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一种基于微\纳米加工技术的新型太赫兹片上螺旋天线 被引量:2

A Novel On-Chip Terahertz Helical Antenna Based on Micro/Nano Fabrication Technology
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摘要 给出了一种基于微\纳米加工技术的3D片上天线结构,天线工作频率为1.5 THz。该天线结构包含圆柱形金属螺旋和衬底上的微带馈线2个部分。所提出的天线结构可以在单片晶圆上利用微\纳米加工技术实现,且方便与系统其他部分的电路集成于同一芯片内部。天线在1.4 THz~1.6 THz频段内具有很高的增益(11 dBi)和很宽的工作带宽(200 GHz),非常适合应用于太赫兹通信系统。 In this work,a novel design for a fully on-chip 3D antenna operating at 1.5 THz that can be manufactured by micro/nano fabrication technology is presented.The structure of the antenna includes two parts,the metallic helix and the micro-strip on the substrate for feed.The proposed antenna structure is well suitable realized by micro/nano fabrication technology,the fabrication of the structure needs only one wafer,and the antenna can be easily integrated with other parts of on-chip circuits.The antenna is characterized by high gain(11 dBi)and wide bandwidth(200 GHz)in the 1.4 THz~1.6 THz frequency range,suitable for Terahertz communication systems.
作者 郭林 潘杰
出处 《电子器件》 CAS 北大核心 2017年第2期276-279,共4页 Chinese Journal of Electron Devices
基金 国家自然科学基金项目(61404157) 南京邮电大学校级科研基金项目(NY214189和NY215146) 中兴通讯产学研合作基金项目 河南省科技攻关计划项目(162102210332)
关键词 太赫兹(THz)天线 片上螺旋天线 微/纳米加工技术 微带线 terahertz(THz)antenna on-chip helical antenna micro/nano fabrication technology micro-strip
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