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石英玻璃刻蚀浅锥孔阵列的工艺研究
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作者 乌李瑛 刘丹 +7 位作者 权雪玲 程秀兰 张芷齐 高庆学 付学成 徐丽萍 张文昊 马玲 《半导体光电》 CAS 北大核心 2024年第3期434-441,共8页
介绍了石英玻璃刻蚀浅锥孔的制备方法。通过紫外接触式光刻系统在石英玻璃上形成光刻胶浅锥孔阵列图案,用电感耦合反应离子刻蚀机(ICP-RIE)进行刻蚀。研究了光刻参数和蚀刻参数(气体流量、气体成分、腔压、ICP功率和偏置功率)对石英玻... 介绍了石英玻璃刻蚀浅锥孔的制备方法。通过紫外接触式光刻系统在石英玻璃上形成光刻胶浅锥孔阵列图案,用电感耦合反应离子刻蚀机(ICP-RIE)进行刻蚀。研究了光刻参数和蚀刻参数(气体流量、气体成分、腔压、ICP功率和偏置功率)对石英玻璃的刻蚀性能、表面轮廓、蚀刻速率和侧壁倾角的影响。结果表明:刻蚀气体种类对石英浅锥孔阵列刻蚀效果有显著影响,CF_(4)和Ar的组合气体所刻蚀的石英锥孔阵列的效果最佳,随着CF_(4)气体流量比的增加,石英刻蚀倾角先降低后又小幅增加,当刻蚀气体(CF_(4)∶Ar)流量比在5∶3时,石英刻蚀速率为0.154μm/min,光刻胶刻蚀速率为0.12μm/min,得到的石英浅锥孔倾角最倾斜。在其他刻蚀参数一定的情况下,ICP功率由600W升高至800W,石英刻蚀速率大幅降低,聚合物的沉积成为刻蚀工艺的主导;刻蚀石英的粗糙度Rq随着ICP功率的降低明显增加;RF功率升高时刻蚀石英的速率增加,Rq值增加后又降低,当RF功率升高至200W时,光刻胶发生碳化现象。可为石英玻璃微器件的制备提供工艺参考。 展开更多
关键词 电感耦合反应离子刻蚀 石英玻璃 干法刻蚀 等离子体 刻蚀倾角 微透镜阵列 锥孔
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纺丝组件中喷丝板孔结构的设计与熔体流动分析 被引量:5
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作者 韩霞 赵式英 《北京服装学院学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2011年第1期50-54,64,共6页
在改善合成纤维的性能以及开发合纤新品种的过程中,较为便捷的途径之一就是对纺丝组件内部结构进行改进设计.本文主要针对纺丝组件中喷丝板的孔型结构进行改进设计,即将不同孔径、不同截面形状的喷丝孔同时分布于同一块喷丝板上进行分... 在改善合成纤维的性能以及开发合纤新品种的过程中,较为便捷的途径之一就是对纺丝组件内部结构进行改进设计.本文主要针对纺丝组件中喷丝板的孔型结构进行改进设计,即将不同孔径、不同截面形状的喷丝孔同时分布于同一块喷丝板上进行分析与实验研究,重点研究了一种带有锥型孔结构的喷丝板,通过纺丝实验探讨不同喷丝孔孔型以及不同孔型结构的组合对纺制纤维丝束的各项性能指标所产生的影响. 展开更多
关键词 喷丝板 板孔结构 锥型孔 新型合纤
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高精度钛合金锥孔铣削加工工艺与测量技术研究 被引量:5
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作者 孔维森 徐兴硕 +3 位作者 陈文成 刘剑龙 宋宝乐 刘相柱 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2020年第6期142-144,149,共4页
从工艺方法、切削参数等方面对高精度钛合金锥孔铣削加工工艺进行了试验研究,并且对锥孔的三坐标测量和光学影像测量方法进行了对比研究。结果表明,高精度锥孔铣削时,工步应分粗加工、半精加工、精加工;精加工时,刀路应选用螺旋轨迹铣削... 从工艺方法、切削参数等方面对高精度钛合金锥孔铣削加工工艺进行了试验研究,并且对锥孔的三坐标测量和光学影像测量方法进行了对比研究。结果表明,高精度锥孔铣削时,工步应分粗加工、半精加工、精加工;精加工时,刀路应选用螺旋轨迹铣削;并且随着进给率增加,锥孔角度会增大,合理的进给率为200~250mm/min;三坐标和光学影像测量方法均适用于高精度锥孔的测量,大型宇航产品上的锥孔可直接采用三坐标进行非破坏式测量。 展开更多
关键词 锥孔 铣削 三坐标测量 光学影像
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小锥度锥形孔电解加工的试验研究 被引量:2
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作者 沈莫奇 傅秀清 +2 位作者 康敏 张震 徐凡琳 《机械设计》 CSCD 北大核心 2019年第7期7-13,共7页
针对常规加工方法难以满足在难加工材料上进行锥形孔加工的难题,尤其是小锥度锥形孔的加工,本文建立了小锥度锥形孔电解加工的多物理场耦合数学模型,基于COMSOL开展了电解加工过程的多物理场耦合仿真,进行了小锥度锥形孔的电解加工试验... 针对常规加工方法难以满足在难加工材料上进行锥形孔加工的难题,尤其是小锥度锥形孔的加工,本文建立了小锥度锥形孔电解加工的多物理场耦合数学模型,基于COMSOL开展了电解加工过程的多物理场耦合仿真,进行了小锥度锥形孔的电解加工试验研究,通过设置不同的阴极进给速度、工作电压分别得到不同锥度锥形孔的仿真和试验测量轮廓曲线,并进行对比分析,总结工艺参数对锥形孔轮廓曲线的影响规律,验证加工过程多物理场耦合仿真模型的准确性。 展开更多
关键词 锥形孔 电解加工 过程仿真 工艺试验
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双列圆柱滚子轴承安装对轴承失效的影响
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作者 蒋广义 隋善勇 张文 《哈尔滨轴承》 2008年第2期3-4,6,共3页
通过对双列锥孔圆柱滚子轴承的失效原因进行分析,解决装机、调试和试车过程中经常出现的因安装使用不当造成轴承早期失效的问题。
关键词 锥孔 滚子轴承 安装 检查 失效
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F系列钻井泵液缸内孔的加工技术 被引量:1
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作者 孙丽丽 《内蒙古石油化工》 CAS 2019年第4期84-85,共2页
F系列钻井泵液缸内孔形位公差要求精度较高,特别是锥孔加工难度较大,需要利用滚压工装完成加工。加工液缸时保证形位公差要求和锥孔粗糙度要求,可以提高液缸的使用寿命。
关键词 液缸 形位公差 锥孔 粗糙度 滚压
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钢球锁锥孔稳定高效加工技术研究
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作者 王威 艾敏 +3 位作者 许军峰 陈刚 王纪来 申林飞 《航天制造技术》 2022年第3期65-67,共3页
针对典型钢球锁锥孔难以成形、精度难以保持问题,通过分析通用锥孔加工技术的不足,采取钢球锁锥孔底部(小端)精度保持、钢球锁锥孔精度控制等工艺措施,实现了钢球锁锥孔稳定、高效成形,对钢球锁锥孔加工起到了指导及借鉴作用。
关键词 钢球锁 锥孔 稳定成形 高效加工
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电铸-电解组合法加工双向喇叭孔阵列
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作者 明平美 包晓慧 +1 位作者 郝巧玲 王俊涛 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期2049-2062,共14页
为解决双向喇叭形金属微小孔阵列的高效低成本制造难题,提出了一种基于镂空型惰性金属模板的、由电铸加工与掩模电解加工步骤串接而成的组合式加工方法。基于建立的数学模型,在证实该组合加工可行性的基础上,进一步仿真分析与试验研究... 为解决双向喇叭形金属微小孔阵列的高效低成本制造难题,提出了一种基于镂空型惰性金属模板的、由电铸加工与掩模电解加工步骤串接而成的组合式加工方法。基于建立的数学模型,在证实该组合加工可行性的基础上,进一步仿真分析与试验研究了惰性金属模板结构参数对被加工孔阵列几何结构形状的影响规律,并进行了参数优选,数值分析与试验结果基本一致。研究结果表明:被加工孔阵列的几何特征参数严重受惰性金属模板结构参数的影响;采用大厚度、大于90°开口角的惰性金属模板有利于获得最小孔径更小且出入口廓形对称性更好的双向喇叭形孔;模板筋宽越小,越易于实现大孔深、高对称性的双向喇叭孔;模板孔径越大,喇叭孔金属层的极限厚度越大,但出入口廓形的对称性越差。此外,在小筋宽、90°开口角的惰性金属模板上更易电解加工生成""形喇叭孔。基于优化的惰性金属模板,能电铸-电解组合加工出出入口廓形对称性好的、最小孔径比被复制模板孔小的、网片厚度大且表面光滑的双向喇叭形金属微小孔阵列,其进出口的对称度、孔径偏差与出口相对于最小孔径的扩口率等分别为88.8%、9.7%和110.1%。 展开更多
关键词 喇叭形孔 孔阵列 电铸 掩模电解加工 惰性金属电极
原文传递
一种气瓶锥螺纹底孔铰刀的设计方法
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作者 付小莉 李勇 《工具技术》 北大核心 2001年第10期24-27,共4页
介绍了一种加工钢质无缝溶解乙炔气瓶锥螺纹底孔的铰刀设计方法 ,对铰刀的主要参数和特点做了简要分析。
关键词 铰刀 气瓶 锥螺纹 底孔 设计
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微细倒锥孔在线加工参数调控的电火花加工工艺
10
作者 周凯 胡瑞钦 李勇 《电加工与模具》 2012年第5期24-28,共5页
基于微细孔电火花加工中观测到的"腰鼓"现象,进行了微细倒锥孔的在线加工参数调控电火花加工工艺的研究。实验研究了开路电压、进给深度、变压深度、放电电容等加工参数对微孔加工孔形的影响。通过对工艺参数的优化选择,加工... 基于微细孔电火花加工中观测到的"腰鼓"现象,进行了微细倒锥孔的在线加工参数调控电火花加工工艺的研究。实验研究了开路电压、进给深度、变压深度、放电电容等加工参数对微孔加工孔形的影响。通过对工艺参数的优化选择,加工得到出入口直径平均相差18.6μm、锥度为1.16°的倒锥孔,可用于柴油发动机倒锥喷孔的加工。进一步实验了工件底面覆石蜡的倒锥孔加工方法,通过阻碍电蚀产物从通孔贯通出口的排出,来增加倒锥效果,加工得到的倒锥孔出入口直径差值增加到25μm以上。 展开更多
关键词 微细电火花加工 倒锥孔 加工参数 在线调控
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电火花摆碾加工的原理及装置设计
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作者 李淑玉 刘超 +1 位作者 贺敬地 田新国 《机械设计与制造》 北大核心 2012年第2期126-127,共2页
用传统电火花加工硬质合金刀片时,需要事先制作成形电极,加工成本高且加工质量较差,因此提出一种新的加工方法—电火花摆碾加工。电火花摆碾加工通过控制普通电极的旋转和摆动来加工出特定形状的锥形孔,具有加工效率高、加工质量好、节... 用传统电火花加工硬质合金刀片时,需要事先制作成形电极,加工成本高且加工质量较差,因此提出一种新的加工方法—电火花摆碾加工。电火花摆碾加工通过控制普通电极的旋转和摆动来加工出特定形状的锥形孔,具有加工效率高、加工质量好、节省成形电极制作时间和成本等优点。为进行初步试验,在现有加工设备基础上设计了一套电火花摆碾加工装置,包括电极自转摆角装置、工件回转装置以及控制系统三个部分。设计的夹具可实现三角刀片的自动定心及快速装夹。 展开更多
关键词 电火花摆碾 普通电极 硬质合金刀片 锥形孔
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应用粒子群优化算法设计锥形孔微穿孔板结构 被引量:7
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作者 王静云 常安定 +2 位作者 徐春龙 周秀秀 王久杰 《陕西师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期37-41,共5页
为了改善传统厚微穿孔板吸声结构的吸声性能,用锥形孔代替圆柱形孔,提出锥形孔微穿孔板结构.在锥形孔微穿孔板结构的确定方法上采用粒子群优化算法,分别对其进行单参数及双参数优化.仿真结果表明:经单参数优化后的锥形孔微穿孔板较相同... 为了改善传统厚微穿孔板吸声结构的吸声性能,用锥形孔代替圆柱形孔,提出锥形孔微穿孔板结构.在锥形孔微穿孔板结构的确定方法上采用粒子群优化算法,分别对其进行单参数及双参数优化.仿真结果表明:经单参数优化后的锥形孔微穿孔板较相同厚度的传统厚微穿孔板在特定频率范围内的最大吸声系数明显增大;经双参数优化后的结构,不仅可以增大其最大吸声系数,而且能够保持原有共振频率不变,从而为锥形孔微穿孔板的结构设计提供了快速有效的设计方法. 展开更多
关键词 锥形孔微穿孔板 吸声性能 粒子群优化 结构参数
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钛合金组合体深锥孔工艺试验研究
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作者 孔桂珍 张华锦 +2 位作者 田青 张哲 李东伟 《航天制造技术》 2024年第1期61-63,70,共4页
在实际生产中,复杂钛合金组合体深锥孔加工对加工精度和表面质量要求较高,是业界难题。本文对钛合金组合体深锥孔的结构特点和加工要素进行分析,经过不断实验和研究,设计专用工装、专用刀具,选择适宜的加工参数采取工艺措施,保证钛合金... 在实际生产中,复杂钛合金组合体深锥孔加工对加工精度和表面质量要求较高,是业界难题。本文对钛合金组合体深锥孔的结构特点和加工要素进行分析,经过不断实验和研究,设计专用工装、专用刀具,选择适宜的加工参数采取工艺措施,保证钛合金组合体深锥孔的加工尺寸和表面质量,满足工艺要求。 展开更多
关键词 钛合金 组合体 深锥孔加工 工艺措施
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空心圆锥滚子轴承接触特性分析 被引量:5
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作者 付圆宁 姚廷强 黄雅成 《机械传动》 CSCD 北大核心 2015年第1期114-117,共4页
圆锥滚子轴承对于重载旋转机械的静动态性能有着重要的影响,空心滚子轴承正在逐渐被用于重要的工程实际中。基于Hertz接触理论和有限元方法,运用ANSYS分别建立了实心和空心圆锥滚子轴承的单滚子-套圈等效三维仿真模型,对比分析不同空心... 圆锥滚子轴承对于重载旋转机械的静动态性能有着重要的影响,空心滚子轴承正在逐渐被用于重要的工程实际中。基于Hertz接触理论和有限元方法,运用ANSYS分别建立了实心和空心圆锥滚子轴承的单滚子-套圈等效三维仿真模型,对比分析不同空心率和载荷等参数对实心和空心圆锥滚子轴承的弹性变形和接触应力等的影响规律,运用理论计算值验证了圆锥滚子轴承的接触应力值。分析结果为圆锥滚子轴承的优化设计和工程应用提供了参考依据。 展开更多
关键词 圆锥滚子轴承 空心度 接触特性
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大兆瓦风力发电机主轴用圆锥滚子轴承保持架销孔加工方法
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作者 赵洋 姚义欣 +2 位作者 谢亚东 范雨晴 张浩洋 《轴承》 北大核心 2023年第6期77-79,共3页
针对大兆瓦风力发电机主轴用圆锥滚子轴承支柱保持架垫圈销孔轴线与垫圈轴线的夹角及销孔位置度精度要求高的问题,提出在现有摇臂钻床上增加数控分度台并制作专用工装的改进措施,实际加工表明该方法可以满足该类保持架销孔的加工需求。
关键词 滚动轴承 风力发电机 圆锥滚子轴承 保持架 钻孔
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CuNi90/10铜合金高颈法兰精辗成形数值模拟与试验研究
16
作者 郑丛芳 杨青云 +2 位作者 周铁柱 马俊普 郁炎 《锻压技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期132-138,共7页
高颈法兰的颈部高度和底盘外径大,采用锻造后机加工的方法制作生产效率较低。为提高生产效率,通过对现有辗环工艺进行分析,借助有限元软件建立了高颈法兰精辗模型,并对典型规格的外径Φ159 mm的高颈法兰轧制成形过程进行了仿真分析,研... 高颈法兰的颈部高度和底盘外径大,采用锻造后机加工的方法制作生产效率较低。为提高生产效率,通过对现有辗环工艺进行分析,借助有限元软件建立了高颈法兰精辗模型,并对典型规格的外径Φ159 mm的高颈法兰轧制成形过程进行了仿真分析,研究了驱动辊转速、芯辊进给速度、毛坯形式对高颈法兰轧制成形过程的影响。结果表明:增加驱动辊转速与芯辊进给速度可以减少轧制缺陷,同时采用锥形内孔可以避免内孔产生蝶型缺陷。最终确定了法兰内孔形式为锥形内孔、驱动辊转速ω=5 rad·s^(-1)、芯辊径向进给速度V=3 mm·s^(-1)。最后设计配套模具进行试验验证,完成了典型规格高颈法兰的产品试制,验证了高颈法兰碾环成形工艺的可行性。 展开更多
关键词 铜合金 高颈法兰 辗环成形 驱动辊转速 进给速度 锥形内孔
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多次喷射下压力波动对喷嘴内流及近场喷雾影响试验研究
17
作者 魏云鹏 范立云 +3 位作者 张瀚文 礼博 顾远琪 冷先银 《汽车工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第5期836-844,共9页
为研究多频压力波动与喷嘴内流的因果关系以及对近场喷雾的影响机理,采用高速显微成像技术,开展了不同共轨压力下多次喷射过程真实尺寸锥形孔喷嘴可视化试验研究。同时通过高压传感器测量,得到喷嘴入口压力波动数据。研究结果表明:主喷... 为研究多频压力波动与喷嘴内流的因果关系以及对近场喷雾的影响机理,采用高速显微成像技术,开展了不同共轨压力下多次喷射过程真实尺寸锥形孔喷嘴可视化试验研究。同时通过高压传感器测量,得到喷嘴入口压力波动数据。研究结果表明:主喷过程喷雾锥角呈靴型趋势,由发展期、转化期、稳定期和衰减期组成,其整体趋势受喷射压力的影响,过程中存在空化形式的转变。预喷和后喷等小油量喷射过程中,存在针阀升程波动导致的不一致性。喷嘴处压力降与循环喷油量水平呈正相关,空化形式的转变影响了压力波动频率和传播速度。其中几何诱导空化形成时,压力呈低频波动,而线空化形成时,产生高频压力波动趋势。 展开更多
关键词 真实尺寸锥形孔喷嘴 近场喷雾 压力波动 多次喷射 流动空化特性
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喷嘴锥形内孔加工工艺方法研究 被引量:3
18
作者 王利勇 彭志敏 +1 位作者 张敏 尹青峰 《制造技术与机床》 北大核心 2015年第11期104-106,共3页
通过对喷嘴锥形内孔加工工艺方法进行研究,阐述了锥形内孔加工的难点、解决途径,并介绍了锥度钻头以及自制锥孔刀具设计与刃磨,完成了喷嘴锥形内孔的加工。
关键词 锥形内孔 刀具刃磨
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试论我国小直径钎具的锥体连接
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作者 张国榉 符夷雄 +1 位作者 刘金保 张汉斌 《地球科学(中国地质大学学报)》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第6期739-747,共9页
中国年消耗锥体连接钎头1000万支以上,年消耗B_(22)、B_(25)锥体连接钎杆约15000t。针对中国钎具生产、使用部门在锥体连接问题上所存在的误解,结合修订和贯彻最新的钎头、钎杆国家标准GB6480t、GB6481,并参照国际标准ISO1718—1991,阐... 中国年消耗锥体连接钎头1000万支以上,年消耗B_(22)、B_(25)锥体连接钎杆约15000t。针对中国钎具生产、使用部门在锥体连接问题上所存在的误解,结合修订和贯彻最新的钎头、钎杆国家标准GB6480t、GB6481,并参照国际标准ISO1718—1991,阐明了锥体连接的实质,充分论证了严格规定钎头锥孔和钎梢小端直径极限偏差值、孔底直壁间隙区、钎梢插深以及锥孔深度的必要性。这对减少钎具浪费、改善劳动条件、增强中国锥体连接钎具在国际市场的竞争能力,具重要的指导意义。 展开更多
关键词 钎具 小直径 锥体 连接技术
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低剖面渐变槽线天线单元印制板制造工艺 被引量:2
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作者 王伟 周峻松 +1 位作者 杨金卓 奚洋 《电子机械工程》 2018年第2期44-46,共3页
微波多层印制板制造技术是实现有源相控阵雷达低剖面渐变槽线天线单元的关键技术。文中介绍了为解决印制板基材与金属化孔热膨胀系数差异问题以及多阶台阶结构层压问题而开展的微波多层印制板基材匹配技术和多阶台阶结构层压技术。选用... 微波多层印制板制造技术是实现有源相控阵雷达低剖面渐变槽线天线单元的关键技术。文中介绍了为解决印制板基材与金属化孔热膨胀系数差异问题以及多阶台阶结构层压问题而开展的微波多层印制板基材匹配技术和多阶台阶结构层压技术。选用合理的层压温度、压力、时间和阻胶技术,实现了高质量的微波多层印制板制造,同时引入金属化孔加固技术进一步提高了可靠性。研究结果表明,上述技术为相控阵雷达实现优异的宽带宽角扫描驻波性能及低剖面提供了可能,并且可供此类微波多层印制板的制造借鉴。 展开更多
关键词 渐变槽线天线 微波多层印制板 电镀通孔加固
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