刻蚀机温度控制系统设计初探被引量：1

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摘要刻蚀机的温度控制系统是一个集制冷、加热、检测、控制为一体的温度循环控制系统,其利用温控的循环液体控制工作平台的温度,是一个典型的循环温度控制系统。本文从原理、制冷控制系统和压力损失等方面对该控制系统的设计进行探讨,为相关系统的设计工作提供参考。

作者高颖

机构地区中微半导体设备(上海)有限公司

出处《科技促进发展》 2012年第7期109-111,共3页 Science & Technology for Development

关键词制冷机温度传感器流量计温度控制

分类号 TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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参考文献3

1许名尧,何雅玲,陈钟颀,张力,赵佳威.微型脉管制冷机的研制及实验研究[J].应用科学学报,1997,15(2):234-236. 被引量：1
2张俊,张晓婷.流体传输中流体阻力和水头损失的计算[J].流体传动与控制,2011(4):24-27. 被引量：23
3赵江平.液压系统有效利用能源和降低噪声的途径[J].液压与气动,2011,35(6):86-89. 被引量：3

二级参考文献6

1王剑华.液压传动中的能量损失与压力损失.机械制造与自动化,2002,(5):28-29. 被引量：3
2白铭生.流体力学与流体机械[M].北京:机械工业出版社,2005.8. 被引量：2
3Zhu S W，Cryogenics，1990年，30卷，6期，514页被引量：1
4郭仁东,胡冰,王立捷,苏丹丹,齐宏宇.圆管流体平均流速与管道半径的关系[J].沈阳大学学报,2008,20(1):1-3. 被引量：10
5成兆义.溢流阀动态特性、噪声分析及降噪的研究[J].流体传动与控制,2008(5):27-30. 被引量：10
6赵广慧,梁政.连续油管内流体压力损失研究进展[J].钻采工艺,2008,31(6):41-44. 被引量：18

共引文献24

1赵伟国,赵雪松,黄朝川.小管径超声波流量计的仿真与设计[J].计量学报,2012,33(6):513-518. 被引量：4
2满建国,王东,于振文,张永丽,石玉.不同带长微喷带灌溉对土壤水分布与冬小麦耗水特性及产量的影响[J].应用生态学报,2013,24(8):2186-2196. 被引量：36
3王金武,潘振伟,杨欣伦,刘永军,张春凤,王金峰.深施型液态施肥机液肥转子式转换器设计与试验[J].农业机械学报,2014,45(10):110-115. 被引量：10
4毛召芝.酸轧机组工艺润滑系统之绿色节能设计[J].轧钢,2015,32(1):50-54. 被引量：1
5陈金祥,葛金翠,田壮.双泡发泡管的发泡动力学分析研究[J].机械设计与制造,2015(9):73-75.
6苗臣伟,兰凤,王龙强,郄志红.杜童水电站进水口水头损失试验研究[J].水电能源科学,2016,34(2):98-101.
7韩锋钢,胡汉桥,彭倩,林有淮,林志国,钟颖强.排水车三通管结构优化分析[J].机电技术,2016,0(1):2-5.
8刘巨保,姚利明,张宇,陈健.圆管变截面结构局部压降计算方法研究[J].机械设计与制造,2016(5):83-87. 被引量：8
9胡夏琦,梁辉,张鹏举,李博.基于水下采油树生产弯管的压力损失变化规律研究[J].中国海洋平台,2016,31(3):56-59. 被引量：1
10秦邦江,夏毅敏.泥水盾构泥浆环流系统管路压力损失分析与计算[J].液压气动与密封,2016,36(7):52-55. 被引量：8

同被引文献11

1叶云霞,范滇元.光通过纳米颗粒随机散射体透射光强的计算及分析[J].光学学报,2007,27(5):951-956. 被引量：26
2黄庆举,林继平,魏长河,姚若河.硅太阳能电池的应用研究与进展[J].材料开发与应用,2009,24(6):93-96. 被引量：29
3耿学文,李美成,尚春宇.Pt纳米粒子辅助化学刻蚀制备硅减反射层[J].红外与激光工程,2010,39(6):1096-1099. 被引量：3
4王立娟,周炳卿,那日苏,金志欣,田晓.强碱弱酸盐溶液对单晶硅太阳能电池表面织构化的影响[J].材料科学与工程学报,2011,29(6):920-924. 被引量：2
5李俊,代明珠,戴耀东.热分解法制备多壁碳纳米管负载铁氧体纳米粒子复合材料[J].材料导报,2014,28(2):1-3. 被引量：1
6蒋荣华,肖顺珍.半导体硅材料最新发展现状[J].半导体技术,2002,27(2):3-6. 被引量：16
7蒋荣华.国内外半导体硅材料最新发展状况[J].新材料产业,2002(7):47-52. 被引量：11
8廖承菌,李学铭,杨培志.一种在弱酸溶液中采用金属辅助湿法化学刻蚀黑硅的新方法[J].云南师范大学学报（自然科学版）,2014,34(5):18-20. 被引量：1
9杨红斌,向文丽,徐媛,祝菲霞,孙坤,司民真.银-石墨烯纳米复合材料的制备与表征[J].材料导报（纳米与新材料专辑）,2014,28(2):89-92. 被引量：3
10杜晓晴,崔少丽,童广,鲍俊,曾超,罗伟,陈伟民.用于表面增强拉曼散射的石墨烯/纳米粒子复合基底材料的研究现状[J].材料导报,2016,30(9):1-10. 被引量：1

引证文献1

1戴菡,赵俊凤,孙杰,余鑫祥,房洪杰,纪仁龙,祝贞凤,吕正风.Ag纳米颗粒等离激元光散射增强对Si刻蚀形貌的影响机制[J].材料导报,2017,31(A02):479-483.

1嘉然.电冰箱是怎样分类的?[J].现代家电,2001(4):6-7. 被引量：1
2张绍旺.发挥计量技术优势助推云南产业发展[J].云南科技管理,2013,26(5):5-7.
3张飞,金培鹏,师亚娟.加载热循环对Mg_2B_2O_5w/AZ31B复合材料强度的影响[J].铸造技术,2012,33(6):645-647.
4阎军,杨明强,严培.等离子硅刻蚀及其工艺参数的多尺度优化[J].计算机辅助工程,2014,23(5):84-87. 被引量：1
5周兴广,田振强,王冰,秦亚明,贺智国.三轴振动试验系统工作平台的谐振频率分析[J].航天器环境工程,2017,34(1):35-39.
6王新晓,马国强,褚福照.水声探测系统仿真工作平台设计[J].声学与电子工程,2003(2):19-21. 被引量：1
7刘丽.汽车空调制冷的单片机控制系统设计[J].合肥工业大学学报（自然科学版）,2006,29(10):1260-1263. 被引量：4
8曲轶夫.FCS与DCS控制模式在制冷系统中的选择应用实例[J].冷藏技术,2013,36(4):54-57.
9史训兵,金培鹏,许广济,丁雨田,刘孝根.非连续增强金属基复合材料在热循环载荷下的力学行为研究回顾与展望[J].青海大学学报（自然科学版）,2007,25(1):1-6. 被引量：1
10张忠健,赵声志,彭文,张倩霞,陈鼎.硬质合金疲劳裂纹的萌生与扩展行为[J].中国有色金属学报,2014,24(12):3031-3041. 被引量：21

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