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离子束混合及离子注入陶瓷材料表面改性研究概述 被引量:15
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作者 王齐祖 陈玉峰 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第9期569-576,共8页
对离子注入陶瓷材料引起的辐照损伤和材料力学性能、摩擦学性能的改善及陶瓷基体上金属薄膜的离子束混合增强粘着研究的进展进行了综述。
关键词 离子注入 陶瓷 表面改性 力学性质
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离子束表面改性及其在摩擦学中的应用 被引量:5
2
作者 张绪寿 冶银平 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第1期8-17,共10页
本文对离子束表面改性的各种方法和技术水平及其在摩擦学中的应用进行了综述,讨论了为使这种技术更加广泛地应用于实际摩擦学体系还必须研究的一些问题。大量文献资料表明,离子注入是改善材料摩擦学性能的一种有效方法。离子束辅助涂层... 本文对离子束表面改性的各种方法和技术水平及其在摩擦学中的应用进行了综述,讨论了为使这种技术更加广泛地应用于实际摩擦学体系还必须研究的一些问题。大量文献资料表明,离子注入是改善材料摩擦学性能的一种有效方法。离子束辅助涂层是新近发展起来的一种离子束表面改性技术,包括离子束增强沉积或离子束辅助沉积、离子束混合和离子束反冲注入。利用它可以制得0.05到几个微米厚的涂层。由于界面的相互扩散混合,离子束辅助涂层能更强地与底材结合,并且常比物理或化学气相沉积的涂层更密实。作者认为,离子束技术今后将在两个相关领域中发展,即直接的离子注入和离子辅助涂层,并且指出离子补助涂层技术将拓宽离子束技术在摩擦学中的应用范围。 展开更多
关键词 离子束 表面改性 涂层 摩探磨损
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离子束混合形成氮化钛膜的摩擦和光学性能 被引量:2
3
作者 阎鹏勋 杨思泽 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第2期74-77,共4页
用载能氮离子束轰击纯铁镀钛膜样品,成功地形成了金黄色氨化钛薄膜。结果表明;注入剂量为0.5×1017N+/cm2的混合样品表面颜色与纯金类似;氮离子束混合样品表面显微硬度及耐磨性都远优于纯铁基体,且随离子剂量的增... 用载能氮离子束轰击纯铁镀钛膜样品,成功地形成了金黄色氨化钛薄膜。结果表明;注入剂量为0.5×1017N+/cm2的混合样品表面颜色与纯金类似;氮离子束混合样品表面显微硬度及耐磨性都远优于纯铁基体,且随离子剂量的增加,混合样品的表面硬度和耐磨性也提高。 展开更多
关键词 离子束混合 氮化钛 薄膜 磨损
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电沉积镍钨注钼电极的析氢反应 被引量:3
4
作者 张季爽 李青莲 +1 位作者 吕瑶姣 言喜云 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 1993年第5期92-94,共3页
在所有电极过程中研究最多的是析氢反应,其重要性一直为化学界所关注。提高电极活性的各种方法中,普遍采用电沉积法,它价廉简便、效果明显。但涂层不够牢固,在使用过程中易脱落,使用寿命短。为了克服上述缺点,作者将电沉积和离子注入技... 在所有电极过程中研究最多的是析氢反应,其重要性一直为化学界所关注。提高电极活性的各种方法中,普遍采用电沉积法,它价廉简便、效果明显。但涂层不够牢固,在使用过程中易脱落,使用寿命短。为了克服上述缺点,作者将电沉积和离子注入技术联合使用,即在Ni、W镀层上注入Mo离子,利用Mo离子的能量将Ni、W打入表面内层,进行离子束混合。 展开更多
关键词 电沉积镍钨 注钼电极 析氢电极
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离子束混合铝/铁双层膜表面改性 被引量:2
5
作者 姚举禄 高美珍 +2 位作者 史迹 王天民 张绪寿 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期110-117,共8页
目前,有关离子束混合层的摩擦磨损性能及其电化学腐蚀等方面内容的文献报道还很少见,研究都还不够深入系统.因此,对Ar+离子束混合316不锈钢基体上的Al/Fe双层膜的摩擦学行为及其电化学性能等进行了试验研究,结果表明,... 目前,有关离子束混合层的摩擦磨损性能及其电化学腐蚀等方面内容的文献报道还很少见,研究都还不够深入系统.因此,对Ar+离子束混合316不锈钢基体上的Al/Fe双层膜的摩擦学行为及其电化学性能等进行了试验研究,结果表明,混合层的显微硬度比基体的高25%,摩擦系数也大幅度降低,且其耐磨性能良好;混合试样的电化学性能表现出明显的贵金属特征.在此基础上,还利用俄歇电子能谱仪、透射电子显微镜、扫描电子显傲镜和掠角X射线衍射等分析研究了性能改善的机理,发现在混合层中有FeAl新相和铬的氧化物生成,这两者的存在是混合试样具有良好耐磨性和耐腐蚀性的主要原因.研究结果在发展工程材料的表面改性技术和合成金属间化合物等方面具有指导和实用价值。 展开更多
关键词 离子束混合 表面改性 铁双层膜
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Cr的混合对Cr4Mo4V钢腐蚀性能的影响 被引量:4
6
作者 刘仲阳 王培录 姜景云 《微细加工技术》 1991年第4期19-25,共7页
用N^+离子束将Cr元素混合于Cr4Mo4V钢形成新的表面合金层。通过FeCl_3浸泡试验和在0.1mol/L NaCl醋酸—醋酸钠pH5.9缓冲溶液中的极化试验,考察了抗局部腐蚀(点蚀)的能力;同时在H_2SO_4溶液中考察了抗均匀腐蚀的能力。 对混层作的X射线衍... 用N^+离子束将Cr元素混合于Cr4Mo4V钢形成新的表面合金层。通过FeCl_3浸泡试验和在0.1mol/L NaCl醋酸—醋酸钠pH5.9缓冲溶液中的极化试验,考察了抗局部腐蚀(点蚀)的能力;同时在H_2SO_4溶液中考察了抗均匀腐蚀的能力。 对混层作的X射线衍射,TEM和XPS微观分析辩明,这层与基体混合良好的表面合金形成晶粒高度细化的多晶;在混层中有CrN、Cr_2N以及更复杂的N、C等化合物形成。电化学性质的显著变化与这些元素的化合物以高度弥散的形式构成多晶结构的微合金密切相关。 展开更多
关键词 轴承材料 离子束混合 抗蚀性 CrMOV
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离子束轰击对多层膜摩擦学性能的影响 被引量:2
7
作者 张伟 薛群基 张绪寿 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第11期1165-1170,共6页
用Ne离子束混合法制备了Ni/Cr多层膜,用Auger光电子能谱(AES)、X射线衍射(XRD)分析离子束混合多层膜的元素组成、分布和相结构,将其结果与简单蒸发沉积的Ni/Cr多层膜结构进行比较同时,对多层膜(轰击与未轰击)的硬度及摩擦学... 用Ne离子束混合法制备了Ni/Cr多层膜,用Auger光电子能谱(AES)、X射线衍射(XRD)分析离子束混合多层膜的元素组成、分布和相结构,将其结果与简单蒸发沉积的Ni/Cr多层膜结构进行比较同时,对多层膜(轰击与未轰击)的硬度及摩擦学性能进行测定分析比较结果表明,离子束混合多层膜的硬度和抗磨性能与简单蒸发沉积多层膜相比都有提高这主要是因为Ne离子的轰击作用使多层膜更加致密及膜内的碳化铬硬质弥散相向界面处偏聚,使多层界面的强化作用得到加强。 展开更多
关键词 离子束混合 多层膜 摩擦磨损 界面强化
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离子束修饰析氢电极的研究 被引量:2
8
作者 张季爽 李青莲 +1 位作者 吕瑶姣 言喜云 《湖南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1993年第3期21-26,共6页
本文研究了离子束混合、离子注入和离子溅射对析氢电极的修饰作用.发现四种电极在酸、碱介质中都具有优异的催化活性.在高电流密度下的长期电解试验中电位稳定,其稳定性和使用寿命远远超过以电沉积或其他方法活化的电极.考察了温度、粗... 本文研究了离子束混合、离子注入和离子溅射对析氢电极的修饰作用.发现四种电极在酸、碱介质中都具有优异的催化活性.在高电流密度下的长期电解试验中电位稳定,其稳定性和使用寿命远远超过以电沉积或其他方法活化的电极.考察了温度、粗糙度对电极性能的影响.用AES和XPS分析了电极表面组成、价态和浓度分布,并对试验规律进行了解释. 展开更多
关键词 离子注入 离子束混合 析氢电极
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H^+辐照前后Mo涂层表面的XPS分析 被引量:2
9
作者 刘春海 杜晓松 +2 位作者 汪德志 黄宁康 杨斌 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期176-178,182,共4页
对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积的钼膜进行了H+辐照前后的XPS分析,研究了H+辐照对钼膜的结合能的影响。分析结果表明,沉积的钼膜中除了单质钼外,还有部分钼的氧化物;H+辐照结果表明,H+的辐照使钼的结合能向低能方向偏移;钼的氧化... 对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积的钼膜进行了H+辐照前后的XPS分析,研究了H+辐照对钼膜的结合能的影响。分析结果表明,沉积的钼膜中除了单质钼外,还有部分钼的氧化物;H+辐照结果表明,H+的辐照使钼的结合能向低能方向偏移;钼的氧化物有所减少,说明污染的氧化物在一定程度上被择优溅射掉。 展开更多
关键词 离子束混合 MO薄膜 H^+辐照 XPS分析
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铬、钽离子束表面冶金合金的抗腐蚀机制 被引量:1
10
作者 王培禄 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第2期78-82,共5页
根据离子束表面冶金的特点,从合金成分、结构、缺陷、元素性质以及表面污染等方面系统地讨论了Cr、Ta元素加入对金属腐蚀行为的影响。在此基础上,提出它们抑制腐蚀的综合模式,较好地解释了这类表面合金抗腐蚀的机制。
关键词 离子注入 腐蚀 表面合金化
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离子束混合沉积C-SiC涂层的阻氢特性研究 被引量:1
11
作者 杨斌 熊器 +3 位作者 刘耀光 雷家荣 汪德志 黄宁康 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期65-68,共4页
对离子束混合技术制备的C SiC阻氢涂层进行了SEM形貌观察 ,比较了在相同组分的C SiC靶材下采用不同的Ar+ 离子轰击剂量 ,在相同的Ar+ 离子轰击剂量下采用不同组分的C SiC靶材所制备涂层的表面形貌特征 ,并由二次离子质谱 (SIMS)分析了C ... 对离子束混合技术制备的C SiC阻氢涂层进行了SEM形貌观察 ,比较了在相同组分的C SiC靶材下采用不同的Ar+ 离子轰击剂量 ,在相同的Ar+ 离子轰击剂量下采用不同组分的C SiC靶材所制备涂层的表面形貌特征 ,并由二次离子质谱 (SIMS)分析了C SiC涂层的阻氢性能 .结果表明 ,所制备C SiC涂层的表面形貌与靶材组分以及Ar+ 离子轰击剂量有关 ,不同的形貌特征对涂层的阻氢性能影响不同 . 展开更多
关键词 C-SiC 离子束混合技术 表面形貌 阻氢性能 碳-碳化硅涂层 聂击剂量 金属表达保护
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载能团簇离子在物质中的能量损失 被引量:3
12
作者 丁富荣 史平 +2 位作者 王尧 何卫红 聂锐 《原子核物理评论》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期225-230,共6页
实验表明,团簇离子在物质中的能量损失并不等于各成分单独作用的总和,而是具有非线性效应.这种非线性效应与团簇离子的能量、团簇的种类和大小、团簇成分之间的空间关联程度以及作用物质的结构有关.对团簇作用的非线性效应研究对于了解... 实验表明,团簇离子在物质中的能量损失并不等于各成分单独作用的总和,而是具有非线性效应.这种非线性效应与团簇离子的能量、团簇的种类和大小、团簇成分之间的空间关联程度以及作用物质的结构有关.对团簇作用的非线性效应研究对于了解团簇与物质相互作用的机制具有非常重要的理论意义.MeV能区的团簇离子在物质中的非线性电子能损和核能损方面的直接实验数据还相当缺乏,其理论模型也更待建立.评述了载能团簇离子在物质中的能量损失及测量方法. 展开更多
关键词 团簇离子 非线性效应 能量损失 脉冲幅度亏损 离子束混合
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H^+辐照前后W涂层表面的XPS分析 被引量:2
13
作者 杨斌 雷家荣 +1 位作者 汪德志 黄宁康 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期41-44,共4页
对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积的W膜进行了H+ 辐照前后的XPS分析 ,研究了H+ 辐照对W的结合能的影响。分析结果表明 ,沉积的W膜中除了单质钨外 ,还有部分钨的氧化物 ,H+ 辐照结果表明 ,H+的辐照使钨的结合能向低能方向偏移 ;钨的... 对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积的W膜进行了H+ 辐照前后的XPS分析 ,研究了H+ 辐照对W的结合能的影响。分析结果表明 ,沉积的W膜中除了单质钨外 ,还有部分钨的氧化物 ,H+ 辐照结果表明 ,H+的辐照使钨的结合能向低能方向偏移 ;钨的氧化物有所减少 。 展开更多
关键词 离子束混合 W薄膜 H^+辐照 XPS分析 钨薄膜 等离子体室 内壁保护
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N^+注入Ti/Si_3N_4的摩擦行为研究 被引量:1
14
作者 田军 杨晓鸿 +2 位作者 陈玉峰 王齐祖 薛群基 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期206-209,共4页
研究了Si3N4陶瓷材料及镀膜Ti/Si3N4材料当N+注入前后的摩擦学行为,考察了样品表面划痕轨迹的SEM形貌,结合X射线衍射,对离子注入改性机理和摩擦学性能进行了探讨.
关键词 离子注入 摩擦学 氮化硅陶瓷 镀膜
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加热去氩处理工艺对离子束混合沉积的C-SiC涂层阻氢性能的影响 被引量:1
15
作者 任丁 张瑞谦 +3 位作者 黄宁康 曾俊辉 杜良 张东 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期586-590,共5页
利用Ar^+离子束混合技术在不锈钢基体上沉积C-SiC涂层,然后对部分样品进行加热去氩处理(400℃,30min),再用5keV氢离子源辐照样品。通过扫描电镜(SEM)的表面形貌观察、二次离子质谱仪(SIMS)的H与Ar元素深度分布和正离子质谱分析,研究去... 利用Ar^+离子束混合技术在不锈钢基体上沉积C-SiC涂层,然后对部分样品进行加热去氩处理(400℃,30min),再用5keV氢离子源辐照样品。通过扫描电镜(SEM)的表面形貌观察、二次离子质谱仪(SIMS)的H与Ar元素深度分布和正离子质谱分析,研究去氩处理对氢离子辐照的C-SiC涂层的形貌和阻氢性能的影响。结果表明,经去氩处理,样品中不锈钢基体内的氢浓度降低了80%,显示出去氩处理的C-SiC涂层具有更高的阻氢性能。研究结果将为该技术应用于不锈钢基体上C-SiC涂层制备工艺的进一步改善提供依据。 展开更多
关键词 C-SiC涂层 离子束混合沉积 阻氢 扫描电镜 二次离子质谱
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H^+辐照对不锈钢基体上涂覆W膜的微观研究 被引量:2
16
作者 杨斌 雷家荣 +1 位作者 汪德志 黄宁康 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期267-271,共5页
对奥氏体不锈钢基体上采用离子束混合技术进行不同厚度的钨膜沉积 ,沉积后的试样进行了H+注入前后的XRD和SEM微观分析 ,研究了H+辐照对W膜的晶体结构和形貌的影响。结果表明 ,沉积的W膜基本上是非晶的 ,还出现了由于污染造成的钨的氧化... 对奥氏体不锈钢基体上采用离子束混合技术进行不同厚度的钨膜沉积 ,沉积后的试样进行了H+注入前后的XRD和SEM微观分析 ,研究了H+辐照对W膜的晶体结构和形貌的影响。结果表明 ,沉积的W膜基本上是非晶的 ,还出现了由于污染造成的钨的氧化物。氢离子的辐照模拟结果表明 ,少量晶化的W向非晶化转变 ,污染的氧化物被择优溅射掉。H+轰击对W膜表面形貌的影响不大 ,它仍然致密、均匀、完整且无明显损伤。 展开更多
关键词 不锈钢基体 离子束混合 W薄膜 H^+辐照 氢离子 辐照模拟 聚变堆 第一壁 钨薄膜 微结构 保护
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Studies on Ion-Beam Modified Hydrogen Evolution Electrodes
17
作者 Zhang Ji-shuang Li Qin-lian Lu Yao-jiao and Yan Xi-yun (Department of Chemistry and Chemical Engineering, Hunan Univesity, Changsha, 410082) Hou Rang-kun (Deaprtment of Chemistiy , Henan Educational College, Zhengzhou, 450003 ) 《Chemical Research in Chinese Universities》 SCIE CAS CSCD 1994年第2期68-71,共4页
he present paper focuses on the modifying effects of ion beam mixing, ion im-planting and ion sputtering on hydrogen evolution electrodes. It was discovered thatthe four types of electrodes possessed excellent catalyt... he present paper focuses on the modifying effects of ion beam mixing, ion im-planting and ion sputtering on hydrogen evolution electrodes. It was discovered thatthe four types of electrodes possessed excellent catalytic activity in acid or alkalinemedia and potential stability in long term electrolysis of water under high currentdensity. Their stability and applying life-span greatly surpass those of other elec-trodes activated by electrodepositing and other method. The effects of temperatureand roughness on function of electrodes were also examined. XPS and AES wereapplied to analyse the surface composition and bond states of the electrodes, andthe distribution of concentration varying with depth, and to explain the law of theexperiments . 展开更多
关键词 Implantating ion-beam mixing ion Sputtering XPS Hydrogen Evo-lution Reaction
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Studies on Surface Modification of Metals by Ion Beam Mixing Implanting With Plasma Source Ion Implantation
18
作者 陈英方 吴知非 +1 位作者 施芸城 蒋向荣 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 1994年第14期1161-1165,共5页
Ion implantation, as currently practiced, has been shown to be quite effective in production of semiconductor and integrated circuit as well as surface modification of metal. But it is a line-of-sight process and if t... Ion implantation, as currently practiced, has been shown to be quite effective in production of semiconductor and integrated circuit as well as surface modification of metal. But it is a line-of-sight process and if the target is non-planar, target manipulation, such as translation or rotation, is required to implant all sides of the target. Even with sophisticated target manipulation system, the performance of beam-line implantor is still limited by the retained dose problem,, i.e. the maximum dose retained by the target is governed by the angle of incidence of the beam. In order to achieve reasonable dose uniformity on targets with curved surfaces, target masking may be employed to restrict the ion beam angle of incidence. Even though the target has sufficient symmetry to accommodate masking, the masking degrades the system performance, and furthermore, sputtering of the masking contaminates the target. 展开更多
关键词 plasma source ion IMPLANTATion ion beam mixing surface modification AUGER electron SPECTROSCOPY X-ray PHOTOELECTRON spectroscopy.
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Au/Fe磁性多层膜在纳米颗粒转化过程中的电磁物性在线测量方法 被引量:2
19
作者 赵杨 李正孝 《微纳电子技术》 CAS 2002年第6期42-45,共4页
通过对当前磁性颗粒膜巨磁阻效应的一般研究方法的讨论,分析了当前已存在方法的不足之处,提出了一种利用离子束混合技术在线制备纳米颗粒膜的实验方法,该方法的特点是能够在磁性多层膜转化为纳米颗粒膜的过程中在线测量磁阻和霍尔系数... 通过对当前磁性颗粒膜巨磁阻效应的一般研究方法的讨论,分析了当前已存在方法的不足之处,提出了一种利用离子束混合技术在线制备纳米颗粒膜的实验方法,该方法的特点是能够在磁性多层膜转化为纳米颗粒膜的过程中在线测量磁阻和霍尔系数。本文详细介绍了该方法的实施过程,提供了相关的实验结果,证明了该种方法的可行性,并初步讨论了此种方法的应用前景。 展开更多
关键词 Au/Fe磁性多层膜 纳米颗粒 电磁物性 在线测量方法 离子束注入 颗粒膜 巨磁阻 数据采集
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离子束动态混合氮化钛薄膜生长及其组分和结构分析 被引量:1
20
作者 王曦 柳襄怀 +2 位作者 郑志宏 黄巍 邹世昌 《应用科学学报》 CAS CSCD 1992年第2期95-100,共6页
用电子束蒸发沉积钛和40keV氮离子束轰击同时进行的动态混合方法制备了氮化钛薄膜.RBS组分分析结果表明,离子束动态混合制备的氮化钛薄膜中的氧含量比不用离子束轰击的显著减少,薄膜的组分与离子原子到达比关系不大,主要受长膜过程中吸... 用电子束蒸发沉积钛和40keV氮离子束轰击同时进行的动态混合方法制备了氮化钛薄膜.RBS组分分析结果表明,离子束动态混合制备的氮化钛薄膜中的氧含量比不用离子束轰击的显著减少,薄膜的组分与离子原子到达比关系不大,主要受长膜过程中吸附效应的影响.随着蒸发沉积速率的提高,膜中氮含量下降,提高样品温度可获得同样效果.采用TEM和XRD对薄膜的结构进行分析测定,发现离子束动态混合制备的氮化钛薄膜主要由面心立方结构的TiN相构成,晶体取向随离子原子到达比(N/Ti)的增加,由<111>择优取向变到无择优的随机取向,然后再转变到<200>择优取向,合成的氮化钛薄膜具有良好的抗磨损性能,划痕试验表明薄膜与基体间结合力极强,临界载荷达10-15kg. 展开更多
关键词 离子束混合 氮化钛 薄膜
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