同步辐射光电子能谱对ITO表面的研究被引量：14

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摘要首次利用同步辐射光电子能谱（ＳＲＰＥＳ）研究了铟锡氧化物（ＩＴＯ）薄膜表面的化学状态．发现ＩＴＯ表面的铟和锡分别具有多种价态．对比真空退火前后ＩＴＯ样品的电阻率与透射率，结合对ＩＴＯ导电机理的分析讨论。

作者来冰丁训民袁泽亮周翔廖良生张胜坤袁帅侯晓远陆尔东徐彭寿张新夷

机构地区复旦大学应用表面物理国家重点实验室中国科学技术大学同步辐射实验室

出处《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第7期543-547,共5页 半导体学报（英文版）

基金国家自然科学基金

关键词铟锡氧化物 ITO SRPES 实验

分类号 TN304.21 [电子电信—物理电子学]

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1999年第7期

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