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应用于磁控溅射镀膜生产线的计算机监控系统的设计

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摘要介绍了一种成功应用的磁控溅射镀膜生产线计算机监控系统的设计,重点讨论了计算机监控系统的硬件配置、软件设计、通信协议、控制过程实现以及软件编程的控制算法。

作者聂延森

机构地区肇庆市大力真空设备有限公司

出处《国内外机电一体化技术》 2007年第5期37-39,共3页 International Mechatronics Technology

关键词磁控溅射镀膜生产线计算机监控系统易控(INSPEC) 通信协议控制算法

分类号 TP311.1 [自动化与计算机技术—计算机软件与理论]

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1叶龙福,严峻,朱承军,褚亚军.发射机房自动化控制系统[J].电视技术,1995,19(6):41-48. 被引量：3

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1李冬梅,赵玉清,赵华森,时立峰.非晶金刚石离子镀膜机自动化控制系统的设计[J].真空,2003,40(5):19-23. 被引量：1
2李冬梅,赵玉清,赵华森,时立峰.非晶金刚石离子镀膜机自动化控制系统的设计[J].真空电子技术,2004,17(1):20-24.

国内外机电一体化技术

2007年第5期

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