摘要
现代电子产品制造工艺中,使用高浓度三氯化铁蚀刻液,失效蚀刻液会造成环境污染和资源浪费。介绍了三氯化铁蚀刻废液的产生及特点,综述了三氯化铁蚀刻废液再生利用技术的研究进展,分析了不同再生方法的优缺点,并对三氯化铁蚀刻废液再生处理技术的发展趋势进行了展望和建议。
This paper introduces the generation and characteristics of FeCl3 waste etching solution and summarizes the research progresses in recycling the waste etching solution.It also analyzes the advantages and disadvantages of different recycling methods and previews the development of the waste etching solution treatment technology.
出处
《电镀与精饰》
CAS
北大核心
2014年第10期17-20,共4页
Plating & Finishing
基金
浙江省大学生科技创新活动计划(新苗人才计划)项目(2013R417033)
关键词
三氯化铁蚀刻废液
再生利用
置换
结晶
萃取
膜电解
FeCl3 waste etching solution
recycling
replacement
crystallization
extraction
membrane electrolysis
