期刊文献⁺

任意字段

题名或关键词

题名

关键词

文摘

作者

第一作者

机构

刊名

分类号

参考文献

作者简介

基金资助

栏目信息

KLA-Tencor将光刻覆盖控制扩展到65nm节点以下

下载PDF

导出

摘要 KLA-Tencor公司日前正式推出业界最新的覆盖计量解决方案——Archer AIM＋系统，该系统专门用于满足芯片制造商对65nm节点以下的光刻覆盖控制要求。Archer AIM＋基于作为业界基准的Archer加工平台，与KLA-Tencor的上一代Archer AIM系统相比，

出处《电子工业专用设备》 2005年第8期68-69,共2页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词控制要求覆盖 KLA-Tencor公司节点光刻扩展 IM系统解决方案加工平台

分类号 TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学] TH724 [机械工程—仪器科学与技术]

引文网络
相关文献

1KLA-Tencor推出叠对计量Archer AIM＋系统[J].电子测试（新电子）,2005(7):92-92.
2通过ARCHER AIM＋系统，KLA—TENCOR将光刻叠对控制扩展到65纳米节点以下Archer AIM＋系统[J].电子与电脑,2005,5(8):148-148.
3KLA-Tencor公司介绍[J].电子工业专用设备,2017,0(1):69-72.
4KLA-Tencor推出最新光罩检测技术[J].电子与电脑,2008,8(5):80-80.
5KLA-Tencor公司收购了ICOS[J].激光与光电子学进展,2008,45(4):7-7.
6KLA-Tencor新光罩检测技术可执行多缺陷检测[J].电子与电脑,2008,8(10):75-75.
7KLA-TENCOR推出全新控片检测系统SURFSCAN SP2^(XP) 可加快4X nm以上的芯片生产和3X nm以下的芯片开发[J].电子工业专用设备,2008,37(9):75-75.
8KLA-Tencor推出可解决二次成像挑战的首款计算光刻机[J].电子与电脑,2008,8(8):53-53.
9EDA[J].电子设计应用,2005(12):143-144.
10KLA—TENCOR针对科学与太阳能测量需求推出新型P-6表面轮廓仪系统[J].电子工业专用设备,2008,37(8):72-72.

电子工业专用设备

2005年第8期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...

;

使用帮助返回顶部