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真空电弧镀膜的原理与应用

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作者 Boxm.,RL 松柏

出处《国外核聚变与等离子体应用》 1991年第1期53-61,共9页

关键词真空电弧镀膜沉积镀膜

分类号 TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]

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国外核聚变与等离子体应用

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