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KLA-TENCOR推出用于测量等离子室效应的PLASMAVOLT X2

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摘要 KLA-Tencor公司新近推出了PlasmaVolt^TM X2，可用于在半导体晶圆处理系统中测量等离子室的状况。由于增加了内嵌式传感器数量，且空间分辨率得到改善，Plasma Volt X2对各种参数的变化极为敏感，例如无线电频率（RF）功率、气流、磁场及等离子室设计。

出处《电子工业专用设备》 2008年第11期73-74,共2页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词 KLA-Tencor公司离子室测量 PLASMA 空间分辨率无线电频率半导体传感器

分类号 TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学] TU998.1 [建筑科学—市政工程]

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电子工业专用设备

2008年第11期

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