扫描电镜非导电样品的等离子溅射镀膜方法被引量：8

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摘要在扫描电镜非导电或导电性差的样品制备过程中,通常使用等离子溅射镀膜方法对样品表面进行导电处理。本文主要叙述等离子溅射镀膜的原理与方法,并简单介绍了磁控管溅射仪和锇等离子镀膜仪等。

作者郑东

机构地区北京师范大学

出处《中国现代教育装备》 2007年第10期19-20,共2页 China Modern Educational Equipment

关键词扫描电镜非导电样品等离子溅射镀膜磁控管溅射仪锇等离子镀膜仪

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2007年第10期

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