热处理对SnO_2薄膜光学特性的影响

The Influence on the Optical Propertiesof Thin Film SnO2 by Heat Treatment

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摘要用真空蒸发方法在玻璃衬底上沉积ＳｎＯ２薄膜．在氮气、氧气气氛下对薄膜进行不同温度条件的热处理．实验表明，热处理后薄膜的结构和光学性能均有了很大的改善． The SnO2 thinfilms have been obtained by using vacuum physical vapor phase deposition on the glasses substances.The thinfilms are heattreated at different temperature condition in nitrogen or oxygen.The experiment result indicated that structure and optical property of the thinfilms are improved after heat treatment.

作者李明华李健蒙禾

机构地区内蒙古大学新能源研究中心

出处《内蒙古大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1998年第4期494-498,共5页 Journal of Inner Mongolia University：Natural Science Edition

基金国家重点科技攻关资助

关键词薄膜热处理光学特性二氧化锡 PVD法 vacuum physical vapor deposition,SnO2 thinfilm,heattreatment,optical property

分类号 O484.41 [理学—固体物理]

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