离子辅助沉积TiO_2/SiO_2多层膜雾度分析的研究

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摘要氧化钛膜层具有较高的折射率和出色的紫外吸收特性,广泛应用于UV/IR Cut滤光片的制备中。但是在TiO_2/SiO_2多层膜的制备中常常遇到雾度偏高的困扰,本文采用离子辅助沉积技术制备TiO_2/SiO_2多层膜,研究分析了相关工艺参数对沉积膜层雾度的影响,能够制备出较低雾度的薄膜样品。

作者王昆

机构地区西安工业大学

出处《科技风》 2017年第5期247-248,共2页

关键词氧化钛滤光片离子辅助沉积雾度

参考文献2

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