摘要
随着微传感器的广泛应用 ,微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中。从微机械加工技术的关键工艺入手 ,分别对体微机械加工技术和表面微机械加工技术加以介绍 。
With the wide application of micro sensors,micromachining technology is more and more used in manufacture for micro sensors.The key processes of bulk micromachining and surface micromachining are introduced,and two micro sensors using the above technologies are presented respectively.
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2002年第4期268-270,302,共4页
Piezoelectrics & Acoustooptics
