从Si到快速热氮化SiO2膜的雪崩热电子注入
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3商陆民,张家慰,简耀光.热氮化SiO_2膜的抗辐射特性[J].应用科学学报,1989,7(4):367-370.
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4陈蒲生,杨光有,刘百勇.快速热氮化SiO_2膜陷阱特性的研究[J].Journal of Semiconductors,1990,11(6):465-469. 被引量:11
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6郑耀宗.金属──氧化硅──硅(MOS)器件物理研究[J].中国科技奖励,1994,2(2):15-15.
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7王永顺,熊大菁,李志坚.快速热氮化超薄SiO_2膜特性的研究[J].Journal of Semiconductors,1990,11(8):627-634. 被引量:6
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8陈蒲生,张昊,冯文修,章晓文,刘小阳,曾绍鸿.PECVD形成纳米级薄膜界面陷阱的物理模型[J].固体电子学研究与进展,2002,22(4):458-462. 被引量:1
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9刘小阳,陈蒲生,王川,黄世平.用俄歇能谱研究热氮化SiO_2膜中氮原子的扩散[J].华南理工大学学报(自然科学版),1995,23(12):75-81.
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10陈蒲生.用于VLSI的SiO_xN_y薄膜的界面陷阱[J].固体电子学研究与进展,1992,12(4):336-341. 被引量:3
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