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悬浮进样探针原子化石墨炉原子吸收法测定地质样品中铍的研究 被引量:8
1
作者 侯书恩 常诚 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第1期73-76,共4页
本文应用探针恒温原子化技术,系统研究了铍的分析性能,比较了不同类型石墨管和探针材料的测定效果。应用固体悬浮进样,直接测定了地质样品中的痕量铍,方法的RSD为3.3~5.2%,检测限为5.1×10-12g铍。
关键词 探针原子化 悬浮进样 石墨炉原子吸收 地质样
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悬浮进样探针原子化石墨炉原子吸收法测定地质样品中的铬 被引量:3
2
作者 侯书恩 常诚 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期364-367,共4页
本文应用探针恒温原子化技术 ,系统研究了铬的分析性能 ,应用固体悬浮进样 ,直接测定了地质样品中的痕量铬 ,方法的 RSD为 3.0 %~ 6 .5 % ,检测限为 5 .1× 10 - 1 2 g铬 。
关键词 悬浮液进样 石墨炉原子吸收法 地质样品
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磨料粒度对雾化施液CMP抛光速率的影响及机理研究 被引量:4
3
作者 王陈 李庆忠 朱仌 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第7期1729-1733,1743,共6页
针对超声波雾化施液化学机械抛光过程中磨料的机械作用和化学特性从化学动力学及分子动力学两方面研究了抛光液磨料粒度对材料去除速率的影响和机理。采用不同粒度的磨料及组合进行了雾化施液CMP抛光实验。实验结果表明:磨料粒径在15 nm... 针对超声波雾化施液化学机械抛光过程中磨料的机械作用和化学特性从化学动力学及分子动力学两方面研究了抛光液磨料粒度对材料去除速率的影响和机理。采用不同粒度的磨料及组合进行了雾化施液CMP抛光实验。实验结果表明:磨料粒径在15 nm至30 nm范围内,粒度比较大的磨料能够传递更多的机械能,较小的磨料比较大的磨料具有更强的化学活性,对硅片表面材料的去除影响更为显著。向当前抛光液中加入5wt%的15 nm SiO2时,材料去除率增加至196.822 nm/min,而加入相同质量的30 nm SiO2时,材料去除率增加至191.828 nm/min。说明小尺寸的磨料在雾化施液CMP过程中不仅起着机械作用,还起着增强化学活性的作用。 展开更多
关键词 超声波 雾化施液 CMP 磨料粒径 材料去除率
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硒化锌晶体精细雾化抛光液及去除机理研究 被引量:3
4
作者 李庆忠 施卫彬 夏明光 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期271-276,共6页
目的配制适合硒化锌雾化施液化学机械抛光的最优抛光液。方法选取氧化铝磨粒、pH调节剂四甲基氢氧化铵、氧化剂过氧化氢、表面活性剂聚乙烯吡咯烷酮为主要活性成分,以材料去除速率和表面粗糙度为评价指标,通过正交试验对硒化锌晶体进行... 目的配制适合硒化锌雾化施液化学机械抛光的最优抛光液。方法选取氧化铝磨粒、pH调节剂四甲基氢氧化铵、氧化剂过氧化氢、表面活性剂聚乙烯吡咯烷酮为主要活性成分,以材料去除速率和表面粗糙度为评价指标,通过正交试验对硒化锌晶体进行精细雾化抛光,分析材料去除机理,并与传统抛光对比。结果氧化铝质量分数为9%、pH值为11、过氧化氢含量为3.5%、聚乙烯吡咯烷酮含量为0.75%时,材料去除率较高,为923.67 nm/min,同时表面粗糙度较小,为2.13 nm。在相同工况条件下,传统抛光材料的去除率和表面粗糙度分别为965.53 nm/min和2.27 nm。结论抛光液各组分对试验结果影响最大的为氧化铝磨粒,然后依次为氧化剂、pH值、表面活性剂。精细雾化抛光效果与传统抛光相近,但抛光液用量仅为后者的1/8。 展开更多
关键词 化学机械抛光 硒化锌 去除机理 精细雾化 正交试验 抛光液
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磨料对硒化锌雾化施液化学机械抛光的影响 被引量:2
5
作者 李庆忠 施卫彬 夏明光 《半导体光电》 CAS 北大核心 2018年第6期815-818,共4页
采用雾化施液化学机械抛光(CMP)的方法,以材料去除速率和表面粗糙度为评价指标,选取最适合硒化锌抛光的磨料,通过单因素实验对比CeO_2、SiO_2和Al_2O_3三种磨料的抛光效果。结果显示:采用Al_2O_3抛光液可以获得最高的材料去除率,为615.1... 采用雾化施液化学机械抛光(CMP)的方法,以材料去除速率和表面粗糙度为评价指标,选取最适合硒化锌抛光的磨料,通过单因素实验对比CeO_2、SiO_2和Al_2O_3三种磨料的抛光效果。结果显示:采用Al_2O_3抛光液可以获得最高的材料去除率,为615.19nm/min,而CeO_2和SiO_2磨料的材料去除率分别只有184.92和78.56nm/min。进一步分析磨料粒径对实验结果的影响规律,表明100nm Al_2O_3抛光后的表面质量最佳,粗糙度Ra仅为2.51nm,300nm Al_2O_3的去除速率最大,达到1 256.5nm/min,但表面存在严重缺陷,出现明显划痕和蚀坑。在相同工况条件下,与传统化学机械抛光相比,精细雾化抛光的去除速率和表面粗糙度与传统抛光相近,但所用抛光液量约为传统抛光的1/8,大大提高了抛光液的利用率。 展开更多
关键词 硒化锌 雾化施液 化学机械抛光 磨料 去除速率 表面粗糙度
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水煤浆气力式静电雾化喷嘴设计及雾化流场形貌 被引量:1
6
作者 郑捷庆 张军 钟晓龙 《化学工程》 CAS CSCD 北大核心 2012年第11期60-63,共4页
借鉴已有的常规水煤浆气力式雾化喷嘴的研究与应用成果,设计了新型的气力式静电雾化喷嘴。在此基础上搭建了以环电极感应充电方式的水煤浆静电雾化实验台,利用激光粒子成像速度仪(PIV)上的CCD相机对其静电雾化流场的形貌进行实验观察,... 借鉴已有的常规水煤浆气力式雾化喷嘴的研究与应用成果,设计了新型的气力式静电雾化喷嘴。在此基础上搭建了以环电极感应充电方式的水煤浆静电雾化实验台,利用激光粒子成像速度仪(PIV)上的CCD相机对其静电雾化流场的形貌进行实验观察,获取其荷电射流雾化角度随外加电场增加的变化情况;并利用激光粒子动态分析仪(PDA)系统分别获得流场轴线上以及轴线150 mm处横截面的透浆率随环电极电压的变化情况。实验结果表明:在感应电场的作用下,荷电喷雾流场随外加电场的增加而扩展,射流雾化角在42°—65°变化,且随充电电压的上升略呈一定的指数规律增加;水煤浆雾滴在射流轴线附近聚集的现象得以改善,浆滴在雾炬空间的弥散愈加均匀,可在一定程度上解决水煤浆雾炬核心区贫氧燃烧的难题。 展开更多
关键词 水煤浆 喷嘴 静电雾化 流场 透浆率
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精细雾化抛光TC4钛合金抛光液优化研究
7
作者 杨思远 苑晓策 李庆忠 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2022年第10期65-70,共6页
配制适用于TC4钛合金雾化施液抛光的特种抛光液,通过抛光实验获得纳米级的光滑钛合金表面。研究不同磨料、氧化剂和络合剂含量对钛合金材料去除率和表面粗糙度的影响,通过正交试验优化抛光液组成及配比。优化后的抛光液由质量分数20%的S... 配制适用于TC4钛合金雾化施液抛光的特种抛光液,通过抛光实验获得纳米级的光滑钛合金表面。研究不同磨料、氧化剂和络合剂含量对钛合金材料去除率和表面粗糙度的影响,通过正交试验优化抛光液组成及配比。优化后的抛光液由质量分数20%的SiO_(2)磨料、0.1%的柠檬酸、1%的聚乙二醇-400、2%的H_(2)O_(2)组成,pH值为4。抛光试验结果表明,优化后抛光液的抛光效果较好,材料去除率及试件表面质量均有所提升,其中材料去除率为549.87 nm/min,表面粗糙度为0.678 nm。XPS分析表明,抛光过程中钛合金表层在酸性环境下与H_(2)O_(2)和柠檬酸反应,生成了易于通过机械作用去除的氧化层。 展开更多
关键词 化学机械抛光 精细雾化 TC4钛合金 抛光液 SiO_(2)磨料
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超声波精细雾化抛光石英玻璃的抛光液研制 被引量:1
8
作者 苑晓策 李庆忠 杨思远 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2021年第11期103-108,共6页
为了配制适用于JGS1光学石英玻璃超声波精细雾化抛光的特种抛光液,以材料去除率和表面粗糙度为评价指标,设计正交试验探究抛光液中各组分含量对雾化抛光效果的影响,并对材料去除机制进行简要分析。结果表明:各因素对材料去除率的影响程... 为了配制适用于JGS1光学石英玻璃超声波精细雾化抛光的特种抛光液,以材料去除率和表面粗糙度为评价指标,设计正交试验探究抛光液中各组分含量对雾化抛光效果的影响,并对材料去除机制进行简要分析。结果表明:各因素对材料去除率的影响程度由大到小分别为SiO_(2)、pH值、络合剂、助溶剂和表面活性剂,对表面粗糙度影响程度的顺序为SiO2、表面活性剂、pH值、助溶剂和络合剂;当磨料SiO_(2)质量分数为19%,络合剂柠檬酸质量分数为1.4%,助溶剂碳酸胍质量分数为0.2%,表面活性剂聚乙烯吡咯烷酮质量分数为0.9%,pH值为11时,雾化抛光效果最好,材料去除率为169.5 nm/min,表面粗糙度为0.73 nm;去除过程中石英玻璃在碱性环境下与抛光液发生化学反应,生成低于本体硬度的软质层,易于通过磨粒机械作用去除。使用该抛光液进行传统化学机械抛光和雾化化学机械抛光,比较两者的抛光效果。结果表明:两者抛光效果接近,但超声雾化方式抛光液用量少,仅为传统抛光方式的1/7。 展开更多
关键词 化学机械抛光 精细雾化 石英玻璃 抛光液 正交试验
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高压静电场中石灰浆射流荷电特性的实验研究
9
作者 牛刚 《价值工程》 2014年第6期317-319,共3页
煤炭在我国一次能源的消费中占主要地位,而由此产生的大气污染是相当严重的。SO2是煤燃烧排放中的主要成分。将静电效应引入石灰浆烟气脱硫中,是烟气脱硫技术发展的新途径。而对石灰浆荷电雾化特性的研究则是石灰浆荷电雾化脱硫技术的... 煤炭在我国一次能源的消费中占主要地位,而由此产生的大气污染是相当严重的。SO2是煤燃烧排放中的主要成分。将静电效应引入石灰浆烟气脱硫中,是烟气脱硫技术发展的新途径。而对石灰浆荷电雾化特性的研究则是石灰浆荷电雾化脱硫技术的关键。本实验中应用皮安表和颗粒图像分析仪等石灰浆荷电雾化试验装置,测定了石灰浆荷电雾化后荷电特性,并定性地研究了颗粒分布。结果表明:雾滴的荷电量与充电电压间存在着线性关系;静电效应的引入能很好地提高石灰浆雾化质量。 展开更多
关键词 荷电喷雾 荷质比 石灰浆 静电场
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雾化施液CMP中铌酸锂晶片抛光液优化及抛光效果
10
作者 马驰 李庆忠 苑晓策 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第3期213-218,共6页
采用超声波精细雾化施液对铌酸锂晶片进行了化学机械抛光(CMP)实验,研究抛光液复配参数(二氧化硅磨料含量、氧化剂含量、络合剂含量、表面活性剂含量和pH值)对抛光效果的影响,以材料去除速率和表面粗糙度为评价指标,根据正交试验结果得... 采用超声波精细雾化施液对铌酸锂晶片进行了化学机械抛光(CMP)实验,研究抛光液复配参数(二氧化硅磨料含量、氧化剂含量、络合剂含量、表面活性剂含量和pH值)对抛光效果的影响,以材料去除速率和表面粗糙度为评价指标,根据正交试验结果得到最优组分的抛光液,分析铌酸锂的去除机理,并与传统抛光进行对比。结果表明:二氧化硅磨料和氧化剂对铌酸锂晶片抛光效果影响显著。当二氧化硅磨料质量分数为20%、过氧化氢质量分数为2.5%、柠檬酸质量分数为1.6%、pH值为11和聚乙烯吡咯烷酮质量分数为0.4%时,材料去除速率为401.52 nm/min,表面粗糙度为1.04 nm。在相同的抛光工艺参数下,传统CMP的材料去除速率为427.68 nm/min,表面粗糙度为1.12 nm;超声精细雾化抛光效果与传统CMP效果相近,但雾化施液方式的抛光液用量低,是传统CMP的1/7。 展开更多
关键词 化学机械抛光(CMP) 铌酸锂 精细雾化 抛光液 正交试验
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酸碱性对雾化施液CMP氧化锆陶瓷的影响
11
作者 李庆忠 夏明光 施卫彬 《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2017年第12期2497-2502,2508,共7页
采用精细雾化施液CMP这一抛光工艺对氧化锆陶瓷进行抛光,实验研究了抛光液中具有代表性的酸碱调节剂对抛光氧化锆陶瓷材料去除率、表面形貌和表面粗糙度的影响及酸碱性对精细雾化施液分散稳定性的影响。结果表明:针对精细雾化液抛光工... 采用精细雾化施液CMP这一抛光工艺对氧化锆陶瓷进行抛光,实验研究了抛光液中具有代表性的酸碱调节剂对抛光氧化锆陶瓷材料去除率、表面形貌和表面粗糙度的影响及酸碱性对精细雾化施液分散稳定性的影响。结果表明:针对精细雾化液抛光工艺配制的二氧化硅抛光液在碱性环境中分散稳定性更好,虽然酸性抛光液对材料去除率更高,但酸对氧化锆陶瓷表面腐蚀性过大,不宜抛光氧化锆陶瓷;有机碱作为调节剂抛光后的表面质量明显优于无机碱及无机酸、有机酸;乙二胺配置的碱性抛光液精细雾化后抛光氧化锆陶瓷可获得优质超光滑低损伤表面及较高加工效率,表面粗糙度Rq为1.67 nm,材料去除率达182.23 nm/min。 展开更多
关键词 氧化锆陶瓷 酸碱性 雾化施液 超光滑表面 材料去除率
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FCA-2500型雾化-跌落式煤浆预处理器的研究与应用 被引量:8
12
作者 张立华 周国亮 +3 位作者 朱金波 江明东 任利勤 吴大为 《洁净煤技术》 CAS 2011年第3期89-92,共4页
介绍了FCA-2500型雾化-跌落式煤浆预处理器的工作原理和结构。乳化剂雾化、煤浆与浮选剂跌落式混合试验表明风动喷射式雾化器的雾化情况好于起雾盘,煤浆跌落式混合的滑板结构满足了不同粒径煤粒的工艺要求。FCA-2500型雾化-跌落式煤浆... 介绍了FCA-2500型雾化-跌落式煤浆预处理器的工作原理和结构。乳化剂雾化、煤浆与浮选剂跌落式混合试验表明风动喷射式雾化器的雾化情况好于起雾盘,煤浆跌落式混合的滑板结构满足了不同粒径煤粒的工艺要求。FCA-2500型雾化-跌落式煤浆预处理器的工业应用试验表明:在分选指标相似的情况下,雾化-跌落式煤浆预处理器的浮选剂单位用量(风压0.06~0.08 MPa)比矿浆准备器节省了20%以上,节油效果明显。 展开更多
关键词 雾化 跌落 浮选剂 煤浆预处理
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含稀土油浆泵耐磨涂层合金粉体材料的研究 被引量:6
13
作者 张振宇 王智平 +1 位作者 梁补女 苏义祥 《粉末冶金技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期98-101,共4页
采用气雾化方法制备了NiCrWRE油浆泵耐磨涂层用合金粉末。利用SEM、OM、XRD等技术研究了粉末的特性。探讨了稀土元素对NiCrWRE粉末性能的影响。试验结果表明,加入稀土元素可以获得致密化程度较高、分布均匀的组织,粉末形貌呈球形,流动性... 采用气雾化方法制备了NiCrWRE油浆泵耐磨涂层用合金粉末。利用SEM、OM、XRD等技术研究了粉末的特性。探讨了稀土元素对NiCrWRE粉末性能的影响。试验结果表明,加入稀土元素可以获得致密化程度较高、分布均匀的组织,粉末形貌呈球形,流动性好,具有良好的喷焊性能,喷焊层与基体形成牢固的冶金结合。 展开更多
关键词 气雾化 油浆泵 粉体材料 耐磨性能
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水煤浆气流雾化的初次破裂特性 被引量:5
14
作者 程维 赵辉 +3 位作者 孟沁玮 李伟锋 许建良 刘海峰 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期25-31,共7页
以水煤浆和空气作为实验介质,利用高速摄像仪对同轴双通道喷嘴水煤浆气流雾化的初次破裂过程进行了实验研究,重点考察了在喷嘴出口附近水煤浆的射流核心长度和振荡频率等特征。研究结果显示,实验中水煤浆的破裂模式为非轴对称雷利破裂模... 以水煤浆和空气作为实验介质,利用高速摄像仪对同轴双通道喷嘴水煤浆气流雾化的初次破裂过程进行了实验研究,重点考察了在喷嘴出口附近水煤浆的射流核心长度和振荡频率等特征。研究结果显示,实验中水煤浆的破裂模式为非轴对称雷利破裂模式,根据实验结果,得到了浆体的量纲1射流核心长度与气速和液速之间的关系式。雾化过程中浆滴的产生与水煤浆射流振荡有关,研究了其Strouhal数与Weber数和液体Reynolds数之间的关系。 展开更多
关键词 气流雾化 水煤浆 射流核心长度 振荡频率
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提升管内熟石灰浆液雾化脱除烟气中SO_2过程的研究 被引量:2
15
作者 高继慧 王帅 +3 位作者 高建民 杜谦 吴少华 秦裕琨 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第29期40-44,共5页
应用非接触在线测量SO2浓度装置,研究了提升管内熟石灰浆液雾化时SO2脱除过程。研制了夹层式抽气热电偶,测得了浆液雾化干燥时烟气温度场分布。结果表明:SO2脱除和浆液干燥过程沿塔高呈先增加后降低的趋势,在距离喷嘴200mm处出现SO2脱... 应用非接触在线测量SO2浓度装置,研究了提升管内熟石灰浆液雾化时SO2脱除过程。研制了夹层式抽气热电偶,测得了浆液雾化干燥时烟气温度场分布。结果表明:SO2脱除和浆液干燥过程沿塔高呈先增加后降低的趋势,在距离喷嘴200mm处出现SO2脱除和温度降低份额的最大值。浆液雾化区径向温度呈双峰分布。气液质量比由0.1提高到0.2时脱硫效率提高8%;雾化高度提高。夹层式抽气热电偶适于测量气液两相流场内气体温度,通过测定温度场可以判定浆液蒸发情况,标定不同工况喷嘴雾化状态。 展开更多
关键词 二氧化硫 脱硫 雾化 烟气 熟石灰浆
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利多卡因联合达克罗宁胶浆用于鼻内镜手术的临床观察 被引量:2
16
作者 吴振宇 戚小航 +3 位作者 张建刚 王现雷 杨晓春 张丽伟 《疑难病杂志》 CAS 2022年第12期1293-1297,共5页
目的 观察利多卡因雾化吸入表面麻醉联合达克罗宁胶浆涂抹气管插管下端用于鼻内镜下鼻窦手术患者的临床效果。方法 选择2018年12月-2020年11月于秦皇岛市第一医院行鼻内镜手术的患者100例,按随机数字表法分为2组,每组各50例。2组患者均... 目的 观察利多卡因雾化吸入表面麻醉联合达克罗宁胶浆涂抹气管插管下端用于鼻内镜下鼻窦手术患者的临床效果。方法 选择2018年12月-2020年11月于秦皇岛市第一医院行鼻内镜手术的患者100例,按随机数字表法分为2组,每组各50例。2组患者均采用小剂量咪唑安定、芬太尼、右美托咪啶镇静镇痛(MAC)下完成经纤支镜引导经口气管插管。A组采用利多卡因雾化吸入联合达克罗宁胶浆涂抹气管插管下端,B组采用利多卡因喷喉联合环甲膜穿刺。分别于患者入室后1分钟(T_(0)),插管即刻(T_(1)),插管后5min(T_(2)),拔管即刻(T_(3)),拔管后5 min(T_(4))记录平均动脉压(MAP)、脉搏氧饱和度(SPO_(2))、心率(HR)。记录插管时间,记录插管期间是否发生呛咳、喉痉挛,术后2 h随访患者有无声音嘶哑、咽喉疼痛及有无术中知晓发生。记录并整理数据,对研究结果进行统计学分析,比较2组的麻醉效果。结果 与B组比较,A组MAP、HR于T_(3)、T_(4)时明显降低,差异有统计学意义(T_(3)时:t/P=8.403/<0.001、19.981/<0.001;T_(4)时:10.668/<0.001、17.678/<0.001);A组SPO_(2)在T_(1)时明显高于B组,差异有统计学意义(t/P=40.018/<0.001)。A组患者插管期间发生呛咳、喉痉挛的比例明显低于B组,差异有统计学意义(χ^(2)/P=5.263/0.022、6.383/0.012);拔管期间躁动评分及术后VAS明显低于B组,差异有统计学意义(t/P=41.110/<0.001、14.709/<0.001)。结论 MAC下利多卡因雾化吸入法表麻联合达克罗宁胶浆涂抹气管插管下端,对患者无创伤,插管期间氧供充分,围术期血流动力学更稳定,镇痛更完善,患者感觉舒适,整体满意度更高。 展开更多
关键词 利多卡因 雾化吸入 气管插管 盐酸达克罗宁胶浆 监测下麻醉管理技术
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管道式煤浆预处理器在贺西煤矿选煤厂的应用 被引量:2
17
作者 史玉全 李栋 +3 位作者 王兴兴 王丹 马瑞平 李莉莎 《煤炭加工与综合利用》 CAS 2016年第7期36-38,6,共3页
根据浮选药剂雾化原理,研发了用于选煤厂浮选药剂分散、添加、混合作用的管道式煤浆预处理器;该处理器利用一定压力的高速射流及其管道内的负压作用,提高了煤浆的矿化效果;通过首次在贺西煤矿选煤厂的工业性应用,证明该煤浆预处理器运... 根据浮选药剂雾化原理,研发了用于选煤厂浮选药剂分散、添加、混合作用的管道式煤浆预处理器;该处理器利用一定压力的高速射流及其管道内的负压作用,提高了煤浆的矿化效果;通过首次在贺西煤矿选煤厂的工业性应用,证明该煤浆预处理器运行平稳、可靠,能够大幅降低浮选药剂消耗量。 展开更多
关键词 浮选药剂 雾化 管道式煤浆预处理器 浮选药剂消耗量 经济效益
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Research on the Atomization Characteristics of UCMCWS──A Novel Diesel Oil Substitute
18
作者 张文富 王祖讷 +1 位作者 张子平 李徽 《International Journal of Mining Science and Technology》 SCIE EI 1997年第2期39-41,共3页
Ultra-Clean Micronized Coal Water Slurry (UCMCWS ) as a form or coal-based fuel can be used in place of oil in diesel engine, gas turbine and clean combustion. In laboratory UCMCWS has been made from ultra-clean coal ... Ultra-Clean Micronized Coal Water Slurry (UCMCWS ) as a form or coal-based fuel can be used in place of oil in diesel engine, gas turbine and clean combustion. In laboratory UCMCWS has been made from ultra-clean coal with ash less than 0. 8%, with concentration of UCMCWS less than 55%, and with viscosity less than 600 mPa. s. A test rig of atomization with diesel oil nozzle has been made. A preliminary conclusion is that UCMCWS can be atomized as good as diesel oil in the working condition of diesel engine. 展开更多
关键词 Ultra-Clean Micronized Coal Water slurry atomization DIESEL
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有机废水煤浆的初步实验研究 被引量:1
19
作者 苏适 蔡崧 任世铮 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1992年第5期50-57,共8页
本文提出了利用有机废水制备煤浆的新方法来处理有机废水,这在环保、节约工业水资源、利用可燃废物质方面有着现实的经济意义,试验表明,外混式高压旋流雾化喷嘴用于废水煤浆的雾化是成功的,并且解决了煤浆喷口的磨损问题,应用液排渣施... 本文提出了利用有机废水制备煤浆的新方法来处理有机废水,这在环保、节约工业水资源、利用可燃废物质方面有着现实的经济意义,试验表明,外混式高压旋流雾化喷嘴用于废水煤浆的雾化是成功的,并且解决了煤浆喷口的磨损问题,应用液排渣施风燃烧室能快速冷风点火及稳定燃烧废水煤浆。 展开更多
关键词 有机废水 流变特性 雾化 燃烧性能/废水煤浆
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雾化施液CMP工艺及材料去除机制研究 被引量:9
20
作者 王陈 李庆忠 +1 位作者 朱仌 闫俊霞 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期56-60,共5页
介绍通过雾化供液方式进行化学机械抛光(CMP)的工作原理以及试验装置设计,通过雾化供液抛光工艺试验考察该方法的抛光效果,分析其材料去除机制。结果表明,雾化施液CMP方法的抛光浆料利用率高,在达到去除率为257.5 nm/min,表面粗糙度小于... 介绍通过雾化供液方式进行化学机械抛光(CMP)的工作原理以及试验装置设计,通过雾化供液抛光工艺试验考察该方法的抛光效果,分析其材料去除机制。结果表明,雾化施液CMP方法的抛光浆料利用率高,在达到去除率为257.5 nm/min,表面粗糙度小于3.8 nm的抛光效果时,雾化抛光液消耗量仅为350 mL。雾化抛光材料去除机制是表面材料分子级氧化磨损去除,即通过抛光液中氧化剂的化学作用使表面原子氧化并弱化其结合键能,通过磨粒的机械作用将能量传递给表面分子,使表面分子的能量大于其结合键能而被去除。 展开更多
关键词 雾化施液 CMP 工艺试验 材料去除机制
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