摘要
超声喷雾热解法(USP)是近些年来新兴的一种制备涂层导体的方法,使用该方法制备涂层导体薄膜具有沉积速度快、廉价以及非真空等优点。对USP法的基本过程进行了阐述,综合评述了近年来采用该方法制备涂层导体的研究进展,并对其未来发展趋势加以展望。
Ultrasonic spray pyrolysis( USP) was a newly developing method for preparing coated conductor in recent years. It has the advantages of low cost,non-vacuum and fast deposition. This paper makes an elaboration on the basic process of USP technology and a comprehensive review on the recent progress of preparing coated conductor,and holds some expectations to its developing prospect.
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第23期23007-23011,共5页
Journal of Functional Materials
基金
国家自然科学基金青年基金资助项目(11405089)
江苏省自然科学基金青年基金资助项目(BK20130855
BK20130376)
江苏省高校自然科学研究面上资助项目(13KJB140012)
苏州市科技局纳米技术专项基金资助项目(ZXG201444)
关键词
超声喷雾热解
涂层导体
发展趋势
ultrasonic spray pyrolysis
coated conductor
developing prospect
