扫描探针显微镜系统的各种组合方式

Various Configurations of Scanning Probe Microscopes (SPMs)

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摘要综述了扫描探针显微镜(SPM)系统中显微镜主体部分的各种结构方式,分析其优缺点,对新型SPM的设计提供了参考。 Various configurations of the principal part of scanning probe microscopes (SPM) are summarized, and their advantages and disadvantages are analyzed in detail for reference of designing and fabricating novel SPMs.

作者杨金涛徐文东

机构地区中科院上海光学精密机械研究所光存储实验室

出处《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2005年第6期44-47,55,共5页 Laser & Optoelectronics Progress

关键词组合方式扫描探针显微镜(SPM) 系统结构方式主体部分优缺点 SPM nano microscope configuration of microscope

分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程] N94 [自然科学总论—系统科学]

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