摘要
基于作者所在实验室研制的硅热流量传感器,给出了其有限元模型。在分析其工作原理的基础上,重点给出了传感器各项性能,如灵敏度、流速量程、输出大小等,和传感器设计尺寸及流体沟道的关系;最后,给出了关于传感器尺寸的优化的结论。
Based on the silicon thermal flow sensor,a FEA model is given.After the structure and the operation principle are discussed,the influence of sensor geometry and flow channel size on the output performance,such as sensitivity,flow speed range,is given in details.Last the conclusion is given.
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期45-46,共2页
Chinese Journal of Scientific Instrument
基金
江苏省自然科学基金资助项目(BK2003052)。
