摘要
氧化锌是一种在声表面波传感器、压电器件以及太阳能电池等方面具有很好应用前景的材料。介绍了目前制备ZnO薄膜的主要方法,综述了ZnO薄膜p型掺杂的研究现状,并对ZnO薄膜的研究进行了展望。
Zinc oxide has favorable applications in surface acoustic wave sensor, piezoelectric device, solar cell and other fields. This paper presents the main preparations of ZnO films and review investigation situation of p-type doping ZnO films, also the work of ZnO films is prospected.
出处
《真空与低温》
2009年第2期63-69,共7页
Vacuum and Cryogenics
基金
湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目(2004419)资助。
