用TiCl_3低温化学气相沉积TiN的实验研究

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摘要从热力学分析中论述了TiCl_3与N_2在低温下反应形成TiN的可行性,并通过TiCl_3(气)的制备及沉积试验,在450～600℃温度范围内在钢基材上获得了TiN的涂层。文中对实验装备与试验过程作了简介,对钢基工模具上应用TiN涂层将起到积极作用。

作者胡传胜袁泽喜

机构地区武汉冶金科技大学

出处《表面技术》 EI CAS CSCD 1997年第1期5-7,共3页 Surface Technology

关键词低温化学气相沉积氮化钛涂层氯化钛

参考文献1

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表面技术

1997年第1期

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