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直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱 被引量:49
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作者 叶志镇 陈汉鸿 +2 位作者 刘榕 张昊翔 赵炳辉 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期1015-1018,共4页
用直流反应磁控溅射法在硅衬底上沉积 C轴择优取向的 Zn O晶体薄膜 ,薄膜呈柱状结构 ,柱状晶直径约为10 0 nm,晶柱内为结晶性能完整的单晶 ,而晶界处存在较大的应力 .Zn O薄膜在 He- Cd激光器激发下有较强的紫外光发射 ,晶界应力引起 Z... 用直流反应磁控溅射法在硅衬底上沉积 C轴择优取向的 Zn O晶体薄膜 ,薄膜呈柱状结构 ,柱状晶直径约为10 0 nm,晶柱内为结晶性能完整的单晶 ,而晶界处存在较大的应力 .Zn O薄膜在 He- Cd激光器激发下有较强的紫外光发射 ,晶界应力引起 Zn O禁带宽度向长波方向移动 ,提高衬底温度有利于降低晶界应力和抑制深能级的绿光发射 . 展开更多
关键词 薄膜 直流磁控溅射 光致发光光谱 氧化锌 PL谱
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退火处理对ZnO薄膜结晶性能的影响 被引量:46
2
作者 吕建国 叶志镇 +2 位作者 黄靖云 赵炳辉 汪雷 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期729-736,共8页
研究了退火处理对 Zn O薄膜结晶性能的影响 .Zn O薄膜由直流反应磁控溅射技术制得 ,并在 O2 气氛中不同温度 (2 0 0~ 10 0 0℃ )下退火 ,利用 X射线衍射 (XRD)、原子力显微镜 (AFM)和 X射线光电子能谱 (XPS)对其结晶性能进行了研究 ,... 研究了退火处理对 Zn O薄膜结晶性能的影响 .Zn O薄膜由直流反应磁控溅射技术制得 ,并在 O2 气氛中不同温度 (2 0 0~ 10 0 0℃ )下退火 ,利用 X射线衍射 (XRD)、原子力显微镜 (AFM)和 X射线光电子能谱 (XPS)对其结晶性能进行了研究 ,提出了一个较为完善的 Zn O薄膜退火模型 .研究表明 :热处理可使 c轴生长的薄膜取向性增强 ;随退火温度的升高 ,薄膜沿 c轴的张应力减小 ,压应力增加 ;同时晶粒度增大 ,表面粗糙度也随之增加 .在 6 4 0℃的应力松弛温度 (SRT)下 ,Zn O薄膜具有很好的 c轴取向 ,沿 c轴的应力处于松弛状态 ,晶粒度不大 ,表面粗糙度较小 ,此时 Zn O薄膜的结晶性能最优 . 展开更多
关键词 ZNO薄膜 退火处理 退火模型 结晶性能
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多壁纳米碳管/Cu基复合材料的摩擦磨损特性 被引量:42
3
作者 王浪云 涂江平 +3 位作者 杨友志 张孝彬 陈卫祥 卢焕明 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期367-371,共5页
利用销盘式磨损试验机研究了粉末冶金法制备的多壁纳米碳管 /Cu基复合材料的稳态摩擦磨损行为 ,并用扫描电镜分析了复合材料的磨损形貌。结果表明 :多壁纳米碳管 /Cu基复合材料具有较小的摩擦系数 ,并随纳米碳管质量分数的增加而逐渐降... 利用销盘式磨损试验机研究了粉末冶金法制备的多壁纳米碳管 /Cu基复合材料的稳态摩擦磨损行为 ,并用扫描电镜分析了复合材料的磨损形貌。结果表明 :多壁纳米碳管 /Cu基复合材料具有较小的摩擦系数 ,并随纳米碳管质量分数的增加而逐渐降低 ;由于复合材料中纳米碳管的增强和减摩作用 ,在低载荷和中等载荷作用下 ,随着纳米碳管质量分数的增加 ,复合材料的磨损率减小 ;而在高载荷作用下 ,由于发生表面开裂和片状层剥落 ,含纳米碳管质量分数高的复合材料的磨损率增高。 展开更多
关键词 多壁纳米碳管 金属基复合材料 摩擦系数 磨损率
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ZnO薄膜应用的最新研究进展 被引量:34
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作者 吕建国 汪雷 +1 位作者 叶志镇 赵炳辉 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2002年第3期303-308,共6页
ZnO是一种新型的II-VI族半导体材料。详细介绍了ZnO薄膜在太阳能电池、表面声波器件、气敏元件、压敏器件等领域的应用以及在紫外探测器、LED、LD等潜在应用领域研究开发的最新进展。
关键词 研究进展 开发应用 氧化锌薄膜 化合物半导体
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锐钛矿晶型TiO_2溶胶的精细结构及其光催化活性 被引量:61
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作者 方明 高基伟 +2 位作者 申乾宏 王平 杨辉 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期438-441,共4页
以钛酸丁酯为前驱体,在过量水体系中制备出含有锐钛矿晶粒的TiO2溶胶。利用X射线吸收精细结构、zeta电位测量、X射线衍射对溶胶特性进行研究,并考察其对若丹明B的光催化活性。结果表明:陈化时间超过20d的溶胶较为稳定,在X射线近边结构... 以钛酸丁酯为前驱体,在过量水体系中制备出含有锐钛矿晶粒的TiO2溶胶。利用X射线吸收精细结构、zeta电位测量、X射线衍射对溶胶特性进行研究,并考察其对若丹明B的光催化活性。结果表明:陈化时间超过20d的溶胶较为稳定,在X射线近边结构谱中具有与锐钛矿型TiO2相似的边前结构;随陈化时间的增加,Ti的配位数增加直至趋近于锐钛矿型TiO2配位数。陈化时间超过20d的TiO2溶胶含有锐钛矿晶粒,在紫外光照下可不经处理直接催化降解若丹明B。 展开更多
关键词 二氧化钛溶胶 X射线吸收精细结构 锐钛矿 光催化活性
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ZnO光电导紫外探测器的制备和特性研究 被引量:33
6
作者 叶志镇 张银珠 +4 位作者 陈汉鸿 何乐年 邹璐 黄靖云 吕建国 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1605-1607,共3页
以Si(111)衬底 ,用脉冲激光沉积 (PLD)法制得C轴高度择优取向的ZnO薄膜 ,并利用剥离技术制备了ZnO光导型紫外探测器 .Al叉指状电极是由平面磁控溅射技术沉积得到的 .对Al/ZnO/Al的伏安特性和紫外光响应的研究表明 ,金属铝和ZnO能形成很... 以Si(111)衬底 ,用脉冲激光沉积 (PLD)法制得C轴高度择优取向的ZnO薄膜 ,并利用剥离技术制备了ZnO光导型紫外探测器 .Al叉指状电极是由平面磁控溅射技术沉积得到的 .对Al/ZnO/Al的伏安特性和紫外光响应的研究表明 ,金属铝和ZnO能形成很好的欧姆接触 ,紫外探测器的电阻值在 10 0KΩ左右 .在紫外区域 ,其 5V偏压下的光响应度为0 .5A/W . 展开更多
关键词 ZNO薄膜 光电导紫外探测器 欧姆接触 光响应度
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PECVD淀积氮化硅薄膜性质研究 被引量:43
7
作者 王晓泉 汪雷 +3 位作者 席珍强 徐进 崔灿 杨德仁 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期341-344,共4页
使用等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)在P型硅片上沉积了氮化硅(SiNx)薄膜,使用薄膜测试仪观察了薄膜的厚度、折射率和反射光谱,利用扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM)观察了截面和表面形貌... 使用等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)在P型硅片上沉积了氮化硅(SiNx)薄膜,使用薄膜测试仪观察了薄膜的厚度、折射率和反射光谱,利用扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM)观察了截面和表面形貌,使用傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)和能谱仪(EDX)分析了薄膜的化学结构和成分。最后,考察了薄膜在经过快速热处理过程后的热稳定性,并利用霍尔参数测试仪(Hall)比较了薄膜沉积前后载流子迁移率的变化。 展开更多
关键词 太阳电池 PECVD 氮化硅
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ZnO薄膜的最新研究进展 被引量:22
8
作者 吕建国 叶志镇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期581-583,587,共4页
ZnO是一种新型的Ⅱ~Ⅵ族半导体材料。文章详细介绍了ZnO薄膜在其晶格特性、光学、电学和压电性能等方面的研究 ,特别是ZnO薄膜的紫外受激辐射特性 ,另外 ,对ZnO的p型掺杂和 p n结特性的最新进展也作了探讨。
关键词 ZNO薄膜 研究进展 晶格特性 光电性能 P型掺杂
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PEG辅助氧化锌纳米棒的水热法制备 被引量:36
9
作者 陶新永 张孝彬 +6 位作者 孔凡志 林森 程继鹏 黄宛真 李昱 刘芙 许国良 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第17期1658-1662,共5页
采用PEG辅助水热法合成了ZnO纳米棒 ,XRD显示产物为结晶良好的六角结构晶体ZnO ,PL谱表明适当退火处理后产物有较好的光致发光性能 .利用TEM和SAED研究了纳米棒的形貌和生长机制 。
关键词 氧化锌纳米棒 水热合成 光致发光性能 形貌 生长机制 半导体材料 聚乙二醇
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水热法合成LiFePO_4的形貌和反应机理 被引量:28
10
作者 庄大高 赵新兵 +3 位作者 曹高劭 米常焕 涂健 涂江平 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期2034-2039,共6页
以分析纯的FeSO4、H3PO4和LiOH为原料,用水热合成法得到纯度高、结晶好的纳米LiFePO4.x射线衍射和SEM分析结果表明,当实验温度为120~150℃,时间为5~15 h时,随反应温度的提高和反应时间的延长,LiFePO4从不规则的纳米颗粒团聚体逐渐生... 以分析纯的FeSO4、H3PO4和LiOH为原料,用水热合成法得到纯度高、结晶好的纳米LiFePO4.x射线衍射和SEM分析结果表明,当实验温度为120~150℃,时间为5~15 h时,随反应温度的提高和反应时间的延长,LiFePO4从不规则的纳米颗粒团聚体逐渐生长为厚200 nm、长800 nm左右的规则矩形薄片.研究发现,在合成过程中,首先合成中间产物Li3PO4,然后与Fe2+反应形成LiFePO4.水热合成产物经550℃聚丙烯裂解碳包覆处理后,以0.05 C充放电,可逆电容量达到163 mA·h·g-1,以0.5 C充放电,可逆电容量达到144 mA·h·g-1. 展开更多
关键词 锂离子电池 正极材料 水热合成 形貌
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ZnO薄膜p型掺杂的研究进展 被引量:21
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作者 叶志镇 张银珠 +1 位作者 徐伟中 吕建国 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期11-18,共8页
ZnO是一种新型的II-VI族半导体材料,具有许多优异的性能.但由于ZnO存在诸多的本征施主缺陷(如空位氧Vo和间隙锌Zni),对受主产生高度自补偿作用,天然为n型半导体,难以实现p型转变.ZnO薄膜p型掺杂的实现是ZnO基光电器件的关键技术,也一直... ZnO是一种新型的II-VI族半导体材料,具有许多优异的性能.但由于ZnO存在诸多的本征施主缺陷(如空位氧Vo和间隙锌Zni),对受主产生高度自补偿作用,天然为n型半导体,难以实现p型转变.ZnO薄膜p型掺杂的实现是ZnO基光电器件的关键技术,也一直是ZnO研究中的主要课题,目前已取得重大进展,文章对此进行了详细阐述. 展开更多
关键词 研究进展 ZNO薄膜 P型掺杂 氧化锌 半导体
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单晶硅太阳电池的表面织构化 被引量:27
12
作者 席珍强 杨德仁 +6 位作者 吴丹 张辉 陈君 李先杭 黄笑容 蒋敏 阙端麟 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期285-289,共5页
一种新型的腐蚀剂 ,磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液 ,首次被用来腐蚀单晶硅太阳电池。在 70℃下 ,用 3%的磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液腐蚀 2 5min就能在硅片表面形成金字塔大小均匀、覆盖率高的绒面结构 ,并且其表面反射率也... 一种新型的腐蚀剂 ,磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液 ,首次被用来腐蚀单晶硅太阳电池。在 70℃下 ,用 3%的磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液腐蚀 2 5min就能在硅片表面形成金字塔大小均匀、覆盖率高的绒面结构 ,并且其表面反射率也很低。通过SEM观察发现 :开始时 ,随着腐蚀时间的增加 ,金字塔的密度越来越大 ,最后达到饱和 ;而且对于不同的浓度 ,温度 ,这种饱和时间不同 ;如果腐蚀时间过长 ,金字塔的顶部就会发生崩塌 ,从而导致表面发射率的升高。虽然异丙醇 (IPA)在氢氧化钠 (NaOH)溶液中会明显地改善织构化的效果 ,但是在磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液中却会对织构化有很强的负面效应。最后 ,在实验的基础上对腐蚀机理进行了深入地探讨并认为 :择优腐蚀是金字塔形成的最基本的原因 ,而缺陷、PO3 -4 或HPO2 -4 和异丙醇等仅仅是促进大金字塔形成的原因。这种腐蚀剂的成本很低 ,不易污染工作环境且可重复性好 ,所以有可能用于大规模生产。 展开更多
关键词 单晶硅 织构 磷酸钠 腐蚀
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原位反应纳米TiB_2/Cu复合材料的制备和微结构 被引量:28
13
作者 王耐艳 涂江平 +5 位作者 杨友志 齐卫笑 刘芙 张孝彬 卢焕明 刘茂森 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期151-154,共4页
利用原位反应技术 ,通过控制反应物B2 O3 和石墨的含量制备了原位生长纳米TiB2 增强Cu基复合材料。用XRD ,EDS ,TEM对TiB2 /Cu原位复合材料进行微结构分析 ,研究表明铜基体中弥散分布着 5 0nm的TiB2颗粒 ,并对Cu基体有良好的增强作用。
关键词 原位反应 硼化钛 铜基复合材料 制备 微结构 纳米材料
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ZnO薄膜的研究与开发应用进展 被引量:13
14
作者 吕建国 陈汉鸿 叶志镇 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第6期463-467,共5页
ZnO是一种新型的 - 族半导体材料。该文介绍了ZnO薄膜的晶格、光学以及电学特性,对其生长技术和开发应用等方面的进展也作了综述,并展望了ZnO薄膜的发展前景。
关键词 ZNO薄膜 生长技术 开发应用 氧化锌 半导体材料 薄膜特性
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线切割单晶硅表面损伤的研究 被引量:22
15
作者 樊瑞新 卢焕明 《材料科学与工程》 CSCD 1999年第2期55-57,共3页
利用台阶仪、扫描电镜(SEM)和X射线双晶衍射仪,研究了线切割硅片和内圆切割硅片的表面切割损伤和损伤层厚度。实验指出线切割硅片表面粗糙度大,外表面损伤大,但损伤层的厚度要小于常规内圆切割硅片。
关键词 切割 表面损伤 单晶硅
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溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及表征 被引量:25
16
作者 季振国 宋永梁 +3 位作者 杨成兴 刘坤 王超 叶志镇 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期52-55,共4页
采用溶胶 -凝胶法在石英玻璃衬底上使用旋转涂覆技术生长了 Zn O薄膜 .对薄膜的 XRD分析表明 Zn O薄膜为纤锌矿结构并沿 c轴取向生长 .透射光谱表明薄膜的禁带宽度为 3.2 8e V ,与 Zn O体材料的禁带宽度 3.30 e V基本相同 .用光致发光... 采用溶胶 -凝胶法在石英玻璃衬底上使用旋转涂覆技术生长了 Zn O薄膜 .对薄膜的 XRD分析表明 Zn O薄膜为纤锌矿结构并沿 c轴取向生长 .透射光谱表明薄膜的禁带宽度为 3.2 8e V ,与 Zn O体材料的禁带宽度 3.30 e V基本相同 .用光致发光谱分析了经过 5 0 0~ 70 0℃热处理获得的 Zn O薄膜 ,结果表明 Zn O薄膜在室温下有较强的紫外带边发射 ,但当热处理温度高于 70 0℃时 。 展开更多
关键词 Zn0薄膜 光致发光 溶胶-凝胶法 旋涂
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铸造多晶硅的研究进展 被引量:22
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作者 席珍强 杨德仁 陈君 《材料导报》 EI CAS CSCD 2001年第2期67-69,66,共4页
近年来,由于低成本和高效率的优势,铸造多晶硅成为最主要的光伏材料之一。现在,其铸造工艺相对成熟:对材料的缺陷和杂质的研究日趋深化;吸杂、钝化及表面织构化等技术的应用显著地改善了材料的电学和光学性能。实验室水平上,用铸造多晶... 近年来,由于低成本和高效率的优势,铸造多晶硅成为最主要的光伏材料之一。现在,其铸造工艺相对成熟:对材料的缺陷和杂质的研究日趋深化;吸杂、钝化及表面织构化等技术的应用显著地改善了材料的电学和光学性能。实验室水平上,用铸造多晶硅材料制成的太阳电池的转换效率高达18.6%。本文详细阐述了铸造多晶硅材料的研究现状和存在的问题,展望今后的发展方向。 展开更多
关键词 铸造多晶硅 缺陷 杂质 电学性能 光伏材料 太阳能电池
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量子尺寸纳米TiO_2的水热制备及光催化性能 被引量:19
18
作者 蒋玉龙 王智宇 +2 位作者 唐培松 钱国栋 樊先平 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期440-444,共5页
在钛酸丁酯和乙醇体系下,利用水热法制备了平均粒径为4~10 nm的量子尺寸锐钛矿型纳米二氧化钛粉末,并研究了此粉末的光催化活性和晶粒粒径、荧光发射光谱的关系.结果表明: 制备的纳米二氧化钛粉末在粒径为8~9 nm时光催化活性最好,当... 在钛酸丁酯和乙醇体系下,利用水热法制备了平均粒径为4~10 nm的量子尺寸锐钛矿型纳米二氧化钛粉末,并研究了此粉末的光催化活性和晶粒粒径、荧光发射光谱的关系.结果表明: 制备的纳米二氧化钛粉末在粒径为8~9 nm时光催化活性最好,当晶粒粒径再减小以后,由于表面活性的增加导致晶粒表面羟基的增加,成为电子和空穴的复合中心而使活性降低.同时此粉末的荧光发射光谱中并没有发现荧光峰位随着晶粒粒径变小而发生位移,并且荧光发射光谱峰的强度和光催化活性之间没有成比例的关系. 展开更多
关键词 二氧化钛 水热法 量子尺寸效应 光催化
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铸造多晶硅中杂质对少子寿命的影响 被引量:24
19
作者 邓海 杨德仁 +2 位作者 唐骏 席珍强 阙端麟 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期151-154,共4页
应用微波光电导衰减仪(μ-PCD)测得了铸造多晶硅硅锭沿生长方向少子寿命的分布图。结果显示:距离硅锭底部4~5cm以及顶部约2cm的范围内均存在一个少子寿命值过低的区域,而硅锭中间区域的少子寿命值较高且分布均匀。通过将样品在200... 应用微波光电导衰减仪(μ-PCD)测得了铸造多晶硅硅锭沿生长方向少子寿命的分布图。结果显示:距离硅锭底部4~5cm以及顶部约2cm的范围内均存在一个少子寿命值过低的区域,而硅锭中间区域的少子寿命值较高且分布均匀。通过将样品在200℃下热处理10min,根据处理前后少子寿命值的变化,获得了间隙铁浓度沿硅锭方向的一维线性分布曲线。从曲线中可以发现铁在硅锭两端浓度较高,这与硅锭冷却过程中铁从坩埚向硅锭底部发生的固相扩散以及铁的分凝特性有关。另外通过傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)测试发现间隙氧浓度在硅锭底部较高,呈现从硅锭底部向顶部逐渐降低的趋势。研究结果表明硅锭中存在的高浓度的氧、铁等杂质为影响其少子寿命值的关键因素。 展开更多
关键词 铸造多晶硅 少子寿命 间隙铁
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氧化铁和羟基氧化铁纳米结构的水热法制备及其表征 被引量:22
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作者 钭启升 张辉 +1 位作者 邬剑波 杨德仁 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期213-218,共6页
利用乙二醇辅助水热法制备氧化铁的纳米结构,系统研究了Fe3+和OH-的比例、乙二醇的含量、溶液浓度以及后续热处理对氧化铁纳米结构的影响,同时研究了不用形貌的氧化铁纳米结构对其磁性的影响.研究表明:当Fe3+和OH-的摩尔比>1:4时,... 利用乙二醇辅助水热法制备氧化铁的纳米结构,系统研究了Fe3+和OH-的比例、乙二醇的含量、溶液浓度以及后续热处理对氧化铁纳米结构的影响,同时研究了不用形貌的氧化铁纳米结构对其磁性的影响.研究表明:当Fe3+和OH-的摩尔比>1:4时,无论有无乙二醇的加入,所得样品都为六方相的α-Fe2O3纳米颗粒;当Fe3+和OH-的摩尔比<1:4,有乙二醇辅助时,所得样品为正交相飞机状的FeOOH纳米结构;当Fe3+和OH-的摩尔比<1:4,无乙二醇辅助时,所得样品为正交相的FeOOH纳米棒.经过600℃,1h热处理后,飞机状的:FeOOH和FeOOH的纳米棒都可以转化为多孔的飞机状α-Fe2O3和α-Fe2O3的纳米棒.溶液浓度的提高只会增加样品的尺寸而对其形貌没有太大的影响.形貌和尺寸不同对材料的磁性能有很大的影响. 展开更多
关键词 乙二醇辅助水热法 氧化铁纳米结构 羟基氧化铁纳米结构
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