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超连续谱光源对CMOS图像传感器的干扰实验研究 被引量:6
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作者 朱辰 李尧 +5 位作者 王雄飞 张昆 熊文龙 张浩彬 张大勇 张利明 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期374-377,共4页
首先介绍了CMOS图像传感器工作的基本原理。以自研的超连续谱光源为干扰源搭建了实验装置,对CMOS器件在强光下的受干扰现象进行了实验研究。获得了不同功率密度水平下CMOS器件输出的光斑饱和图像。以入射到CMOS器件靶面的功率密度3.14&#... 首先介绍了CMOS图像传感器工作的基本原理。以自研的超连续谱光源为干扰源搭建了实验装置,对CMOS器件在强光下的受干扰现象进行了实验研究。获得了不同功率密度水平下CMOS器件输出的光斑饱和图像。以入射到CMOS器件靶面的功率密度3.14×10-3W/cm2为例,对得到的图像数据进行了分析,得到了干扰效果图和像元灰度表,并对产生的原因作出了分析。 展开更多
关键词 光电对抗 激光干扰 超连续谱光源 cmos传感器
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AES-8000全谱交直流电弧发射光谱仪的研发与应用 被引量:6
2
作者 付国余 吴冬梅 +3 位作者 赵燕秋 余澍时 于中奇 谭婷 《分析仪器》 CAS 2018年第6期16-19,共4页
介绍了一种国内外首创的全谱交直流电弧发射光谱仪。该仪器采用交直流电弧激发光源,Ebert-Fastic分光系统与高灵敏度CMOS检测器相结合模式。具有分辨率高、灵敏度高、分析速度快、安全智能等优点,能够满足地质矿产行业规范关于银、锡、... 介绍了一种国内外首创的全谱交直流电弧发射光谱仪。该仪器采用交直流电弧激发光源,Ebert-Fastic分光系统与高灵敏度CMOS检测器相结合模式。具有分辨率高、灵敏度高、分析速度快、安全智能等优点,能够满足地质矿产行业规范关于银、锡、硼三元素测定的要求。 展开更多
关键词 全谱交直流电弧发射光谱仪 Ebert-Fastic分光系统 cmos检测器
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一种长波红外光导探测器CMOS电路设计 被引量:5
3
作者 袁红辉 陈永平 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第3期762-765,共4页
CMOS电路是高输入阻抗,而长波红外光导探测器是低阻抗,实现低阻抗红外光导探测器与CMOS电路的良好匹配,是目前长波红外探测器高性能成像的关键技术。文中设计了一种能在低温下工作的低阻抗红外光导探测器CMOS电路,差分放大器采用正负电... CMOS电路是高输入阻抗,而长波红外光导探测器是低阻抗,实现低阻抗红外光导探测器与CMOS电路的良好匹配,是目前长波红外探测器高性能成像的关键技术。文中设计了一种能在低温下工作的低阻抗红外光导探测器CMOS电路,差分放大器采用正负电源供电,在输入级采用桥式输入方式,该电路第一级采用1 MΩ的负反馈电阻实现信号放大,第二级放大采用正端放大方式,输入级、第一级放大、第二级放大均采用直接耦合方式。测试结果表明,该放大器与长波红外低输入阻抗光导探测器连接后能正常工作,总放大倍数大于1万倍,3 dB带宽大于4 kHz,等效输入电压噪声小于1.5μV,有效地解决了低阻抗光导探测器与高阻CMOS电路的匹配问题。 展开更多
关键词 低阻抗 低噪声 光导探测器
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空间遥感器线阵与面阵探测器共基板焦面组件设计 被引量:5
4
作者 王克军 董吉洪 +3 位作者 李威 王晓宇 周平伟 姜萍 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第5期73-79,共7页
空间遥感器的焦面组件是空间遥感器的一个关键部组件,完成光信号到电信号的转变功能,要求其具有高拼接精度、高稳定性和高度轻量化的性能。针对某深空探测遥感器兼具推扫成像和凝视成像的功能需求,设计了一种线阵面阵探测器共基板的焦... 空间遥感器的焦面组件是空间遥感器的一个关键部组件,完成光信号到电信号的转变功能,要求其具有高拼接精度、高稳定性和高度轻量化的性能。针对某深空探测遥感器兼具推扫成像和凝视成像的功能需求,设计了一种线阵面阵探测器共基板的焦面组件,主要包括焦面基板、CCD组件、CMOS组件和视频处理电路板等。通过合理的布局,在一块焦面基板上完成了三片CCD芯片和两片CMOS芯片的布局设计,结构紧凑,散热效果好,同时利用铜片分割和电箱结构覆盖的手段提升了焦面组件的电测兼容性能。完成焦面组件的拼接,CCD探测器的搭接误差优于±2μm,各个探测器的共线和平行度误差优于±2μm,共面度误差优于±2.5μm。最终,对焦面组件开展了力、热环境试验,探测器的共线、平行度和共面度误差均无变化,表明焦面组件具有足够高的拼接精度和稳定性,焦面组件的基频为135 Hz,具有足够高的动态刚度,同时,还对整机进行了电磁兼容试验,性能良好。 展开更多
关键词 空间遥感器 CCD探测器 COMS探测器 共基板设计 电磁兼容
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基于CMOS的轻小型高光谱仪的发展及应用 被引量:4
5
作者 马芳苑 王跃明 《光学与光电技术》 2016年第4期84-89,共6页
目前高光谱成像技术正往轻量化、小型化、低功耗的方向发展,同时轻小型化的高光谱产品具有巨大商业价值。CMOS探测器的较高集成度能大大简化外围电路设计,能使高光谱成像系统获得轻量化、小型化、低功耗等技术优势。基于CMOS的性能特点... 目前高光谱成像技术正往轻量化、小型化、低功耗的方向发展,同时轻小型化的高光谱产品具有巨大商业价值。CMOS探测器的较高集成度能大大简化外围电路设计,能使高光谱成像系统获得轻量化、小型化、低功耗等技术优势。基于CMOS的性能特点,分析CMOS用于轻小型成像光谱仪的技术路线,然后结合几个典型的产品阐述CMOS光谱探测技术的发展现状,最后讨论CMOS在高光谱成像领域的应用前景及趋势。 展开更多
关键词 高光谱成像 cmos探测器 光谱仪 轻小型 灵敏度
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激光热效应对CMOS探测器的干扰机理分析 被引量:4
6
作者 张巧云 陈青山 牛春晖 《激光杂志》 北大核心 2018年第2期72-76,共5页
为了研究激光热效应对CMOS探测器的干扰效应,建立了激光辐照CMOS探测器固体传热的有限元仿真模型,仿真了激光辐照CMOS的光热效应,得到CMOS探测器的表面温度分布及Si层表面的温度曲线。根据半导体电子空穴对产生公式,得到波长为1064nm的... 为了研究激光热效应对CMOS探测器的干扰效应,建立了激光辐照CMOS探测器固体传热的有限元仿真模型,仿真了激光辐照CMOS的光热效应,得到CMOS探测器的表面温度分布及Si层表面的温度曲线。根据半导体电子空穴对产生公式,得到波长为1064nm的不同功率密度的激光辐照CMOS而产生的光生载流子、热生载流子。根据CMOS对于1064nm激光的饱和功率密度阈值5.87×10^(-3)W/cm2,得到CMOS的载流子饱和阈值。对比不同功率密度的激光辐照CMOS时的三种载流子。结果表明,功率密度为350W/cm2的激光辐照CMOS时,热生载流子大于了CMOS的载流子饱和阈值,证明热生载流子已经占满了像元,激光的热效应已经干扰了CMOS探测器。 展开更多
关键词 激光热效应 cmos探测器 干扰效应 载流子
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场效应晶体管太赫兹探测器在太赫兹成像领域的研究进展(上)
7
作者 靳晨阳 康亚茹 +5 位作者 黄镇 赵永梅 颜伟 李兆峰 王晓东 杨富华 《红外》 CAS 2024年第7期1-8,共8页
太赫兹(Terahertz,THz)波具有能量低、穿透性强、分辨率高等特性,因而THz成像技术在安全检测、医学诊断、无损探伤等领域具有广阔的应用前景。THz探测器作为THz成像系统的重要组成部分,其性能对成像分辨率、成像速度等有重要影响。由于... 太赫兹(Terahertz,THz)波具有能量低、穿透性强、分辨率高等特性,因而THz成像技术在安全检测、医学诊断、无损探伤等领域具有广阔的应用前景。THz探测器作为THz成像系统的重要组成部分,其性能对成像分辨率、成像速度等有重要影响。由于具备可室温工作、易大面积集成、响应速度快等特性,场效应晶体管(Field Effect Transistor,FET)THz探测器在成像应用中潜力巨大。综述了近年来FET THz探测器在THz成像领域的研究进展(包括成像阵列、材料选择等方面),分析了设计和制造中存在的问题;指出天线和像素间距是限制大规模阵列化的重要因素,并在此基础上对未来的研究方向进行了展望;指出新的材料和结构设计将进一步改善器件性能,从而实现更快速、更清晰的THz成像。 展开更多
关键词 太赫兹成像 场效应晶体管 太赫兹探测器 HEMT cmos 低维材料
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CMOS探测器自适应信号读出技术研究
8
作者 于得福 陈永平 李向阳 《半导体光电》 CAS 北大核心 2024年第1期36-41,共6页
设计了一种根据光照强度自动调节增益的CMOS探测器,它能够在一帧时间内实现光照强度与积分增益自动适应,从而实现无论在弱光还是强光条件下CMOS探测器都能有适应的灵敏度和动态范围。相较于传统CTIA电路,自适应信号读出技术新增了比较... 设计了一种根据光照强度自动调节增益的CMOS探测器,它能够在一帧时间内实现光照强度与积分增益自动适应,从而实现无论在弱光还是强光条件下CMOS探测器都能有适应的灵敏度和动态范围。相较于传统CTIA电路,自适应信号读出技术新增了比较器电路来控制CTIA积分电容大小,通过短曝光输出电压与参考阈值进行比较,输出信号结果用来调整长曝光积分增益,最终得到每个像素的输出电压和增益挡位。基于0.5μm 5 V-CMOS工艺进行了128×1线阵CMOS探测器设计仿真与流片,仿真结果表明,光电流在2 pA~100 nA六个数量级内分别自适应四个积分增益,都能有良好的信号读出。 展开更多
关键词 cmos探测器 自适应技术 自动增益 长短曝光
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场效应晶体管太赫兹探测器在太赫兹成像领域的研究进展(下)
9
作者 靳晨阳 康亚茹 +5 位作者 黄镇 赵永梅 颜伟 李兆峰 王晓东 杨富华 《红外》 CAS 2024年第8期1-12,共12页
太赫兹(Terahertz,THz)波具有能量低、穿透性强、分辨率高等特性,因而THz成像技术在安全检测、医学诊断、无损探伤等领域具有广阔的应用前景。THz探测器作为THz成像系统的重要组成部分,其性能对成像分辨率、成像速度等有重要影响。由于... 太赫兹(Terahertz,THz)波具有能量低、穿透性强、分辨率高等特性,因而THz成像技术在安全检测、医学诊断、无损探伤等领域具有广阔的应用前景。THz探测器作为THz成像系统的重要组成部分,其性能对成像分辨率、成像速度等有重要影响。由于具备可室温工作、易大面积集成、响应速度快等特性,场效应晶体管(Field Effect Transistor,FET)THz探测器在成像应用中潜力巨大。综述了近年来FET THz探测器在THz成像领域的研究进展(包括成像阵列、材料选择等方面),分析了设计和制造中存在的问题;指出天线和像素间距是限制大规模阵列化的重要因素,并在此基础上对未来的研究方向进行了展望;指出新的材料和结构设计将进一步改善器件性能,从而实现更快速、更清晰的THz成像。 展开更多
关键词 太赫兹成像 场效应晶体管 太赫兹探测器 HEMT cmos 低维材料
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基于CMOS的高响应度太赫兹探测器线阵
10
作者 白雪 张子宇 +2 位作者 徐雷钧 赵心可 范小龙 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期70-78,共9页
本文提出了一种基于CMOS 0.18μm工艺的改进型高响应度太赫兹探测器线阵,各探测像素单元由高增益片上天线、高耦合度差分自混频功率探测电路和集成电压放大器组成。其中,差分探测电路利用源极差分驱动场效应管的交叉耦合电容,将太赫兹... 本文提出了一种基于CMOS 0.18μm工艺的改进型高响应度太赫兹探测器线阵,各探测像素单元由高增益片上天线、高耦合度差分自混频功率探测电路和集成电压放大器组成。其中,差分探测电路利用源极差分驱动场效应管的交叉耦合电容,将太赫兹差分信号耦合至场效应管的栅极与源极,增强场效应管沟道内自混频太赫兹信号的强度,实现高响应度。其次,该探测器配备高增益片上环形差分天线与集成电压放大器,可有效放大混频后的信号,进而提高系统信噪比,最终达到增强探测器响应度的目的。探测器1×3线阵系统充分利用CMOS工艺多层结构的特点,将电压放大器布置在天线地平面下方,提高了芯片面积的利用率,有效降低了制作成本,整个系统的面积为0.5 mm^(2)。测试结果表明,当场效应管的栅极偏置为0.42 V时,该探测系统对0.3 THz辐射信号的电压响应度(Rv)最大可达到43.8 kV/W,对应的最小噪声等效功率(NEP)为20.5 pW/Hz^(1/2)。动态测试结果显示该探测器可对不同材质的隔挡物进行区分。 展开更多
关键词 互补金属氧化物半导体 太赫兹 探测器 宽带天线 高响应度
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A low noise and wide dynamic range preamplifier for HPGe detectors
11
作者 Jiajun Hao Zhengxi Cheng +2 位作者 Xiangke Ye Li He Zhi Deng 《Radiation Detection Technology and Methods》 CSCD 2024年第3期1413-1421,共9页
Purpose HPGe detectors can be used for both dark matter search and neutrinoless double beta decay experiments.However,signal amplitudes of these two experiments are quite different.This paper presents the development ... Purpose HPGe detectors can be used for both dark matter search and neutrinoless double beta decay experiments.However,signal amplitudes of these two experiments are quite different.This paper presents the development of a wide dynamic range CMOS preamplifier for HPGe detectors,which can also be used for low light level photon detection.Methods The structure of a dual-stage dual-gain amplifier was adopted to receive the signals with charges ranging from~0.01 fC to 500 fC.A novel“pre-reset”technique has been proposed to reduce the dead time ratio for large signals.A prototype chip was fabricated and tested.Results A minimum ENC of 43 electrons has been achieved for the high-gain channel at 77 K and the maximum charge of the input signal could be up to 500 fC for the low-gain channel,corresponding to a dynamic range above 90 dB.Conclusions The dual-gain structure of the preamplifier and the“pre-reset”method have been successfully verified,which can be used for HPGe detectors for dark matter and neutrino experiments in the future. 展开更多
关键词 Low noise Wide dynamic range Charge sensitive preamplifier cmos ASIC.Cryogenic electronics HPGe detector
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硅基光电探测器前置放大电路的输入级CMOS实现 被引量:2
12
作者 梁恩主 冯军 +2 位作者 郑婉华 王志功 陈良惠 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第9期1-2,16,共3页
介绍前置电路对光电探测器性能的影响和给出一种适用于硅基光电探测器前置放大电路的输入级CMOS实现。
关键词 光电集成电路 cmos 光电探测器 前置放大电路 硅基
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光电可逆计数器系统的设计 被引量:2
13
作者 杨周琴 《太原理工大学学报》 CAS 2002年第6期672-675,共4页
通过对光电可逆计数器系统的研究 ,分析设计了以 CMOS集成电路为基本组成部分 ,配合光电探测电路 ,电压放大电路波形整形电路 ,从而对光信号干涉条纹进行计数 。
关键词 光电可逆计数器系统 cmos集成电路 光电探测器 光电系统 系统设计 放大整形电路
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静态光散射法水体悬浮颗粒物粒度测量背景干扰消除方法 被引量:3
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作者 石一鸣 殷高方 +8 位作者 赵南京 石朝毅 贾仁庆 马明俊 刘灯奎 漆艳菊 夏蒙 甘婷婷 杨瑞芳 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第7期63-69,共7页
静态光散射法能够实现水体悬浮颗粒物粒度分布的快速检测,但测量精度易受背景干扰。传统的样品散射光减背景光方法无法有效消除背景干扰。提出了基于散射光基线的背景干扰消除方法,在样品散射光减去背景干扰的基础上,拟合出散射光强分... 静态光散射法能够实现水体悬浮颗粒物粒度分布的快速检测,但测量精度易受背景干扰。传统的样品散射光减背景光方法无法有效消除背景干扰。提出了基于散射光基线的背景干扰消除方法,在样品散射光减去背景干扰的基础上,拟合出散射光强分布基线,进一步消除背景的干扰。120μm及9.86μm标准粒径样品的测量结果表明,相较于传统方法,120μm样品的D_(10)、D_(50)以及D_(90)的测量相对误差分别由56.9%、17.2%、8.1%下降到0.4%、0.8%、2.8%;9.86μm样品的D_(10)、D_(50)以及D_(90)的测量相对误差分别由17.2%、10.0%、0.1%变到11.6%、3.4%、0.1%。表明基线法能够大幅提升背景干扰的去除效果,提高颗粒物粒度测量的准确性。 展开更多
关键词 测量 背景干扰 悬浮颗粒物 粒度测量 cmos探测器
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太赫兹CMOS场效应管模型及实验分析 被引量:2
15
作者 张镜水 孔令琴 +1 位作者 董立泉 赵跃进 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期3128-3136,共9页
针对商业CMOS(互补金属氧化物半导体)场效应管模型在高频下易失效的问题,运用ADS软件构建了基于经典动力学理论的非线性RCL传输线模型,并结合实测数据说明了本文模型的精准性及太赫兹波段场效应管的工作原理。构建了基于经典动力学理论... 针对商业CMOS(互补金属氧化物半导体)场效应管模型在高频下易失效的问题,运用ADS软件构建了基于经典动力学理论的非线性RCL传输线模型,并结合实测数据说明了本文模型的精准性及太赫兹波段场效应管的工作原理。构建了基于经典动力学理论的非线性RCL传输线模型仿真系统,并将其与商业模型仿真结果进行对比,分析了在太赫兹波段本文模型与商业模型的区别。测试了现有场效应管探测器的频率响应,并对实测数据与两种模型仿真数据进行对比,说明本文模型提高了预测精度。最后,结合3σ原则分析了场效应管沟道尺寸对载流子散射效应的影响,以及场效应管进入弹道工作模式的条件。实验结果表明:本文模型与商业模型的区别主要在于模型中是否存在电感部分,该部分可作为场效应管沟道中载流子动量是否守恒及散射效应是否可以忽略的表征参数。相较于商业模型,本文模型对探测器最佳频率工作点的预测精准度可提高0.3%,对探测器带宽的预测精准度可提高约10%。该项研究为CMOS场效应管模型的精确建立及仿真分析提供了良好基础。 展开更多
关键词 太赫兹cmos场效应管 场效应管探测器 场效应管模型 散射效应
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CMOS兼容自对准微机械热电堆红外探测器 被引量:2
16
作者 徐德辉 熊斌 王跃林 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期2817-2820,共4页
微机械热电堆红外探测器由于无需致冷,后续检测电路简单,成本低等优点在许多领域得到了广泛应用。提出了一种采用互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容技术及自对准工艺制作的微机械热电堆红外探测器,以减小微机械热电堆红外探测器的工艺复杂... 微机械热电堆红外探测器由于无需致冷,后续检测电路简单,成本低等优点在许多领域得到了广泛应用。提出了一种采用互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容技术及自对准工艺制作的微机械热电堆红外探测器,以减小微机械热电堆红外探测器的工艺复杂度,减小微小释放孔结构的制作难度。和传统的微机械热电堆红外探测器相比,自对准微机械热电堆红外探测器的释放孔大小是由多晶硅热电偶臂之间的间距确定,而不是由光刻工艺确定。为研究自对准微机械热电堆红外探测器性能和热电堆结构之间的关系,设计并制作了两种不同结构的自对准微机械热电堆红外探测器。测试结果表明方形热电堆结构可以获得大的输出电压及响应率,圆形热电堆结构则可以获得快的响应和大的探测率。 展开更多
关键词 探测器 微机械热电堆 红外探测器 自对准 cmos兼容 微机电系统
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便携式癌细胞荧光显微成像系统的设计与实现 被引量:2
17
作者 黄新栋 张豫康 +2 位作者 郭建凯 伍三威 李洋洋 《厦门理工学院学报》 2020年第5期47-52,共6页
根据荧光成像在癌症诊断分析中的机理,选择高效率的光学系统,配合高精度的半数字式对焦技术和智能图像采集融合技术,实现高性能便携式癌细胞荧光成像系统。系统选择多波段的LED光源;采用科学级面阵互补金属氧化物半导体(CMOS)探测器,配... 根据荧光成像在癌症诊断分析中的机理,选择高效率的光学系统,配合高精度的半数字式对焦技术和智能图像采集融合技术,实现高性能便携式癌细胞荧光成像系统。系统选择多波段的LED光源;采用科学级面阵互补金属氧化物半导体(CMOS)探测器,配合散斑抑制二向色镜,降低背景干扰,提高检测灵敏度;采用半数字式对焦技术,实现显微镜高精细的自动对焦;采用FPGA+万兆网的结构,实现图像数据的高速传输。实验表明,基于该系统可制成质量为4 kg、功耗不到20 W的便携式癌细胞荧光成像设备,实现清晰的多谱段癌细胞荧光成像和快速检测。 展开更多
关键词 荧光显微成像系统 癌细胞 互补金属氧化物半导体(cmos)探测器
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Particle detector readout integrated circuit of 0.18μm technology with 164 e equivalent noise charge 被引量:2
18
作者 LI Xiangyu LIU Haifeng ZHANG Qi SUNYihe 《Nuclear Science and Techniques》 SCIE CAS CSCD 2011年第6期358-365,共8页
Integrated circuits of deep submicron(DSM) CMOS technology are advantageous in volume density, power consumption and thermal noise for multichannel particle detection systems,but there are challenges in the front-end ... Integrated circuits of deep submicron(DSM) CMOS technology are advantageous in volume density, power consumption and thermal noise for multichannel particle detection systems,but there are challenges in the front-end circuit design.In this paper,we present a 0.18μm CMOS front-end readout circuit for low noise CdZnTe detectors in tens of pF capacitance.Solutions to the noise and gate leak problems in DSM technologies are discussed in detail.A prototype chip was designed,with a charge sensitive preamplifier,a 4th order semi-Gaussian shaper and several output drivers.Test results show that the chip has an equivalent noise charge of 164 e,without connecting it to a detector,with an integral nonlinearity of<0.21%and differential nonlinearity of<3.75%. 展开更多
关键词 电荷灵敏前置放大器 cmos技术 粒子探测器 集成电路 热噪声 前端电路设计 DSM技术 读数
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一种CMOS工艺兼容的PMOS管红外探测器 被引量:1
19
作者 王明照 于峰崎 高淑琴 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1717-1720,共4页
二极管连接的MOS管以恒定电流偏置时,栅源电压与温度成线性关系.其温度变化率与偏置电流和MOS管的宽长比等因素有关.对此做理论分析的基础上,用Hspice进行了仿真.当取偏置电流为60μA,MOS管的宽长比为2/2时,仿真得到的栅源电压温度变化... 二极管连接的MOS管以恒定电流偏置时,栅源电压与温度成线性关系.其温度变化率与偏置电流和MOS管的宽长比等因素有关.对此做理论分析的基础上,用Hspice进行了仿真.当取偏置电流为60μA,MOS管的宽长比为2/2时,仿真得到的栅源电压温度变化率为2.13mV/K.基于此温度特性,提出用PMOS管作为红外探测敏感元件,利用标准CMOS工艺,结合体硅加工技术制作红外探测器的方法,并将PMOS管串联以进一步增加探测器的灵敏度. 展开更多
关键词 红外探测器 cmos工艺 MOSFET 温度效应
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一种基于CMOS的高集成度太赫兹近场传感器 被引量:1
20
作者 商德春 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第5期666-671,共6页
为了解决太赫兹波段近场传感器分辨率低和成本高的问题,提出了一种高图像分辨率、高集成度的传感器设计方案.该330 GHz传感器基于55 nm互补金属氧化物半导体(complementary metal oxide semiconductor,CMOS)工艺仿真实现,由330~336 GHz... 为了解决太赫兹波段近场传感器分辨率低和成本高的问题,提出了一种高图像分辨率、高集成度的传感器设计方案.该330 GHz传感器基于55 nm互补金属氧化物半导体(complementary metal oxide semiconductor,CMOS)工艺仿真实现,由330~336 GHz调谐范围的单端输出环形振荡器、宽带谐振器和功率探测器在单一硅片下集成.仿真结果表明,环形振荡器在偏置电压为2 V时达到峰值输出功率0.9 dBm@330 GHz,即1.23 mW.根据振荡器调谐范围,设计了一个宽带谐振器用于对待测物进行近场感测,通过放置不同介电常数的物体于其顶端表面,再通过探测器读出输出电压,与未放置物体时探测器的输出电压的差值即为该传感器的响应.此单片集成的传感器可以在单片上实现太赫兹照明、探测、传感以及成像功能,在未来太赫兹近场成像领域有较强的应用潜力. 展开更多
关键词 太赫兹 cmos 传感器 振荡器 谐振器 探测器
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