空气等离子体基注入Ti6Al4V合金摩擦学性能研究 被引量：6

1

作者 冯兴国 孙明仁 +1 位作者 马欣新 唐光泽 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期50-55,共6页

采用空气等离子体基离子注入技术对Ti6Al4V合金进行了表面改性。注入负脉冲电压分别为10kV,30kV,50kV,注入剂量为0.6×1017ions/cm2。用X射线光电子能谱仪对注入层元素分布进行了分析,结果表明:改性层的外层为TiO2,外层与内层基体... 采用空气等离子体基离子注入技术对Ti6Al4V合金进行了表面改性。注入负脉冲电压分别为10kV,30kV,50kV,注入剂量为0.6×1017ions/cm2。用X射线光电子能谱仪对注入层元素分布进行了分析,结果表明:改性层的外层为TiO2,外层与内层基体之间存在Ti2O3、TiO、TiN;采用球盘磨损试验机对注入层的摩擦学性能进行了研究。结果表明:随着注入电压的增加,摩擦因数减小,耐磨性能提高。且以50kV注空气最为显著,摩擦因数较基体降低了3倍多,磨损体积与比磨损率较基体均下降了1个数量级以上。注入层硬度比基材Ti6Al4V也有明显提高。 展开更多

关键词 TI6AL4V 等离子体基注入 摩擦学性能

下载PDF 职称材料

单晶硅表面等离子体基离子注入碳纳米薄膜的摩擦学特性 被引量：32

2

作者 廖家轩 刘维民 +2 位作者 徐洮 严洁 薛群基 《摩擦学学报》 CSCD 北大核心 2004年第2期115-118,共4页

用等离子体基离子注入(PBII)技术在单晶硅表面制备了碳纳米薄膜，考察了薄膜在不同载荷及速度下同Si3N4球对摩时的摩擦学性能，并采用扫描电子显微镜观察分析了磨痕表面形貌．结果表明，所制备的碳纳米薄膜光滑致密，为高硬度富弹性的... 用等离子体基离子注入(PBII)技术在单晶硅表面制备了碳纳米薄膜，考察了薄膜在不同载荷及速度下同Si3N4球对摩时的摩擦学性能，并采用扫描电子显微镜观察分析了磨痕表面形貌．结果表明，所制备的碳纳米薄膜光滑致密，为高硬度富弹性的类金刚石碳(DLC)膜，薄膜通过C-Si键合作用而同硅片表面形成牢固结合，且成分及结构呈现某种梯度变化特征，单晶硅经改性后摩擦学性能大幅度改善：在低载荷(0．5N)下其耐磨寿命达3h以上，摩擦系数处于0．10～0．30之间，磨痕不明显；在高载荷(4N)下其耐磨寿命及摩擦系数(0．03～0．20之间)均明显降低．这是由于较高载荷或滑动速度导致DLC薄膜石墨化加剧所致。 展开更多

关键词 单晶硅 等离子体基离子注入(PBII) 碳纳米薄膜 摩擦学性能

下载PDF 职称材料

材料的等离子体基离子注入表面改性 被引量：18

3

作者 夏立芳 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期42-45,共4页

简要总结了哈工大近 10年来在材料的等离子体基离子注入表面改性方面的工作 ,包括铝合金、钛合金、轴承钢的等离子体基离子注入 ,等离子体基离子注入混合 。

关键词 等离子体基离子注入 离子注入混合 表面改性 金属材料

下载PDF 职称材料

氮和碳等离子体基离子注入铝合金表面氮化铝/类金刚石碳膜改性层的摩擦学特性 被引量：7

4

作者 廖家轩 夏立芳 孙跃 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期324-329,共6页

对铝合金 L Y12进行等离子体基氮离子注入后再进行原位碳注入 ,从而在铝合金表面形成氮化铝 (Al N) /类金刚石碳膜 (DL C)改性层 .考察了改性层的硬度及其在不同载荷下的滑动摩擦磨损特性 ;用 X射线光电子能谱仪和小掠射角 X射线衍射仪... 对铝合金 L Y12进行等离子体基氮离子注入后再进行原位碳注入 ,从而在铝合金表面形成氮化铝 (Al N) /类金刚石碳膜 (DL C)改性层 .考察了改性层的硬度及其在不同载荷下的滑动摩擦磨损特性 ;用 X射线光电子能谱仪和小掠射角 X射线衍射仪分析了 Al N/ DL C改性层的成分及相结构 ;用激光 Ram an光谱仪分析了表面单一碳层及磨痕的结构 .结果表明 :Al N/ DL C改性层总厚度达 80 0 nm,最表层为厚 40 0 nm的 DL C薄膜 ,过渡层主要由 Al4C3、β- C3N4、Al2 O3及 Al N等组成 ,注氮层由 Al2 O3和 Al N等组成 ;表面纳米硬度可达 17.4GPa,比 L Y12的硬度高近 10倍 ;在低载荷下 ,改性层的耐磨寿命与 L Y12合金相比提高了约 2 0倍 ,摩擦系数降低了 3～ 5倍 ,耐磨性提高了近 170倍 ;随着滑动载荷的增加 ,其耐磨寿命和摩擦系数逐渐减小 ,而高的承载能力得以保持 .DL C薄膜的耐磨减摩作用、过渡层及注氮层的支撑作用以及 DL 展开更多

关键词 铝合金 等离子体基离子注入 DLC薄膜 摩擦学性能 表面改性

下载PDF 职称材料

PBII制备TiN_x/DLC多层膜的结构及摩擦学性能 被引量：7

5

作者 李光 孙跃 +1 位作者 夏立芳 高超 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2003年第1期20-24,共5页

采用等离子体基离子注入技术在30CrMnSi钢上制备了TiNx/DLC多层膜,通过X射线光电子谱和激光喇曼光谱测试分析了膜的结构特征,TiNx/DLC膜大气下的摩擦性能在球盘式摩擦磨损试验机上进行.结果表明:DLC膜的结构强烈依赖于基板脉冲偏压,-5k... 采用等离子体基离子注入技术在30CrMnSi钢上制备了TiNx/DLC多层膜,通过X射线光电子谱和激光喇曼光谱测试分析了膜的结构特征,TiNx/DLC膜大气下的摩擦性能在球盘式摩擦磨损试验机上进行.结果表明:DLC膜的结构强烈依赖于基板脉冲偏压,-5kV制得的DLC膜具有较多的C-H键结构,因而硬度最低,仅有8 3GPa;而-15kV的DLC膜由于含有较多的sp3键,获得了最高的显微努氏硬度(23 6GPa).DLC膜与GCr15钢球大气下的摩擦因数为0 17左右,其磨损性能由于TiNx过渡层引入而显著提高. 展开更多

关键词 PBⅡ TiNx/DLC多层膜 结构 等离子体基离子注入 DLC膜 喇曼光谱 摩擦性能 类金刚石碳 30CRMNSI钢 氮化钛

下载PDF 职称材料

氮及钛等离子体基离子注入铝合金表面改性层的摩擦磨损性能研究 被引量：5

6

作者 廖家轩 夏立芳 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期10-14,共5页

研究了铝合金 L Y12等离子体基氮及钛离子注入层的摩擦磨损性能 .用 X射线光电子能谱和小掠射角 X射线衍射对改性层中各元素分布及相组成进行了分析 .用扫描电子显微镜对注入层形貌进行了观察和分析 .结果表明 :注入层由 Ti N、α- Ti、... 研究了铝合金 L Y12等离子体基氮及钛离子注入层的摩擦磨损性能 .用 X射线光电子能谱和小掠射角 X射线衍射对改性层中各元素分布及相组成进行了分析 .用扫描电子显微镜对注入层形貌进行了观察和分析 .结果表明 :注入层由 Ti N、α- Ti、Al N、Al2 O3和 Ti O2 等相组成 ;注入后试样硬度提高了 1倍以上 ;在低载荷下 ,摩擦系数处于 0 .10～0 .14之间 ,注入层寿命提高了 12倍以上 ,耐磨性提高了 10 0倍以上 ;随着滑动载荷的增加 ,摩擦系数有所增大 ,耐磨性有所降低 ;在注入层被磨穿以前以剥层磨损为主并伴有轻微的划伤 ,在注入层被磨穿以后以粘着磨损为主并伴有犁沟和粘着转移 .注入改性层具有适当的梯度结构是提高铝合金表面硬度和耐磨性的主要原因 . 展开更多

关键词 铝合金 等离子体基离子注入 表面改性层 摩擦磨损性能

下载PDF 职称材料

等离子体基离子注入技术发展及其应用 被引量：4

7

作者 蔡珣 《机械工人（热加工）》 2005年第4期33-35,共3页

等离子体基离子注入是一新型的材料表面改性技术,它克服了传统离子注入视线加工的缺陷,可处理复杂形状工件,并可批量生产,生产效率高,设备成本低。本文简述了等离子体基离子注入的原理、特点及其工业的应用,并指出等离子体基离子注入技... 等离子体基离子注入是一新型的材料表面改性技术,它克服了传统离子注入视线加工的缺陷,可处理复杂形状工件,并可批量生产,生产效率高,设备成本低。本文简述了等离子体基离子注入的原理、特点及其工业的应用,并指出等离子体基离子注入技术与其他镀膜技术相结合是今后的发展趋势。 展开更多

关键词 离子注入技术 等离子体基离子注入 应用 表面改性技术 复杂形状工件 批量生产 生产效率 发展趋势 线加工 成本低

下载PDF 职称材料

铝合金等离子体基离子注入形成AlN/TiN层及其耐磨性能 被引量：5

8

作者 廖家轩 夏立芳 孙跃 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2001年第1期75-78,共4页

用X射线光电子能谱 (XPS)和小掠射角X射线衍射 (GAXRD)研究了铝合金LY12等离子体基离子注入形成AlN/TiN改性层的成分分布及相结构 .在此基础上测量了改性层的纳米硬度 ,并进行了摩擦磨损试验 .结果表明 ,氮和钛都能有效地注入到铝合金... 用X射线光电子能谱 (XPS)和小掠射角X射线衍射 (GAXRD)研究了铝合金LY12等离子体基离子注入形成AlN/TiN改性层的成分分布及相结构 .在此基础上测量了改性层的纳米硬度 ,并进行了摩擦磨损试验 .结果表明 ,氮和钛都能有效地注入到铝合金里 ,后注入的元素对先注元素的含量和分布有重要影响 .钛、氮同时注入在试样表面形成一层稳定的钛、氮化合层 .和未改性试样相比 ,所形成的AlN/TiN改性层纳米硬度及承载能力都提高 5倍以上 .在低滑动载荷下 ,摩擦系数减小 70 %以上 ,耐磨性提高近 10倍 ,耐磨寿命提高了近 6倍 ,粘着磨损程度显著减轻 .随着载荷的增加 ,相应的耐磨性能有所降低 .适当的改性层结构及其中分布的TiO2 、TiN、TiAl3、Al2 O3。 展开更多

关键词 铝合金 等离子体基离子注入 纳米硬度 耐磨性 氮化铝/氮化钛层 表面改性

下载PDF 职称材料

等离子体基离子注入制备TiN膜的成分结构 被引量：2

9

作者 李金龙 孙明仁 +2 位作者 马欣新 唐光泽 金银玉 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期40-43,共4页

采用Ti、N等离子体基离子注入和先在基体表面沉积纯钛层然后离子注氮混合两种方法在铝合金基体上制备了TiN膜.利用XPS分析了两种方法制备TiN薄膜的成分深度分布和元素化学价态,并用力学性能显微探针测试对比了TiN膜的纳米硬度.研究表明... 采用Ti、N等离子体基离子注入和先在基体表面沉积纯钛层然后离子注氮混合两种方法在铝合金基体上制备了TiN膜.利用XPS分析了两种方法制备TiN薄膜的成分深度分布和元素化学价态,并用力学性能显微探针测试对比了TiN膜的纳米硬度.研究表明:两种方法制备的薄膜均由TiN组成,Ti、N等离子体基离子注入薄膜中Ti/N≈1.1,而离子注入混合薄膜中Ti/N≈1.3,Ti、N等离子体基离子注入薄膜表面区域为TiN和TiO2的混合组织,TiN含量多于TiO2,离子注入混合薄膜表面主要是TiO2;Ti、N等离子体基离子注入所制备的薄膜的纳米硬度峰值为12.26 GPa,高于离子注入混合的7.98 GPa. 展开更多

关键词 等离子体基离子注入 TIN膜 XPS 成分深度分布 元素化学价态 纳米硬度

下载PDF 职称材料

Ti6Al4V合金等离子体基离子注氧层XPS研究 被引量：4

10

作者 李金龙 孙明仁 马欣新 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期1615-1620,共6页

采用等离子体基离子注氧技术(O2 PBII)对Ti6Al4V合金进行了表面改性处理,实验过程中改变注入离子能量的工艺参数,负脉冲偏压分别为10、20、30kV,离子注入过程中样品台通油冷却以实现低温注入;用XPS对离子注氧层的深度、成分及化学结构... 采用等离子体基离子注氧技术(O2 PBII)对Ti6Al4V合金进行了表面改性处理,实验过程中改变注入离子能量的工艺参数,负脉冲偏压分别为10、20、30kV,离子注入过程中样品台通油冷却以实现低温注入;用XPS对离子注氧层的深度、成分及化学结构进行了系统的分析。结果表明:随着注入离子能量的增加,Ti6Al4V合金表面改性层的深度明显增加,改性层的外层由一定厚度的TiO2组成,外层与内层基体之间存在Ti2O3和TiO;Al元素在改性层的外层以氧化物形式存在,且该氧化物趋于表面生长;在表面改性层的外层未发现V及其氧化物。 展开更多

关键词 等离子体基离子注入 XPS分析 化学态

下载PDF 职称材料

氮/氟离子注入Ti6Al4V合金耐磨性研究 被引量：4

11

作者 陈道明 孙明仁 +2 位作者 白贵元 马新欣 唐光泽 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期1279-1285,共7页

通过等离子体基离子注入(PBII)表面改性的方法,采用不同的负脉冲偏压对Ti6Al4V合金进行氮/氟离子注入,并研究了改性层的结构、硬度以及摩擦磨损性能等。利用原子力显微镜研究了改性前后的表面粗糙度变化,并用X光电子能谱分析了改性层表... 通过等离子体基离子注入(PBII)表面改性的方法,采用不同的负脉冲偏压对Ti6Al4V合金进行氮/氟离子注入,并研究了改性层的结构、硬度以及摩擦磨损性能等。利用原子力显微镜研究了改性前后的表面粗糙度变化,并用X光电子能谱分析了改性层表面结构和化学组成,还使用力学显微探针分析试样的硬度,并用球盘式摩擦磨损实验仪和扫描电镜表征了摩擦磨损性能并观察了磨痕形貌。测试结果表明:氮氟离子注入改性试样粗糙度降低,并形成了由Ti O2,Ti F3,Ti F4和Ti N等组成的改性层;改性试样的纳米硬度值较未处理基体提高;氮氟离子注入试样表现出更好的弹性回复行为;改性试样摩擦系数和磨损体积均较基体下降,磨痕形貌从粘着磨损为主转变为磨粒磨损,耐磨性改善;注氟偏压-20 k V的试样获得最理想的性能。 展开更多

关键词 TI6AL4V 等离子体基离子注入 摩擦磨损性能

下载PDF 职称材料

铝合金表面等离子体基离子注入碳层的摩擦学性能 被引量：1

12

作者 廖家轩 夏立芳 +3 位作者 孙明仁 刘维民 徐洮 薛群基 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期282-286,共5页

在LY12铝合金氮等离子体基离子注入的基础上,制备了3种含不同中间层的碳改性层,用X射线光电子能谱仪分析了改性层的成分分布,考察了中间层对改性层同钢球对摩时的摩擦学性能的影响.结果表明:所制备的碳层改性层表层为平整、光滑、致密... 在LY12铝合金氮等离子体基离子注入的基础上,制备了3种含不同中间层的碳改性层,用X射线光电子能谱仪分析了改性层的成分分布,考察了中间层对改性层同钢球对摩时的摩擦学性能的影响.结果表明:所制备的碳层改性层表层为平整、光滑、致密的类金刚石碳膜,在界面上注入的碳与中间层反应生成连接化合物,从而使得其表面硬度及摩擦学性能大幅度提高;中间层使改性层结构、厚度及表面形貌发生变化,进而对其表面硬度及摩擦学性能产生影响,其中以注钛后注氮钛中间层所对应的改性层摩擦学性能最佳;但随载荷增加,改性层加速减薄,摩擦学性能降低. 展开更多

关键词 铝合金 等离子体基离子注入 中间层 摩擦学性能

下载PDF 职称材料

铝合金等离子体基离子注入氮/钛改性层成分分布 被引量：3

13

作者 廖家轩 夏立芳 孙跃 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期44-48,共5页

用X射线光电子能谱 (XPS)研究了工艺参数 (注入电压或能量、注入时间或剂量、磁控靶溅射电流 )对铝合金LY12 (即 2 0 2 4 )等离子体基离子注入氮 +离子注入钛形成的改性层成分分布影响 .结果表明 ,氮在注入层呈高斯分布 ,而钛沿注入方... 用X射线光电子能谱 (XPS)研究了工艺参数 (注入电压或能量、注入时间或剂量、磁控靶溅射电流 )对铝合金LY12 (即 2 0 2 4 )等离子体基离子注入氮 +离子注入钛形成的改性层成分分布影响 .结果表明 ,氮在注入层呈高斯分布 ,而钛沿注入方向逐渐减少 .钛的注入使已注入的氮的分布有所拓宽 .随着注入电压和时间的增加 ,钛的注入深度及含量有所增加 ;存在一个注入时间或 /和磁控靶溅射电流阈值 ,在低于该值下注入钛主要表现为注入效应 ,没有钛沉积层出现 ,在高于该值下注入钛由注入效应逐渐表现为沉积效应 。 展开更多

关键词 铝合金 等离子体基离子注入 改性层 X射线光电子能谱 工艺参数 氮 钛 成分分布

下载PDF 职称材料

银基体上铜等离子体基离子注入层的成分分布 被引量：3

14

作者 于伟东 夏立芳 +2 位作者 马欣新 孙跃 孙明仁 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第S1期155-159,共5页

研究了银基体上铜等离子体基离子注入 (CuPBII)层成分深度分布与试验工艺参数的关系。选择影响注入离子能量的脉冲偏压和注入剂量的不平衡磁控靶放电电流和靶基距作为试验参数 ,用X射线光电子谱 (XPS)进行注入层成分深度分析。结果表明 ... 研究了银基体上铜等离子体基离子注入 (CuPBII)层成分深度分布与试验工艺参数的关系。选择影响注入离子能量的脉冲偏压和注入剂量的不平衡磁控靶放电电流和靶基距作为试验参数 ,用X射线光电子谱 (XPS)进行注入层成分深度分析。结果表明 ,对较高的脉冲偏压 (80kV)、中等的磁控靶电流 (75mA)和近的靶基距 (2 0 0mm) ,容易形成厚的银铜过渡层 (7.6μm) ,且铜离子注入、铜原子的反冲注入与铜的沉积很好地匹配。与气体等离子体基离子注入不同 ,铜的沉积速率成为影响银铜过渡层的又一决定因素。 展开更多

关键词 金属等离子体 等离子体基离子注入 成分深度分布 铜离子

下载PDF 职称材料

钛中间层对改性层结构及性能的影响 被引量：3

15

作者 颜朝晖 廖家轩 夏立芳 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期648-652,共5页

用XPS和GXRD研究了铝合金等离子体基离子注入氮后再注入钛最后复合注入氮和钛改性层的成分深度分布及相结构 ,用XTEM观察了改性层截面的组织结构 ,用AFM观察了改性层的表面形貌 ,在此基础上测量了改性层的纳米硬度 ,进行了球盘摩擦磨损... 用XPS和GXRD研究了铝合金等离子体基离子注入氮后再注入钛最后复合注入氮和钛改性层的成分深度分布及相结构 ,用XTEM观察了改性层截面的组织结构 ,用AFM观察了改性层的表面形貌 ,在此基础上测量了改性层的纳米硬度 ,进行了球盘摩擦磨损试验。结果表明 ,钛中间层使复合改性层的厚度有效增加 ,主要由α Ti,TiN及TiO2 组成 ,且TiN及TiO2 弥散分布在α Ti基材中 ,使表面形貌有所改善 ,使表面硬度及耐磨性明显提高。 展开更多

关键词 改性层 等离子体基离子注入 钛中间层 结构 性能 表面改性

下载PDF 职称材料

等离子体基高温离子注入研究进展 被引量：1

16

作者 孙跃 陈继新 +2 位作者 夏立芳 刘鑫贵 徐淑艳 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期55-61,共7页

综述了等离子体基高温离子注入的发展及应用情况 ,介绍了由于高温注入中辐照增强扩散和热扩散的共同作用 ,注入层成分、组织结构、力学性能和抗腐蚀性能随温度提高发生的变化。并对今后的发展趋势作了预测。

关键词 等离子体基离子注入 升温 扩散 组织和性能

下载PDF 职称材料

Al合金等离子体基离子注入形成AlN/DLC层结构研究 被引量：2

17

作者 廖家轩 夏立芳 孙跃 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第9期922-926,共5页

用 Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）和小掠射角Ｘ射线衍射（ＧＡＸＲＤ）研究了铝合金 ＬＹ１２等离子体基离子注入 Ｎ＋ 原位注入 Ｃ形成ＡｌＮ／ＤＬＣ（类金刚石碳膜）改性层的成分分布及相结构，用激光 Ｒａｍａｎ光谱分析了表面单一碳... 用 Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）和小掠射角Ｘ射线衍射（ＧＡＸＲＤ）研究了铝合金 ＬＹ１２等离子体基离子注入 Ｎ＋ 原位注入 Ｃ形成ＡｌＮ／ＤＬＣ（类金刚石碳膜）改性层的成分分布及相结构，用激光 Ｒａｍａｎ光谱分析了表面单一碳层的结构，对 过渡层元素进行了 Ｇａｕｓｓｉａｎ—Ｌｏｒｅｎｔｚｉｏｎ峰位拟合分析．结果表明，Ｎ浓度在注入层呈Ｇａｕｓｓ分布，Ｃ浓度沿注入方向逐 渐减小．Ｃ的注入使 Ｎ分布有所拓宽．Ｃ在表面还能形成一层单一稳定的 ４００ ｎｍ厚的 ＤＬＣ膜．过渡层主要由 Ａｌ４Ｃ３， Ａｌ２Ｏ３，ＡｌＮ，β－Ｃ３Ｎ４等组成．改性层总厚度达 ８００ｎｍ． 展开更多

关键词 铝合金 等离子体基离子注入 DLC膜 表面改性

下载PDF 职称材料

铝合金等离子体基离子注入形成AlN/TiN层结构研究 被引量：2

18

作者 廖家轩 夏立芳 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第5期386-390,共5页

用X射线光电子能谱和小掠射角X射线衍射研究了铝合金LY12等离子体基离子注入形成的AlN/TiN改性层的结构。结果表明 ,N和Ti能注入铝合金表面 ,N在注入层呈类高斯分布 ,而Ti沿注入方向呈梯度递减。后注入的Ti和N对先注入的N的含量和分布... 用X射线光电子能谱和小掠射角X射线衍射研究了铝合金LY12等离子体基离子注入形成的AlN/TiN改性层的结构。结果表明 ,N和Ti能注入铝合金表面 ,N在注入层呈类高斯分布 ,而Ti沿注入方向呈梯度递减。后注入的Ti和N对先注入的N的含量和分布有重要影响。同时注入Ti和N ,能在试样表面形成一层稳定的Ti,N层。所形成的AlN/TiN改性层主要由TiO2 ,TiN ,TiAl3 ,Al2 O3 。 展开更多

关键词 铝合金 等离子体基离子注入 高斯分布 梯度层 AlN/TiN层 结构 氮化铝 氮化钛 表面改性

下载PDF 职称材料

等离子体基离子注入法制备SOI材料 被引量：1

19

作者 于伟东 王曦 +1 位作者 陈静 张苗 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期347-349,353,共4页

注氧隔离法 (SIMOX)和体硅智能剥离法 (smart cut)是目前制备绝缘体上的硅 (SOI)材料的最重要的两种方法。而离子注入是其中最主要工艺过程。本文简述了等离子体基离子注入 (PBII)在制备SOI的两种方法中应用的国内外研究现状。讨论了两... 注氧隔离法 (SIMOX)和体硅智能剥离法 (smart cut)是目前制备绝缘体上的硅 (SOI)材料的最重要的两种方法。而离子注入是其中最主要工艺过程。本文简述了等离子体基离子注入 (PBII)在制备SOI的两种方法中应用的国内外研究现状。讨论了两种方法中需要考虑的共性问题 ,包括注入剂量的均匀性、等离子体中离子的选择、单一能量的获得以及避免C、N、O及金属粒子的污染等。并且针对SIMOX和smart cut各自的工艺特点 ,分别讨论了不同工艺参数的选择。 展开更多

关键词 等离子体基离子注入 SOI材料 PBII SIMOX SMART-CUT

下载PDF 职称材料

Ti6A14V合金等离子体基氧离子注入层的层状结构 被引量：2

20

作者 李金龙 马欣新 孙明仁 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第B08期279-283,共5页

采用等离子体基氧离子注入技术对Ti6A14V合金进行表面改性。注入负脉冲电压分别为10、20、30、40、50kV,注入剂量为0.6×10^(17)ions/cm^2。用XPS分析了注氧层中元素的分布和化学态。结果显示,注入电压增加,氧的浓度深度分布增加。... 采用等离子体基氧离子注入技术对Ti6A14V合金进行表面改性。注入负脉冲电压分别为10、20、30、40、50kV,注入剂量为0.6×10^(17)ions/cm^2。用XPS分析了注氧层中元素的分布和化学态。结果显示,注入电压增加,氧的浓度深度分布增加。注入氧元素的浓度深度分布曲线不同于束线式注入氧元素的类高斯分布,表面氧浓度最大,随着深度的增加出现一个略倾斜的氧浓度平台,该平台的宽度随注入电压增加而增加。氧离子注入引起基体元素Ti、Al、V的浓深分布发生变化,近表面区域Ti的原子百分含量减少,Al的含量增高,而V未检测到。并且随着注入电压的增加,近表面区域富集Al的浓度明显增加,富Al贫V的区域也明显加大。注入样品的改性层具有相似的层状结构,由表及里依次为表面污染层、TiO_2和Al_2O_3组成薄的外层、内层在改性层中占的比例最大,由TiO_2、Ti_2O_3、TiO、Ti、Al、Al_2O_3、V和VO组成。 展开更多

关键词 TI6AL4V 氧等离子体基离子注入 X射线光电子能谱 层状结构

下载PDF 职称材料