期刊文献+

一种新型微机械陀螺仪结构方案设计与仿真 被引量:1

Structure Design and Simulation for the New MEMS Gyroscope
下载PDF
导出
摘要 为了解决微机械陀螺仪驱动和检测模态耦合的问题,提出了一种新型的双质量块双线振动结构方案。根据微陀螺的结构和工作原理,对其驱动和检测模态进行了理论分析,给出了简化的动力学方程,并利ANSYS有限元分析软件进行了数值仿真,以验证设计思想的正确性。 A new two-lane&two-mass vibration structure plan was proposed,due to solve the micro-gyroscope-driven and test mode coupling problem,.According to micro-gyro structure and working principle,its driver and test a theoretical modal analysis,simplified dynamic equations are given,and the use of ANSYS finite element analysis software,numerical simulation,to verify the correctness of design.
出处 《计算机光盘软件与应用》 2010年第8期104-104,110,共2页 Computer CD Software and Application
关键词 微机械陀螺 梳齿驱动 结构解耦 品质因数 ANSYS仿真 Mmicromachined gyroscope Comb drive Structure decoupling Quality factor ANSYS simulation
  • 相关文献

同被引文献22

引证文献1

二级引证文献5

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部