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低温化学气相沉积TiN及其应用

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摘要本文主要介绍一种化学气相沉积氮化钛涂层的新方法,该涂层是采用亚氯化钛和氨在低压和450℃～650℃的条件下获得的、在沉积室中反应而形成的。此法获得的TiN涂层有良好的表面结合力以及抗蚀和耐腐性能,文中除对其工序与涂层性能予以介绍外还着重说明它在塑料工业模具中的应用。

作者胡传胜

机构地区武汉钢铁学院

出处《国外金属热处理》 1994年第3期18-21,共4页 Heat Treatment of Metals Abroad

关键词化学气相沉积氮化钛覆层

分类号 TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]

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国外金属热处理

1994年第3期

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