照后,吸收中心吸收光能会产生热信号,根据热信号可以测量光学薄膜的光学吸收损耗。本文提出基于红外热像仪测量薄膜光学吸收损耗的方法,在测试中加入参考样品可以减少环境温度变化和热像仪噪声对于温度测试结果的影响,对测量过程温度场取一定面积进行平均减少了激光指向波动和光斑分布不理想导致的有限元仿真计算误差。使用本方法测试了小尺寸45°的高反膜吸收损耗,测试得到吸收损耗为7.60 ppm,且测试了同批次大尺寸光学薄膜样品吸收损耗的空间分布情况。使用本方法测量的光学薄膜吸收率和激光量热测试结果一致,不需要长时间的恒温和严格环境温度控制,且测试样品尺寸不受限制。 展开更多
关键词 薄膜光学 吸收损耗 红外热像仪 有限元 吸收测量
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真空镀膜中基底预应力的有限元分析 被引量:5
10
作者 孙荣阁 易葵 范正修 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期963-967,共5页
真空镀膜过程中,基底因支撑、温度梯度造成的应变会对最终的薄膜-基底系统的面形产生影响。用有限元方法对不同支撑方式下不同尺寸基底的预应力以及烘烤过程中基底内部温度梯度造成的热应力进行了分析和计算,得到基底表面变形的峰谷值,... 真空镀膜过程中,基底因支撑、温度梯度造成的应变会对最终的薄膜-基底系统的面形产生影响。用有限元方法对不同支撑方式下不同尺寸基底的预应力以及烘烤过程中基底内部温度梯度造成的热应力进行了分析和计算,得到基底表面变形的峰谷值,并给出了不同工况下基底形变的等值线图。对于尺寸超过200 mm的基底,自重变形量和热应力变形量比较大,是影响最终薄膜面形的重要因素;装夹时随着基底倾角的增大,基底的形变与应力呈减小趋势;同样结构尺寸情况下,熔融石英基底的自重变形量略大于BK7基底,热变形量远小于BK7基底;热应力对基底预应力的贡献较大。 展开更多
关键词 薄膜 应力 有限元 自重变形 温度梯度 热应力
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Hardness Measurement and Evaluation of Thin Film on Material Surface 被引量:1
11
作者 王林栋 李敏 +1 位作者 张泰华 梁乃刚 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2003年第1期52-58,共7页
A method for hardness measurement and evaluation of thin films on the material surface was proposed. Firstly, it is studied how to obtain the force indentation response with a finite element method when the indentati... A method for hardness measurement and evaluation of thin films on the material surface was proposed. Firstly, it is studied how to obtain the force indentation response with a finite element method when the indentation is less than 100 nanometers, in which current nanoindentation experiments have not reliable accuracy. The whole hardness indentation curve and fitted equation were obtained. At last, a formula to predict the hardness of the thin film on the material surface was derived and favorably compared with experiments. 展开更多
关键词 thin film material HARDNESS NANOINDENTATION finite element simulation
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圆片表面薄膜应力传感器设计
12
作者 林晓春 郭艳艳 +1 位作者 向健勇 郑亚娥 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期79-82,共4页
 为使半导体产品达到所要求的光学、电子和机械性能,必须实时地在沉积过程中直接测量薄膜应力。介绍了一种简便的薄膜应力测量装置方案,它可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量,灵敏度优于2.5×106Pa,精度优...  为使半导体产品达到所要求的光学、电子和机械性能,必须实时地在沉积过程中直接测量薄膜应力。介绍了一种简便的薄膜应力测量装置方案,它可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量,灵敏度优于2.5×106Pa,精度优于5%。该方案具有结构简单、测量速度快、适应性强等特点,可以应用于半导体集成电路生产线的薄膜生长过程控制检测。 展开更多
关键词 薄膜应力 全闭环控制 集成二元光栅 测量灵敏度 测量误差
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纳米压痕下单/多层薄膜弹塑性本构的无量纲分析 被引量:4
13
作者 龙旭 申子怡 +4 位作者 贾啟普 李娇 陈传彤 刘永超 苏昱太 《中国科学:物理学、力学、天文学》 CSCD 北大核心 2023年第1期51-61,共11页
针对薄膜-基体结构特点,本文基于纳米压痕测试所得荷载-位移曲线,从加载阶段的荷载与功的角度出发,将薄膜材料的本构参数(弹性模量、硬化指数、屈服强度)作为荷载-位移曲线的影响参数并对其进行无量纲组合.结合有限元仿真分析结果将无... 针对薄膜-基体结构特点,本文基于纳米压痕测试所得荷载-位移曲线,从加载阶段的荷载与功的角度出发,将薄膜材料的本构参数(弹性模量、硬化指数、屈服强度)作为荷载-位移曲线的影响参数并对其进行无量纲组合.结合有限元仿真分析结果将无量纲函数公式化表达,提出适应于单层弹塑性薄膜材料的本构参数求解方法.通过与机器学习算法基于大量压痕数据预测所得本构参数进行对比,验证本文所提出无量纲函数在复现有限元预测结果方面的优势.此外,通过所提出“复合本构参数”的概念,基于本文提出的单层薄膜求解方法,逐层求解未知单层薄膜本构参数,最终确定多层薄膜的本构参数.本文的力学性能研究工作对提高薄膜系统和基于薄膜技术的器件可靠性和寿命具有重大意义. 展开更多
关键词 薄膜 纳米压痕 量纲分析 弹塑性本构 有限元计算
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微纳米薄膜材料中激光皮秒超声的数值模拟 被引量:4
14
作者 许伯强 张子国 +2 位作者 徐晨光 徐桂东 杨小平 《江苏大学学报(自然科学版)》 EI CAS 北大核心 2012年第1期83-87,101,共6页
基于双温模型和热弹性耦合理论,采用有限元方法,针对Al/Si3N4和Al/Si3N4/Si两种层状薄膜材料中激励皮秒超声,建立激光飞秒超声的有限元数值模型,得到Al薄膜中电子和晶格的温度场,进而分析薄膜内部的应变和表面位移响应.对比研究了双温... 基于双温模型和热弹性耦合理论,采用有限元方法,针对Al/Si3N4和Al/Si3N4/Si两种层状薄膜材料中激励皮秒超声,建立激光飞秒超声的有限元数值模型,得到Al薄膜中电子和晶格的温度场,进而分析薄膜内部的应变和表面位移响应.对比研究了双温模型理论和傅里叶热传导理论的计算,结果表明皮秒超声研究采用双温模型求解温度场更为合适,数值分析得到应变具有幅值较小且波形展宽的结果.表面位移响应峰的形成是超声波在薄膜材料界面处发生反射引起的. 展开更多
关键词 薄膜 双温模型 皮秒超声 有限元 数值模拟
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表面施加含稀土氧化物薄膜对Fe25Cr高温氧化的“活性元素效应” 被引量:3
15
作者 齐慧滨 D.G.Lees 何业东 《腐蚀科学与防护技术》 CAS CSCD 1999年第4期193-201,共9页
研究了表面施加含有不同量Y2O3的Cr2O3和Al2O3薄膜对Cr2O3形成合金Fe25Cr在1000℃、104PaO2环境中高温氧化的作用.结果发现含Y氧化物薄膜明显降低了Cr2O3层的生长速度,而且含Y复合氧化物... 研究了表面施加含有不同量Y2O3的Cr2O3和Al2O3薄膜对Cr2O3形成合金Fe25Cr在1000℃、104PaO2环境中高温氧化的作用.结果发现含Y氧化物薄膜明显降低了Cr2O3层的生长速度,而且含Y复合氧化物薄膜的作用大于单一Y2O3薄膜.此时,Cr2O3层表面形貌发生了较大的变化.间接证据表明Cr2O3的生长机制由阳离子向外扩散为主转变为阴离子向内扩散为主.通过表面施加含Y的氧化物薄膜产生了全面的“活性元素效应” 展开更多
关键词 氧化物薄膜 Fe25Cr 高温氧化 活性元素效应
全文增补中
一种柔性栅丝薄膜传感器设计制造及其灵敏性分析研究
16
作者 王龙飞 《机械设计与制造工程》 2024年第9期21-27,共7页
为提高柔性传感器在高温高应力等恶劣条件下的适应性和稳定性,基于有限元法设计制造了一种柔性栅丝薄膜传感器。建立传感器有限元模型,通过栅丝宽度、栅丝间距和栅丝数量3个尺寸参数对结构进行模拟分析,研究均布应力条件下栅丝的受力与... 为提高柔性传感器在高温高应力等恶劣条件下的适应性和稳定性,基于有限元法设计制造了一种柔性栅丝薄膜传感器。建立传感器有限元模型,通过栅丝宽度、栅丝间距和栅丝数量3个尺寸参数对结构进行模拟分析,研究均布应力条件下栅丝的受力与变形,结果显示增大栅丝宽度可线性降低栅丝的应变21.06%;栅丝数量对结构的最大应力比较敏感,最大应力增大57.80%;栅丝宽度、栅丝间距和栅丝数量对中心点的最大位移影响均较小,栅丝间距变化对中心点位移变化最大误差为2.49%。同时分析了传感器的温敏效应,结果表明随着温度增加,传感器的灵敏度线性增大,灵敏度变化范围为0.160244~0.173373 mm/MPa,差值为7.57%。该研究为柔性栅丝薄膜传感器的设计与制造提供了参考,具有一定的实际意义。 展开更多
关键词 薄膜传感器 栅丝 有限元分析
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金属薄膜缺陷及生长模式的有限元模拟 被引量:3
17
作者 宋鹏 陆建生 +2 位作者 张德丰 周洁 杨滨 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期827-830,共4页
为了从微观领域研究金属薄膜缺陷的形成和薄膜的初期生长模式,利用有限元法对金属薄膜沉积过程中的缺陷和生长模式进行了计算机模拟.以Pt原子为膜料粒子,采用刚性球入射到石墨基底,重点研究了在基底上形成的缺陷结果表明,在薄膜生长初... 为了从微观领域研究金属薄膜缺陷的形成和薄膜的初期生长模式,利用有限元法对金属薄膜沉积过程中的缺陷和生长模式进行了计算机模拟.以Pt原子为膜料粒子,采用刚性球入射到石墨基底,重点研究了在基底上形成的缺陷结果表明,在薄膜生长初期会形成"树桩"小岛,而当碳基底上沉积铂原子的能量值达到75 eV时,就有可能发生随机原子注入."树桩"小岛的形成使薄膜生长多为岛状生长机制,同时检验了有限元方法在微观领域中的合理性和适用性. 展开更多
关键词 薄膜缺陷 薄膜生长模式 有限元 计算机模拟
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脆性薄膜表面微裂纹对基体次表面后继塑性的影响 被引量:1
18
作者 朱有利 任 浩 +2 位作者 马世宁 徐滨士 库日多夫斯基 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2000年第4期15-18,共4页
采用有限单元法分析了具有微裂纹的表面脆性薄膜对高速工具钢基体的屈服和后继塑性行为的影响,特别研究了基体材料的塑性硬化指数以及裂纹深度对最大塑性应变和塑性区尺寸的影响,同时考察了屈服载荷以及塑性区尺寸随裂纹深度的影响。
关键词 薄膜 微裂纹 塑性变形 有限元法 高速钢
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自标定薄膜温度传感器的研制与标定 被引量:3
19
作者 陈柔茹 丁炯 +1 位作者 杨遂军 叶树亮 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第4期114-116,124,共4页
由于尺寸小,使用常规热电偶静态标定方法标定薄膜热电偶时,在标定过程与使用过程中,传感器和补偿导线上的温度梯度分布不一致,使薄膜热电偶的热电势也不同,影响其测温准确性。为解决这一问题,设计了集薄膜金—铂热电偶和薄膜铂电阻器于... 由于尺寸小,使用常规热电偶静态标定方法标定薄膜热电偶时,在标定过程与使用过程中,传感器和补偿导线上的温度梯度分布不一致,使薄膜热电偶的热电势也不同,影响其测温准确性。为解决这一问题,设计了集薄膜金—铂热电偶和薄膜铂电阻器于一体的自标定薄膜温度传感器及其标定系统,使用电子印刷法制备传感器,采用激光加热技术模拟其使用时的温度分布,通过有限元仿真分析其温度分布规律,基于温度外推实现薄膜热电偶静态特性自标定。结果显示,传感器中的薄膜热电偶在室温到300℃内的塞贝克系数为5. 3~7. 6μV/℃。 展开更多
关键词 薄膜热电偶 自标定 温度外推 有限元仿真
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压电薄膜微传感器的动态特性分析 被引量:1
20
作者 娄利飞 杨银堂 +1 位作者 李跃进 张军琴 《机械设计与研究》 CSCD 北大核心 2005年第3期65-67,共3页
论述了压电薄膜微传感器的结构和工作原理,应用有限元方法对压电膜微传感器进行了动力学分析。利用有限元软件ANSYS7.0对压电薄膜微传感器结构的振动模态进行了仿真,并拟合了感应电压和动态外力幅度、频率以及结构几何参数之间的关系,... 论述了压电薄膜微传感器的结构和工作原理,应用有限元方法对压电膜微传感器进行了动力学分析。利用有限元软件ANSYS7.0对压电薄膜微传感器结构的振动模态进行了仿真,并拟合了感应电压和动态外力幅度、频率以及结构几何参数之间的关系,这些分析为此类微传感器的设计提供了理论依据。 展开更多
关键词 压电薄膜 有限元分析 微传感器
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