微技术的研究现状与发展趋势被引量：5

The Current Situation and Trends of Microtechnology Research

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摘要阐述了微技术的研究内容，现状及发展趋势。 In this paper, the Content, current situation and trends of microtechnolosy research are pre-sented in overview.

作者苑伟政马修德张春江

机构地区西北工业大学

出处《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 1995年第4期120-122,共3页 Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering

基金国家自然科学基金

关键词微技术微装置微机器人微机械分子装配 Microtechnology Microdevice Microrobot Micromechanism and micro-fabrication Molecule assemblage

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机械科学与技术

1995年第4期

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