-
题名光学薄膜膜系设计方法及发展趋势
被引量:12
- 1
-
-
作者
刘梦夏
强西林
-
机构
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《西安工业学院学报》
2000年第3期194-199,共6页
-
文摘
概述了当前光学薄膜膜系设计所采用的方法 .从所采用的方法来看 ,膜系设计正从基于光学干涉原理的解析设计向基于数学最优化理论的优化设计方向发展 。
-
关键词
膜系
优化设计
光学薄膜
混合技术
评价函数
-
Keywords
thin film
thin film design
optimization design
-
分类号
O484
[理学—固体物理]
-
-
题名确定薄膜光学常数的一种新方法
被引量:4
- 2
-
-
作者
徐均琪
刘梦夏
弥谦
-
机构
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
2001年第3期25-27,共3页
-
文摘
介绍用光谱曲线同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k和薄膜厚度d的方法 ,给出严格的计算公式和处理过程 ,以及计算程序框图。用微型计算机很容易实现这一计算。
-
关键词
类金刚石膜
光学常数
全局收敛算法
-
Keywords
diamond-like coating
optical constant
global convergence algorithm
-
分类号
O484.41
[理学—固体物理]
-
-
题名宽束冷阴极离子源及其应用
被引量:11
- 3
-
-
作者
严一心
卢进军
刘卫国
刘吉祥
王树棠
-
机构
西安工业学院仪器工程系
西安工业学院科研处
-
出处
《西安工业大学学报》
CAS
1989年第4期1-5,共5页
-
文摘
本文介绍一种新研制的用于离子束辅助淀积薄膜的宽束冷阴积离子源,与目前国内外普遍采用的考夫曼(Kaufman)型热阴极离子源相比,它具有寿命长,无污染,结构简单,所需供电电源少,操作方便等优点。实验结果证明,用宽束冷阴极离子源进行离子束辅助淀积所得 Zns 膜层强度超过国标规定的10倍,G|AlSIO_x|A膜层强度超过国标规定的8倍。该离子源有广泛的应用前景。
-
关键词
离子源
辉光放电
离子束辅助淀积
薄膜淀积
-
Keywords
ion source
glow diseharge
ion-assisted-deposition
thin film deposition
-
分类号
T-55
[一般工业技术]
-
-
题名光学薄膜厚度的监控
被引量:7
- 4
-
-
作者
巨养锋
韩军
黄钉劲
弥谦
刘木兴
-
机构
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《西安工业学院学报》
1999年第2期87-90,共4页
-
基金
兵器工业科研基金
-
文摘
提出了一种多层1/4波长膜系的薄膜厚度监控方法.利用这种方法可以在监控过程的同时得到膜层的光学常数且具有监控精度高的优点.
-
关键词
监控
薄膜
厚度
光学常数
光学薄膜
-
Keywords
monitoring control
thin film thickness
optical constants
-
分类号
O484.5
[理学—固体物理]
-
-
题名分色滤光片的实现及基本工艺
被引量:3
- 5
-
-
作者
弥谦
刘卫国
韩军
强西林
-
机构
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《西安工业学院学报》
1997年第2期117-120,共4页
-
文摘
利用截止滤光片可以实现分色目的,而通过合理设计膜系参数,带通滤光片也可达到类似目的.本文对用于分色的截止和带通滤光片的特点作了对比;并讨论了要从工艺上实现这两类膜系需要解决的基本问题.
-
关键词
截止滤光片
带通
滤光片
分色片
膜系允差
-
Keywords
cut off filter band pass filter colour separator tolerance of film stack refractive index
-
分类号
TB851.706
[一般工业技术—摄影技术]
-
-
题名类金刚石薄膜在红外光学材料中的应用
被引量:6
- 6
-
-
作者
朱昌
严一心
杭凌侠
-
机构
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《西安工业学院学报》
1998年第1期24-26,共3页
-
文摘
用脉冲碳离子源直接在NaCl和KBr晶体表面镀制了类金刚石薄膜.用红外光谱仪进行测试,晶体两面镀膜后在25~20μm波长范围内平均透过率达到84%,最大透过率达90%.
-
关键词
类金刚石薄膜
镀膜
红外光谱
红外光学材料
-
分类号
TN213
[电子电信—物理电子学]
O484
[理学—固体物理]
-
-
题名棱镜偏振分光膜研究
被引量:4
- 7
-
-
作者
强西林
高明
刘梦夏
-
机构
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《西安工业学院学报》
2000年第2期106-109,共4页
-
文摘
采用偏振分光棱镜来取代传统晶体偏振分光元件 ,可大大降低成本 ;选取光学玻璃基底的直角棱镜 ,在其表面交替镀制不同折射率的膜料 ,使光线在这些膜料上的入射角满足布儒斯特角 ,让P偏振光透过 ,S偏振光反射 ,从而实现偏振分光的目的 ;在K9基底的直角棱镜上镀制了单波长偏振分光膜 ,经仪器测定 ,偏振分光性能优良 .
-
关键词
分光膜
镀膜
偏振
棱镜
薄膜
-
Keywords
beam splitter
coating
polarizing
-
分类号
O484
[理学—固体物理]
-
-
题名脉冲多弧离子源所镀膜层均匀性的实验研究
被引量:3
- 8
-
-
作者
蔡长龙
朱昌
杭凌侠
刘卫国
严一心
-
机构
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《西安工业学院学报》
1998年第4期270-274,共5页
-
文摘
为了解决脉冲多弧离子源镀制膜层的均匀性问题,文中首先分析了不同阴极尺寸、不同辅助阳极尺寸、不同引弧方法以及不同基片距阴极的距离引起所镀膜层透过率曲线的改变,进而讨论了脉冲多弧离子源电极几何尺寸对膜厚均匀性的影响.采用在基片下加一个圆筒形负电位电极实现了脉冲多弧离子源镀膜的均匀性.实验结果表明,在直径70mm范围内透过率相对误差为±6.7%,小于所要求的±10%.
-
关键词
离子镀
均匀性
镀膜层
膜厚
脉冲多弧离子源
-
Keywords
ion plating thin film deposition film thickness uniformity geometric size of the electrodes
-
分类号
TG174.442
[金属学及工艺—金属表面处理]
O484.1
[金属学及工艺—金属学]
-
-
题名几种波面重建方法的探讨
- 9
-
-
作者
任海霞
田爱玲
刘中本
-
机构
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《西安工业学院学报》
2000年第3期215-217,共3页
-
文摘
在横向剪切干涉技术的基础上 ,讨论了几种波面重建的方法 .分析表明 ,斜率法快速、简单 ,但精度受剪切量的大小、波面复位等影响较大 ;里默法精度高 ,但计算量太大 ,不适合实时处理 ;矩阵求逆法精度介于两者之间 。
-
关键词
波面重建
多项式拟合
光学零件
剪切干涉
检测
-
Keywords
shear
wave front reconstruction
polynormial approach
-
分类号
O436
[机械工程—光学工程]
-
-
题名计算机制全息图改造激光波面和模式
被引量:5
- 10
-
-
作者
何对燕
赵侃
-
机构
武汉测绘科技大学光学仪器系
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1992年第5期466-469,共4页
-
文摘
以变换椭圆高斯光束为圆对称高斯光束为例,本文给出了用计算机制全息图作为变换元件改造激光波面和模式的理论和方法.推导出产生计算机制全息图的数学方程.制作出计算机制全息图,并得出了实验结果.
-
关键词
波面
模式
CGH
激光
变换元件
-
Keywords
Computer-generated Hologram, wavei'ront, mode.
-
分类号
TP391
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
-
-
题名光学非球面最佳参考圆的确定及其应用
被引量:2
- 11
-
-
作者
刘中本
孙桂林
汪平涛
-
机构
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《西安工业学院学报》
1992年第4期34-39,共6页
-
文摘
应用干涉法测非球面,必须测量参考球面的曲率半径才能得到非球面的面形,因此需要精密的测长机构.本文介绍一种在一维测量时,用数学方法确定非球面最佳参考圆的参数,进而由干涉图求得非球面面形或面形误差的新方法,从而可省去测长机构.所提出的微扰动阻尼牛顿迭代法求非线性最小二乘解,经实践证明,有很好的迭代效果.
-
关键词
光学零件
误差
迭代法
最佳参考圆
-
Keywords
optical parts
error
iteration method
the best fitting reference circle
-
分类号
TH744
[机械工程—光学工程]
-
-
题名用快速傅立叶变换法标定相移干涉仪中的相移器
被引量:3
- 12
-
-
作者
田爱玲
刘中本
员智省
-
机构
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《西安工业学院学报》
1998年第4期289-291,共3页
-
基金
国防科工委跨行业重点项目
-
文摘
相移干涉测量是一种光学精密检测方法.相移器作为其中关键部件,它的性能直接影响计量精度.文中介绍了一种用于相移器标定的方法.该方法采用对连续采集的相移干涉图光强分布函数进行快速傅立叶变换,得到相邻两次位移差,即相移大小,以此来决定压电陶瓷的移动量.此方法标定精度(0.005μm)满足了相移干涉测量的要求,操作简单、计算速度快,且易于实现实时标定处理.
-
关键词
相移器
相移干涉仪
傅里叶变换
标定
-
Keywords
phase shifting interferometry fast Fourier transform phase shifter
-
分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
O436.1
[机械工程—仪器科学与技术]
-
-
题名交会法多弹道测量误差的综合分析
被引量:3
- 13
-
-
作者
刘缠牢
阮萍
熊仁生
孙益善
-
机构
西安工业学院仪器工程系
中国科学院西安光学精密机械研究所
-
出处
《西安工业学院学报》
2000年第2期97-100,共4页
-
文摘
采用交会方法进行靶场多弹道测量包括 :试验方案选择、交会测量布站、像点判读、同名像点判定及弹道寻迹等部分 .在这一过程中 ,误差不仅来自测量设备 ,同时像点判读、同名像点判定以及弹道寻迹等都会引入大量的不同种类的误差 .本文就相关部分的误差进行了分析 ,并给出了误差计算公式 .
-
关键词
多弹道
交会测量
分析
高射炮
-
Keywords
multiple trajectory
intersection measurement
error analysis
-
分类号
TJ012
[兵器科学与技术—兵器发射理论与技术]
-
-
题名用条纹扫描剪切干涉仪测量非球面面形
被引量:2
- 14
-
-
作者
刘中本
汪平涛
孙桂林
董长秀
-
机构
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《西安工业学院学报》
1991年第3期9-14,共6页
-
文摘
研制了用于测量光学非球面面形的条纹扫描型棱镜式剪切干涉仪。介绍了该仪器的测量原理、电路和数据处理过程。还推出了二次曲面与最适球面的差值。这样,当最适球面半径与被测件孔径相比很大时不测最适球面半径也可得到被测面相对于设计值的偏差。最后给出了一个非球面面形的测量例。
-
关键词
干涉仪
条纹扫描
剪切
非球面面形
-
Keywords
Interferometer
Fringe Scanning
Shearing
-
分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
-
-
题名一维相移剪切干涉图的实时处理
被引量:1
- 15
-
-
作者
黄云
周玉玲
刘中本
-
机构
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《西安工业学院学报》
1998年第4期279-284,共6页
-
文摘
为实现一维相移干涉图的实时处理,采用了三阶式相移方式对干涉图数据进行自动采集和分析,并由计算机直接给出最后结果.文中通过实例分析表明,对口径为110mm、焦距为961mm的抛物面形非球面,在计算口径内最大误差为0.2645λ,均方差为0.1093λ,面形检测精度达0.1μm.
-
关键词
剪切
干涉图
数据处理
相移干涉图
实时处理
-
Keywords
shearing phase shifting interference pattern data processing
-
分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
-
-
题名光学塑料元件耐磨涂层的制备工艺研究
被引量:2
- 16
-
-
作者
潘永强
-
机构
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《西安工业学院学报》
2000年第4期282-285,共4页
-
文摘
为了提高光学塑料表面的耐擦伤强度 ,本文采用溶胶 凝胶法 ,在光学塑料表面上镀制了具有一定耐磨性和强度的耐磨涂层 ,并介绍了光学塑料表面预处理的方法和采用溶胶 凝胶法在化学镀膜机上制备耐磨涂层的基本工艺 ;
-
关键词
耐磨涂层
清洗
镀膜
光学塑料元件
PMMA
-
Keywords
optical plastics
abrasion-resistant coating
cleaning
coatT
-
分类号
TQ323.5
[化学工程—合成树脂塑料工业]
-
-
题名脉冲多弧离子镀沉积类金刚石薄膜的牢固度研究
- 17
-
-
作者
喻志农
朱昌
杭凌侠
刘卫国
严一心
-
机构
西安交通大学电子物理与器件研究所
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《西安工业学院学报》
1999年第3期177-181,共5页
-
文摘
利用脉冲多弧离子镀技术在硅基片上沉积类金刚石薄膜.分析了类金刚石薄膜的牢固度与各种工艺条件的关系.实验结果表明:基片的清洗、基片温度、主回路电压、脉冲频率、烘烤处理都强烈影响类金刚石薄膜的牢固度.
-
关键词
脉冲多弧离子镀
类金刚石薄膜
牢固度
-
Keywords
pulse arc plasma
diamond like carbon film
adhesion
deposition parameters
-
分类号
O484.1
[理学—固体物理]
TG174.442
[理学—物理]
-
-
题名狭缝式高速摄影机MTF测试
- 18
-
-
作者
徐昌杰
惠淑兰
陈智利
-
机构
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
2000年第5期44-47,共4页
-
文摘
本文把狭缝式鼓轮高速相机成像看成两个线性系统串联而成 :一个是摄影物镜到狭缝 ;另一个是狭缝后的目标物到感光胶片。动态拍摄时的 MTF用相乘律法则进行计算。讨论狭缝相机的物镜 MTF测试进行讨论。对动态拍摄时的不同Δv值提出了修正数据。
-
关键词
MTF测试
成像质量测试
狭缝式
高速摄影机
-
Keywords
MTF test,test of image quality,narrow slot camera
-
分类号
TB853.17
[一般工业技术—摄影技术]
-
-
题名NIRA在农作物成分测量中的应用
- 19
-
-
作者
董威
郭钢
-
机构
西安工业学院仪器工程系
西安华山机械厂
-
出处
《西安工业学院学报》
2000年第2期87-90,共4页
-
文摘
研制便携式的、能对农作物中蛋白、水分及脂肪等成分进行快速测定的分析仪器具有重要的现实意义 .本文借助近红外漫反射光谱分析技术 (NIRA) ,用进口及国产两种普通红外探测器件 ,测得了玉米粉在近红外区的漫反射光谱 ,这一结果的获得 ,为设计小型化仪器提供了所需的关键数据 .
-
关键词
近红外漫反射
谷物
成分分析
-
Keywords
near infrared diffuse reflectance analysis(NIRA)
cereals
content analysis
-
分类号
S126
[农业科学—农业基础科学]
-
-
题名多头小离子源和离子束辅助蒸发新工艺
被引量:1
- 20
-
-
作者
严一心
刘卫国
卢进军
刘吉祥
-
机构
西安工业学院仪器工程系
-
出处
《西安工业学院学报》
1992年第2期27-31,共5页
-
基金
兵器工业总公司军品局科研基金 IGV 8941
-
文摘
提出了多头离子源的方案和离子束合成技术,即选用几个小离子源组合应用,以满足大尺寸镀膜机的要求.该方案经在A700Q和BAK760镀膜机上试验,获得良好效果,已镀制出性能良好的铝、银金属高反膜、棱镜分光膜、308nm激光高反膜、透明导电膜、高级立体声磁头绝缘膜、长波通滤光膜、超宽带增透膜等.并且,简化了镀膜工艺,提高了生产效率.
-
关键词
离子源
离子束
薄膜
镀膜
-
Keywords
ion sources
ion beams
thin films
-
分类号
O484
[理学—固体物理]
-