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微机械加工技术及其在传感器中的应用 被引量：3

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摘要 微机械加工技术是在集成电路技术基础上研发出来的新兴技术,其在人们的生活和工作的不同领域中都发挥了非常重要的作用,因此受到了学术界和社会的普遍推崇与认可。不仅如此,其他发达国家也对微机械加工技术投入了大量的研究资金,由此看出微机械加工技术的确受到了大众的关注与欢迎。本文主要以微机械加工技术在传感器中的应用为研究重点,分析了其中存在的问题,希望为这一技术的应用提供借鉴信息。
作者 魏喜雯
机构地区 黑龙江工业学院电气与信息工程系
出处 《山东工业技术》 2016年第6期25-25,共1页 Journal of Shandong Industrial Technology
关键词 微机械加工技术 传感器 应用
分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 相关文献

参考文献5

二级参考文献23

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共引文献33

同被引文献10

引证文献3

二级引证文献3

山东工业技术
2016年 第6期

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